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1
제 1, 제 2, 및 제 3 화소 영역들을 포함하는 기판; 상기 기판 상에서 상기 제 1, 제 2, 및 제 3 화소 영역들에 각각 배치되는 제 1, 제 2, 및 제 3 반사 패턴들;상기 제 1, 제 2, 및 제 3 반사 패턴들을 덮는 하부 유전층으로서, 상기 하부 유전층은 상기 제 1, 제 2, 및 제 3 화소 영역들에서 서로 다른 두께를 갖는 것;상기 하부 유전층 상에서 상기 제 1, 제 2, 및 제 3 화소 영역들에 각각 배치되는 제 1, 제 2, 및 제 3 중간 금속 패턴들;상기 제 1, 제 2, 및 제 3 중간 금속 패턴들 상에 각각 배치되는 제 1, 제 2, 및 제 3 식각 방지 패턴들;상기 하부 유전층 상에서 상기 제 1, 제 2, 및 제 3 식각 방지 패턴들을 덮는 상부 유전층으로서, 상기 상부 유전층은 상기 제 1, 제 2, 및 제 3 화소 영역들에서 서로 다른 두께를 갖는 것; 및상기 상부 유전층 상에서 상기 제 1, 제 2, 및 제 3 화소 영역들에 각각 배치되는 제 1, 제 2, 및 제 3 상부 전극 패턴들을 포함하는 공진형 컬러 필터
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| 2 |
2
제 1 항에 있어서, 상기 제 1, 제 2, 및 제 3 식각 방지 패턴들은 상기 상부 유전층과 다른 유전 물질을 포함하는 공진형 컬러 필터
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| 3 |
3
제 1 항에 있어서, 상기 제 1, 제 2, 및 제 3 식각 방지 패턴들은 상기 제 1, 제 2, 및 제 3 중간 금속 패턴들과 동일한 폭을 갖는 공진형 컬러 필터
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4
제 1 항에 있어서, 상기 상부 유전층은 실리콘 질화물을 포함하고,상기 제 1, 제 2, 및 제 3 식각 방지 패턴들은 실리콘 산화물을 포함하는 공진형 컬러 필터
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5
제 1 항에 있어서, 상기 제 1, 제 2, 및 제 3 식각 방지 패턴들은 상기 상부 유전층의 최소 두께보다 작은 두께를 갖는 공진형 컬러 필터
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| 6 |
6
제 1 항에 있어서, 상기 제 1 화소 영역에서, 상기 하부 및 상부 유전층들 각각은 제 1 두께를 갖고, 상기 제 2 화소 영역에서, 상기 하부 및 상부 유전층들 각각은 제 1 두께보다 작은 제 2 두께를 가지며,상기 제 3 화소 영역에서, 상기 하부 및 상부 유전층들 각각은 제 2 두께보다 작은 제 3 두께를 갖는 공진형 컬러 필터
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| 7 |
7
제 1 항에 있어서, 상기 제 1, 제 2, 및 제 3 중간 금속 패턴들의 두께는 상기 제 1, 제 2, 및 제 3 반사 패턴들의 두께보다 작은 공진형 컬러 필터
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| 8 |
8
제 1 항에 있어서, 상기 제 1, 제 2, 및 제 3 중간 금속 패턴들은 상기 제 1, 제 2, 및 제 3 반사 패턴들과 동일한 금속 물질을 포함하는 공진형 컬러 필터
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9
제 1 항에 있어서, 상기 하부 유전층은: 상기 제 1 반사 패턴을 덮는 제 1 하부 절연 패턴;상기 제 1 하부 절연 패턴 및 제 2 반사 패턴을 덮는 제 2 하부 절연 패턴; 및상기 제 1 하부 절연 패턴, 제 2 하부 절연 패턴, 및 제 3 반사 패턴을 덮는 제 3 하부 절연 패턴을 포함하는 공진형 컬러 필터
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10
제 9 항에 있어서, 상기 제 1, 제 2, 및 제 3 하부 절연 패턴들은 서로 다른 두께를 갖는 공진형 컬러 필터
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11
제 1 항에 있어서, 상기 제 1, 제 2, 및 제 3 상부 전극 패턴들 각각은 상기 하부 및 상부 유전층들을 관통하는 비아 부분을 포함하되, 상기 제 1, 제 2, 및 제 3 상부 전극 패턴들의 상기 비아 부분들은 상기 제 1, 제 2, 및 제 3 반사 패턴들에 각각 접속되는 공진형 컬러 필터
