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하부 기판;상기 하부 기판 상에 형성되고 제 1 금속산화물을 포함하는 제 1 금속산화물층; 및상기 제 1 금속산화물층 상에 형성되고 제 2 금속산화물을 포함하며, 표면에 나노패턴을 가지는 제 2 금속산화물층을 포함하고,상기 제 1 금속산화물 및 상기 제 2 금속산화물은 동일하거나 서로 다르며,상기 제 1 금속산화물 및 상기 제 2 금속산화물은 각각 ZnO 또는 TiO2 이며,상기 제 2 금속산화물층의 표면이 소수성을 가지며 물에 대한 접촉각이 80°이상이고, 상기 제 2 금속산화물층의 표면을 X선 광전자 분광법(XPS)으로 분석 시에 탄소(C) 함량이 30 at% 이상이고, 상기 제 2 금속산화물층의 두께가 10 nm 내지 60 nm인, 다층 소자
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제 1 항에 있어서,상기 하부 기판이 유연성을 갖는 투명 플라스틱 기재; 및상기 기재 상에 형성된 전극을 포함하는, 다층 소자
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제 1 항에 있어서,상기 제 1 금속산화물층이 10 nm 내지 30 nm의 두께 및 평탄한 표면을 가지는, 다층 소자
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제 1 항에 있어서,상기 제 2 금속산화물층이 10 nm 내지 40 nm의 두께(d2)를 가지고,상기 나노패턴이 5 nm 내지 20 nm의 깊이(dn)를 가지되,상기 제 2 금속산화물층의 두께(d2)가 상기 나노패턴의 깊이(dn)와 같거나 더 두꺼운, 다층 소자
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제 1 항에 있어서,상기 제 2 금속산화물층의 표면이 물에 대해 100°이상의 접촉각을 가지는, 다층 소자
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제 1 항에 있어서,상기 제 2 금속산화물층의 표면을 X선 광전자 분광법(XPS)으로 분석 시에, 규소(Si)의 함량이 1 at% 이상인, 다층 소자
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제 1 항에 있어서,하기 식 (1)을 만족하는, 다층 소자:Rs 003c# R1 003c# R2
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하부 기판 상에 제 1 금속산화물의 나노입자를 함유하는 제 1 용액을 코팅하여 제 1 금속산화물층을 얻는 단계;상기 제 1 금속산화물층 상에 제 2 금속산화물의 졸-겔 전구체를 포함하는 제 2 용액을 코팅하여 졸-겔 코팅층을 형성하는 단계; 및상기 졸-겔 코팅층을 열처리하면서 표면에 나노패턴을 형성하여 제 2 금속산화물층을 얻는 단계를 포함하는, 제 1 항의 다층 소자의 제조방법
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제 9 항에 있어서,상기 나노패턴은 실리콘계 스탬프를 상기 졸-겔 코팅층의 표면에 올려 놓고 120℃ 내지 160℃의 온도에서 5분 내지 30분간 열처리하여 형성되는, 다층 소자의 제조방법
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제 9 항에 있어서,상기 나노패턴을 형성하여 제 2 금속산화물층을 얻는 단계 이전에,상기 졸-겔 코팅층을 120℃ 내지 160℃에서 1초 내지 10초간 열처리하는 단계를 추가로 포함하는, 다층 소자의 제조방법
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제 1 항의 다층 소자; 및상기 다층 소자의 제 2 금속산화물층 상에 배치되는 광활성층을 포함하는, 광전소자
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제 1 항의 다층 소자; 및상기 다층 소자의 제 2 금속산화물층 상에 배치되는 유기 광활성층을 포함하는, 유기태양전지
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제 13 항에 있어서,상기 유기태양전지는, 에어매스(air mass) 1
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제 13 항에 있어서,상기 유기태양전지는, 산화 방지를 위한 봉지 처리 없이 대기 중에서 30일간 작동 시에, 전력변환효율(PCE)의 저하가 실온에서 15% 이내이고 90℃에서 40% 이내인, 유기태양전지
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