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상부에 불융화된 PCS 섬유 공급부가 배치되고 하부에 SiC 섬유 권취부가 배치되며, 상단 중앙에 PCS 섬유 공급구(11)가 설치되고 하단 중앙에 SiC 섬유 배출구(12)가 설치되며 수직으로 배열되는 열처리로(10); 및 상기 열처리로(10) 내의 내주면 둘레부에 설치되어 상기 열처리로를 수직으로 통과하는 PCS 섬유(Fpcs)에 열을 가하는 발열 유닛(20);을 포함하며, 불융화된 PCS 섬유가 상기 열처리로 내에서 열분해될 수 있도록 상기 열처리로의 내부를 질소분위기, 아르곤분위기, 할로겐분위기 중 어느 하나로 유지하기 위하여 상기 열처리로의 내부로 불활성 가스를 연속으로 공급하고 배출하는불융화된 PCS 섬유의 수직형 연속 열처리 장치
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제1항에 있어서,상기 열처리로의 내부로 불활성 가스를 연속으로 공급하고 배출하기 위하여, 상기 열처리로의 상단에는 가스공급구(30)가 형성되며 열처리로의 하단에는 가스배출구(40)가 형성되는불융화된 PCS 섬유의 수직형 연속 열처리 장치
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제1항에 있어서,상기 열처리로(100)의 내부로 공급되는 불활성 가스는 질소, 아르곤, 수소 중 어느 하나인불융화된 PCS 섬유의 수직형 연속 열처리 장치
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제1항에 있어서,상기 열처리로(100)의 내부를 통과하는 PCS 섬유(Fpcs)는 열처리로의 상단으로부터 하단으로 내려가면서 순차적으로 높은 복수의 온도 영역에서 열처리되는불융화된 PCS 섬유의 수직형 연속 열처리 장치
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제4항에 있어서,상기 열처리로(100)의 내부의 열처리온도 구간은 3개의 구간으로 구획되며,상기 열처리로의 상부에 위치되는 제1 열처리 영역의 온도는 약 300℃ 내지 500℃로 제어되며, 중간에 위치되는 제2 열처리 영역의 온도는 약 500℃ 내지 700℃로 제어되며, 하부에 위치되는 제3 열처리 영역의 온도는 약 700℃ 내지 1000℃로 제어되는불융화된 PCS 섬유의 수직형 연속 열처리 장치
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제1항에 있어서,상기 열처리로(100)의 상부에 배치된 불융화된 PCS 섬유 공급부(200)에서의 PCS 섬유(Fpcs) 인출 속도와 상기 열처리로(100)의 하부에 배치된 SiC 섬유 권취부(300)에서의 SiC 섬유(FSiC) 권취 속도를 동기시키는 동기화 수단을 더 포함하는불융화된 PCS 섬유의 수직형 연속 열처리 장치
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제1항 내지 제6항 중 어느 한 항에 어서,상기 열처리로(100)는 수직형 전기로인불융화된 PCS 섬유의 수직형 연속 열처리 장치
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불융화된 PCS 섬유를 열처리하여 SiC 섬유를 제조하는 방법에 있어서,수직으로 배열되며 내부가 불활성 가스 분위기인 연속 열처리 장치의 상단으로 불융화된 PCS 섬유를 공급하는 단계;상기 연속 열처리 장치의 상단을 통하여 공급된 불융화된 PCS 섬유가 연속 열처리 장치의 하단으로 수직 하방으로 이동하는 과정에서 불융화된 PCS 섬유를 순차적으로 높은 복수의 온도 영역에서 열처리하는 단계; 및연속 열처리 장치에서의 열처리가 완료된 SiC 섬유를 배출하는 단계를 포함하는SiC 섬유의 제조 방법
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제8항에 있어서,상기 열처리 단계는 3개의 온도 영역에서 수행되며,상기 3개의 온도 구간 중 열처리로의 상부에서 수행되는 제1 열처리 영역의 온도는 약 300℃ 내지 500℃이며, 열처리로의 중간에서 수행되는 제2 열처리 영역의 온도는 약 500℃ 내지 700℃이며, 열처리로의 하부에서 수행되는 제3 열처리 영역의 온도는 약 700℃ 내지 1000℃인SiC 섬유의 제조 방법
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