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반사형 비결맞음 조명 현미경에 있어서, 다수의 제1LED광원이 구비되며, 대물렌즈를 투과하여 서로 다른 각도로 측정대상물에 복수의 LED빔을 조사하는 제1LED 어레이로 구성된 제1패널을 갖는 제1조명기; LED빔이 조사된 측정대상물에서 반사되어 나오는 빔을 수집하도록 구성된 집광렌즈; 및상기 집광렌즈로부터 광을 수광하고 복수의 LED빔이 상기 측정대상물에서 반사된 2D이미지 정보를 취득하는 광검출기;를 포함하는 것을 특징으로 하는 LED어레이를 이용한 반사형 비결맞음 조명 현미경
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제 1항에 있어서, 상기 LED빔은 상기 제1조명기에서 조사되어 광학계를 통과하여 빔스플리터에 의해 반사된 후, 대물렌즈를 거쳐 측정대상물에 입사되고, 2D이미지 획득 모드와 두께정보획득모드에서, 복수의 상기 제1LED광원 전체가 켜지도록 제어하는 제어부;를 포함하는 것을 특징으로 하는 LED어레이를 이용한 반사형 비결맞음 조명 현미경
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제 2항에 있어서, 상기 대물렌즈와 상기 측정대상물 사이에 구비되어 상기 측정대상물 측으로 각각이 LED빔을 조사하는 복수의 제2LED광원을 갖는 제2LED어레이를 포함하는 제2조명기;를 더 포함하고, 제어부는 2D이미지 획득 모드와 두께정보획득모드에서, 복수의 상기 제2LED광원 전체가 켜지도록 제어하며, 두께정보 획득 모드시, 제어부는 구동스테이지를 통해 상기 측정대상물을 z축상으로 이동시키고, 광검출기는 z축상 포커싱 위치를 얻어 상기 측정대상물의 두께정보를 획득하고,상기 2D이미지 정보와, 상기 두께정보를 통해 3D이미지를 획득하는 분석수단을 더 포함하는 것을 특징으로 하는 LED어레이를 이용한 반사형 비결맞음 조명 현미경
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제 3항에 있어서, 상기 패널은 원판형태이고, 상기 제1LED어레이를 형성하는 제1LED광원은 패널의 중심점과, 상기 중심점을 기준으로 서로 원주방향으로 소정간격 이격되어 배열되고, x,y 평면방향 분해능은 상기 제1LED광원의 가장 큰 조사각에 해당하는 NAill과 상기 대물렌즈의 NAobj에 따라 결정되는 것을 특징으로 하는 LED어레이를 이용한 반사형 비결맞음 조명 현미경
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반사형 비결맞음 조명 현미경의 작동방법에 있어서, 2D이미지 획득 모드가 진행되도록 LED어레이를 구성하는 LED광원 전체가 켜지고, 각각의 LED빔들이 광학계를 거쳐 빔스플리터에 반사되어 대물렌즈를 거쳐 측정대상물에 입사되는 제1단계; 상기 LED어레이가 이미지 릴레이 되어 상기 대물렌즈의 후초점면에 이미징되는 제2단계;반사빔이 빔스플리터와 집광렌즈를 거쳐 상기 광검출기로 입사되고, 상기 광검출기에서 복수의 LED빔이 상기 측정대상물에서 반사된 2D이미지 정보를 취득하는 제3단계; 구동스테이지를 통해 상기 측정대상물을 z축상으로 이동시키고, 광검출기는 z축상 포커싱 위치를 얻어 상기 측정대상물의 두께정보를 획득하는 두께정보 획득 모드가 진행되는 제4단계; 및분석수단이 상기 2D이미지 정보와, 상기 두께정보를 통해 3D이미지를 획득하는 제5단계;를 포함하는 것을 특징으로 하는 LED어레이를 이용한 반사형 비결맞음 조명 현미경의 작동방법
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제 5항에 있어서, 상기 제5단계 후에, 구동스테이지를 통해 상기 측정대상물을 x,y방향으로 이동시키고, 상기 제1 내지 제5단계를 반복하는 단계를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 LED어레이를 이용한 반사형 비결맞음 조명 현미경의 작동방법
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