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두께를 갖는 유전체 기판;상기 유전체 내부에 매립형으로 형성되며, 서로 간격을 두고 마주 배열된 x 전극과 y 전극으로 된 전극 쌍; 및상기 전극 쌍 주변부에 형성된 기체주입구;를 포함하고,상기 전극 쌍의 x 전극과 y 전극은 상기 기판에서 z축 상으로 간격 h를 두고 배열되며, x 전극과 y 전극은 y축 방향으로 길이를 갖도록 연장되고, 상기 기체주입구는 상기 전극 쌍과 x축 상으로 간격 t를 두고 기판을 z축상으로 관통하여 형성되어,상기 x 전극과 y 전극에 전압이 인가되면 상기 기체주입구를 방전 공간으로 하여 플라즈마가 발생되고 기체주입구 밖으로 방출되는 것을 특징으로 하는 플라즈마 어레이 소스
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제1항에 있어서, 상기 전극 쌍은 x축 방향으로 간격을 두고 다수 배열되고, 상기 기체주입구는 상기 전극 쌍들의 x축 방향의 간격에 배열된 것을 특징으로 하는 플라즈마 어레이 소스
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제2항에 있어서, 상기 기체주입구는 상기 전극 쌍 중 양 단부에 있는 전극 쌍의 외측에 더 배열된 것을 특징으로 하는 플라즈마 어레이 소스
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제1항 또는 3항에 있어서, 상기 기체주입구는 전극 쌍의 길이 방향인 y축을 따라 간격을 두고 다수 형성된 것을 특징으로 하는 플라즈마 어레이 소스
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제1항 또는 제3항에 있어서, 상기 기체주입구는 전극 쌍의 길이방향인 y 방향으로 길게 형성된 개구부 단면을 갖도록 형성된 것을 특징으로 하는 플라즈마 어레이 소스
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제1항에 있어서, x, y전극 사이의 거리 h와 기체 주입구와 전극 사이의 거리 t를 조절하여 방전 전압 및 플라즈마 플럼 길이를 조절할 수 있는 것을 특징으로 하는 플라즈마 어레이 소스
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제1항 내지 제3항 중 어느 한 항의 플라즈마 어레이 소스의 제조방법으로서,유전체 기판에 기체주입구가 될 타공부와 전극이 매립될 전극 매립용 개구부를 형성하고, 전극 매립용 개구부에 전극을 삽입하는 것을 특징으로 하는 플라즈마 어레이 소스의 제조방법
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