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12
제 11 항에 있어서, 상기 제 1, 제 2, 및 제 3 상부 전극 패턴들의 상기 비아 부분들은 상기 제 1, 제 2, 및 제 3 중간 금속 패턴들의 측벽들과 각각 접촉하는 공진형 컬러 필터
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13
제 1, 제 2, 및 제 3 화소 영역들을 포함하는 기판 상에 하부 유전층을 형성하는 것;상기 하부 유전층 상에 중간 금속막(130) 및 식각 방지막(140)을 차례로 증착하는 것;상기 중간 금속막(130) 및 상기 식각 방지막(140)을 패터닝하여 상기 제 1, 제 2, 및 제 3 화소 영역들에 각각 제 1, 제 2, 및 제 3 중간 금속 패턴들 및 제 1, 제 2, 및 제 3 식각 방지 패턴들을 형성하는 것;상기 하부 유전층 상에 상기 제 1 식각 방지 패턴을 덮고 상기 제 2 및 제 3 식각 방지 패턴들을 노출시키는 제 1 상부 절연 패턴을 형성하는 것;상기 하부 유전층 상에 상기 제 1 상부 절연 패턴 및 상기 제 2 식각 방지 패턴을 덮고, 상기 제 3 식각 방지 패턴을 노출시키는 제 2 상부 절연 패턴을 형성하는 것; 및상기 하부 유전층 상에 상기 제 1 및 제 2 상부 절연 패턴들 및 상기 제 3 식각 방지 패턴을 덮는 제 3 상부 절연 패턴을 형성하는 것을 포함하는 공진형 컬러 필터의 제조 방법
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14
제 13 항에 있어서, 상기 제 1, 제 2, 및 제 3 상부 절연 패턴들은 서로 다른 두께를 갖는 공진형 컬러 필터의 제조 방법
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15
제 13 항에 있어서, 상기 하부 유전층을 형성하기 전에, 상기 기판 상에 상기 제 1, 제 2, 및 제 3 화소 영역들에 각각 제공되는 제 1, 제 2, 및 제 3 반사 패턴들을 형성하는 것을 더 포함하는 공진형 컬러 필터의 제조 방법
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16
제 15 항에 있어서, 상기 하부 유전층은 상기 제 1, 제 2, 및 제 3 반사 패턴들을 덮으며, 상기 제 1, 제 2, 및 제 3 화소 영역들에서 서로 다른 두께를 갖는 공진형 컬러 필터의 제조 방법
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17
제 16 항에 있어서, 상기 하부 유전층을 형성하는 것은: 상기 기판 상에 상기 제 1 반사 패턴을 덮고, 상기 제 1 및 제 2 반사 패턴들을 노출시키는 제 1 하부 절연 패턴을 형성하는 것;상기 제 1 하부 절연 패턴 및 상기 제 2 반사 패턴을 덮되 상기 제 3 반사 패턴을 노출시키는 제 2 하부 절연 패턴을 형성하는 것; 및 상기 제 1 및 제 2 하부 절연 패턴들 및 상기 제 3 반사 패턴을 덮는 제 3 하부 절연 패턴을 형성하는 것을 포함하는 공진형 컬러 필터의 제조 방법
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18
제 13 항에 있어서, 상기 제 1, 제 2, 및 제 3 중간 금속 패턴들은 동일한 두께를 갖되, 상기 기판으로부터 서로 다른 레벨에 위치하는 공진형 컬러 필터의 제조 방법
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19
제 13 항에 있어서, 상기 제 1, 제 2, 및 제 3 식각 방지 패턴들은 동일한 두께를 갖되,상기 제 1, 제 2, 및 제 3 식각 방지 패턴들의 상기 두께는 상기 제 1 상부 절연 패턴의 두께보다 작은 공진형 컬러 필터의 제조 방법
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20
제 13 항에 있어서, 상기 제 1, 제 2, 및 제 3 상부 절연 패턴들은 동일한 유전 물질로 형성되고,상기 제 1, 제 2, 및 제 3 식각 방지 패턴들은 상기 제 1, 제 2, 및 제 3 상부 절연 패턴들과 다른 유전 물질로 형성되는 공진형 컬러 필터의 제조 방법
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