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이온 농도에 따른 전자소자와 그 제조 방법

  • 기술번호 : KST2022006773
  • 담당센터 : 서울서부기술혁신센터
  • 전화번호 : 02-6124-6930
요약, Int. CL, CPC, 출원번호/일자, 출원인, 등록번호/일자, 공개번호/일자, 공고번호/일자, 국제출원번호/일자, 국제공개번호/일자, 우선권정보, 법적상태, 심사진행상태, 심판사항, 구분, 원출원번호/일자, 관련 출원번호, 기술이전 희망, 심사청구여부/일자, 심사청구항수의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 서지정보 표입니다.
요약 이온 농도에 따른 전자소자와 그 제조 방법이 개시된다. 상부 전극 - 활성층 - 하부 전극이 포함되는 전자 소자를 구비하며, 상기 활성층의 이온의 농도를 제어하여 각각 다른 전자소자 특성(배터리, 2단자 스위치, 메모리)을 제공하며, 동종의 물질과 같은 공정 구조에서 활성층에 사용된 금속 이온의 농도만을 제어하여 배터리, 스위치, 및 메모리를 특성을 갖는 전자소자를 구현하였다. 이온의 농도를 제어하는 방법은 (1) 이온을 포함한 활성 층을 이용하는 방법, (2) 활성 층에 이온을 doping 또는 diffusion 시키는 방법, (3) 이온 소스층을 이용하는 방법을 사용한다. 이온 소스층을 이용하는 방법(도 2)은 다른 구조들을 가질 수 있다. 먼저, 상부 전극 또는 하부 전극 자체를 이온 소스층으로 이용하는 방법, 상부전극 과 활성 층 사이에 이온 소스층을 삽입하는 방법, 그리고 하부전극과 활성 층 사이에 이온 소스 층을 삽입하는 방법이 사용된다.
Int. CL H01L 45/00 (2006.01.01) H01L 21/28 (2006.01.01)
CPC
출원번호/일자 1020210143750 (2021.10.26)
출원인 광운대학교 산학협력단
등록번호/일자
공개번호/일자 10-2021-0154773 (2021.12.21) 문서열기
공고번호/일자
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보
법적상태 공개
심사진행상태 수리
심판사항
구분 국내출원/분할
원출원번호/일자 10-2020-0133063 (2020.10.14)
관련 출원번호 1020200133063
심사청구여부/일자 Y (2021.10.26)
심사청구항수 5

출원인

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번호 이름 국적 주소
1 광운대학교 산학협력단 대한민국 서울특별시 노원구

발명자

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번호 이름 국적 주소
1 이대석 서울특별시 노원구

대리인

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번호 이름 국적 주소
1 이여송 대한민국 서울시 강남구 테헤란로 *** 포스코P&S타워 **층(아이피드림)

최종권리자

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번호 서류명 접수/발송일자 처리상태 접수/발송번호
1 [분할출원]특허출원서
[Divisional Application] Patent Application
2021.10.26 수리 (Accepted) 1-1-2021-1228956-44
2 보정요구서
Request for Amendment
2021.11.08 발송처리완료 (Completion of Transmission) 1-5-2021-0174730-03
3 [출원서 등 보정]보정서
[Amendment to Patent Application, etc.] Amendment
2021.12.10 수리 (Accepted) 1-1-2021-1437276-52
4 의견제출통지서
Notification of reason for refusal
2021.12.30 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2021-1022159-43
5 [거절이유 등 통지에 따른 의견]의견서·답변서·소명서
2022.02.10 수리 (Accepted) 1-1-2022-0151049-86
6 [명세서등 보정]보정서
[Amendment to Description, etc.] Amendment
2022.02.10 보정승인간주 (Regarded as an acceptance of amendment) 1-1-2022-0151132-78
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번호 청구항
1 1
하부 전극; 상기 하부 전극 위에 형성된 활성층; 및 상기 활성층 위에 형성된 상부 전극을 포함하는 전자 소자를 구비하며, 상기 활성층에 사용되는 이온의 종류는 금속이온 Mg가 사용되며, 상기 활성층은 절연 특성을 갖는 모든 종류의 물질이 사용되고, 상기 전자 소자의 이온의 농도를 제어하는 방법은 (1) 이온을 포함한 활성층을 이용하는 방법, (2) 상기 활성층에 이온을 doping 또는 diffusion 시키는 방법 중 어느 하나를 사용하며, 상기 활성층은 (1) 이온을 포함한 활성층을 이용하는 방법, (2) 상기 활성층에 이온을 doping 또는 diffusion 시키는 방법을 사용하지 않는 경우, 상부 전극과 활성층 사이에 삽입된 이온 소스층; 또는 상기 하부 전극과 상기 활성층 사이에 삽입된 이온 소스층을 더 포함하며, 상기 상부 전극-활성층-하부 전극 구조에서 상기 활성층에 Mg 이온 또는 Ag 이온이 사용되는 경우, 상기 활성층 내에 사용된 Ag 이온 0% doping시, 상기 활성층에 Ag 이온이 없으면, 활성층에 사용된 금속 이온의 농도에 따른 전자 소자의 상부 전극과 하부 전극에 -4V ~ +4V 전압을 인가하면 100nA 이하의 전류가 흐르므로, 상기 활성층은 절연체 특성을 보이며, 상기 소자의 상부 전극-활성층-하부 전극 구조는 금속-절연체-금속(Metal-Insulator-Metal, MIM) 구조를 가지며, 상기 활성층에 사용된 금속 이온의 농도에 따른 전자 소자의 상부 전극-활성층-하부 전극 구조에서 활성 층 내에 Ag 이온의 농도가 0
2 2
제1항에 있어서, 상기 활성층은 이온이 없으면, 절연체 특성을 가지며, 이 경우, 상기 활성층에 사용된 금속 이온의 농도에 따른 전자소자의 상부 전극-활성층-하부 전극은 금속-절연체-금속(Metal-Insulator-Metal, MIM) 구조를 갖는, 이온 농도에 따른 전자소자
3 3
제1항에 있어서, 상기 상부 전극 및 상기 하부 전극은 금속물질 또는 전도성 특성을 갖는 물질을 사용하는, 이온 농도에 따른 전자소자
4 4
제1항에 있어서, 상기 상부 전극은 Ni, 상기 활성 층은 Al2O3, 그리고 상기 하부 전극은 Ni를 사용하는, 이온 농도에 따른 전자소자
5 5
제1항에 있어서, 상기 활성층에 사용된 금속 이온의 농도에 따른 전자 소자의 상부 전극-활성층-하부 전극 구조에서 상기 활성층 내에 Ag 이온의 농도가 0
6 6
제5항에 있어서, 상기 활성층에 사용된 금속 이온의 농도에 따른 전자 소자의 상부 전극-활성층-하부 전극 구조에서 상기 활성층 내에 Ag 이온의 농도를 0
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순번 패밀리번호 국가코드 국가명 종류
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DOCDB 패밀리 정보

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순번 패밀리번호 국가코드 국가명 종류
1 KR20200136332 KR 대한민국 DOCDBFAMILY
국가 R&D 정보가 없습니다.