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기판과, 상기 기판의 상부에 형성되는 발열부를 포함하는 히터에 있어서,상기 발열부는 기판 중앙 영역으로부터 기판 외부 영역 방향으로 두께가 점증하되, 상기 발열부의 두께는 발열부의 반경의 제곱에 비례하도록 두꺼워지는 것을 특징으로 하는 균일한 온도분포를 갖는 히터
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제1항에 있어서,상기 발열부는 두께가 불연속적으로 점증하는 복수의 단위 발열부로 구성되는 것을 특징으로 하는 균일한 온도분포를 갖는 히터
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제2항에 있어서,상기 발열부는 두께가 계단식으로 점증하는 것을 특징으로 하는 균일한 온도분포를 갖는 히터
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제2항에 있어서,상기 단위 발열부들은 서로 동심을 이루는 것을 특징으로 하는 균일한 온도분포를 갖는 히터
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제2항에 있어서,상기 단위 발열부들 사이에는 전극이 형성되는 것을 특징으로 하는 균일한 온도분포를 갖는 히터
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제2항에 있어서,상기 각 단위 발열부는 두께가 일정한 것을 특징으로 하는 균일한 온도분포를 갖는 히터
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제1항에 있어서,상기 기판의 중앙에 제1단위 발열부가 존재하고, 상기 제1단위 발열부의 인접 영역에 상기 제1단위 발열부보다 두께가 더 두꺼운 제2단위 발열부가 형성되며,후속하여 단위 발열부들이 형성되되, 후속하는 단위 발열부들은 점점 두께가 두꺼워지는 것을 특징으로 하는 균일한 온도분포를 갖는 히터
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제7항에 있어서,상기 각 단위 발열부는 두께가 일정한 것을 특징으로 하는 균일한 온도분포를 갖는 히터
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제1항에 있어서,상기 기판은 질화 알루미늄(AlN)이며, 발열부는 FTO 또는 ITO 중에서 선택되는 어느 하나인 것을 특징으로 하는 균일한 온도분포를 갖는 히터
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10
제1항에 있어서,상기 발열부는 PTC(Positive temperature coefficient) 특성을 갖는 재질로 선택되는 것을 특징으로 하는 균일한 온도분포를 갖는 히터
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