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반도체 양자점의 생성 방법에 있어서, 기판 상부에 비정질 반도체 박막을 증착하는 단계; 상기 비정질 반도체 박막 상부에 플라즈마를 형성하고 이로부터 상기 비정질 반도체 박막에 이온 에너지를 전달하여 결정질 나노입자를 생성하는 단계; 상기 비정질 반도체 박막과 상기 결정질 나노입자에 이온 에너지를 더 전달하여 상기 결정질 나노입자를 성장시키는 단계; 상기 결정질 나노입자가 성장하여 양자점이 생성되는 단계;를 포함하는 것을 특징으로 하는 반도체 양자점의 생성 방법
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제 1 항에 있어서, 상기 이온 에너지는 상기 비정질 반도체 박막의 스퍼터링 문턱 에너지(Eth)를 기준으로 0
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제 1 항에 있어서, 상기 이온 에너지는 상기 비정질 반도체 박막의 스퍼터링 문턱 에너지(Eth)를 기준으로 0
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제 1 항에 있어서, 상기 양자점의 크기는 0
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제 1 항에 있어서, 상기 기판 상부에 비정질 반도체 박막을 증착하는 단계에서 상기 기판은 실리콘 웨이퍼로 형성되고 상기 실리콘 웨이퍼에 산화막, 질화막, 금속층 중 어느 하나가 형성된 후 그 상부에 비정질 실리콘 박막이 증착되는 것을 특징으로 하는 반도체 양자점의 생성 방법
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반도체 양자점의 크기 제어 방법에 있어서, 복수의 양자점이 생성된 기판의 상부에 적어도 하나의 양자점이 노출되도록 마스크를 형성하는 단계; 상기 기판 상부에 플라즈마를 형성하고 노출된 상기 양자점에 이온 에너지를 전달하여 크기를 제어하는 단계;를 포함하는 것을 특징으로 하는 반도체 양자점의 크기 제어 방법
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반도체 양자점의 생성 방법에 있어서, 기판 상부에 비정질 반도체 박막을 증착하는 단계; 상기 비정질 반도체 박막의 일부가 노출하도록 마스크를 형성하는 단계; 상기 마스크 상부에 플라즈마를 형성하고 이로부터 노출된 상기 비정질 반도체 박막에 이온 에너지를 전달하여 결정질 나노입자를 생성하는 단계; 상기 비정질 반도체 박막과 상기 결정질 나노입자에 이온 에너지를 더 전달하여 상기 결정질 나노입자를 성장시키는 단계; 상기 결정질 나노입자가 성장하여 양자점이 생성되는 단계;를 포함하는 것을 특징으로 하는 반도체 양자점의 생성 방법
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반도체 양자점의 생성 방법에 있어서, 기판 상부에 비정질 반도체 박막을 증착하는 단계; 상기 비정질 반도체 박막을 패터닝하는 단계; 패터닝된 상기 비정질 반도체 박막이 노출하도록 마스크를 형성하는 단계; 상기 마스크 상부에 플라즈마를 형성하고 이로부터 노출된 상기 비정질 반도체 박막에 이온 에너지를 전달하여 결정질 나노입자를 생성하는 단계; 상기 비정질 반도체 박막과 상기 결정질 나노입자에 이온 에너지를 더 전달하여 상기 결정질 나노입자를 성장시키는 단계; 상기 결정질 나노입자가 성장하여 양자점이 생성되는 단계;를 포함하는 것을 특징으로 하는 반도체 양자점의 생성 방법
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반도체 양자점의 생성 시스템에 있어서, 비정질 반도체 박막이 증착된 기판이 내부에 위치하도록 하는 챔버, 상기 챔버 내에 플라즈마를 발생시키는 전원공급부를 포함하고, 상기 전원공급부는 상기 비정질 반도체 박막에 전달되는 이온 에너지를 제어하여 상기 비정질 반도체 박막에 결정질 나노입자가 생성되도록 하고, 상기 비정질 반도체 박막과 상기 결정질 나노입자에 이온 에너지를 더 전달하여 상기 결정질 나노입자가 성장되어 양자점이 생성되도록 하는 것을 특징으로 하는 반도체 양자점의 생성 시스템
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제 9 항에 있어서, 상기 전원공급부는 플라즈마 밀도를 제어하기 위한 플라즈마 발생부와 이온 에너지를 제어하기 위한 바이어스 전원 인가부를 포함하는 것을 특징으로 하는 반도체 양자점의 생성 시스템
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제 10 항에 있어서, 상기 플라즈마 발생부는 유도결합 플라즈마(ICP: Inductively Coupled Plasma) 발생부, 자화된 유도결합 플라즈마(Magnetized ICP) 발생부, 용량성 결합 플라즈마(CCP: Capacitive Coupled Plasma) 발생부, 자화된 용량성 결합 플라즈마(Magnetized CCP) 발생부, 마이크로웨이브 플라즈마(Microwave Plasma) 발생부, 자화된 마이크로웨이브 플라즈마(Magnetized Microwave Plasma) 발생부 중 적어도 어느 하나인 것을 특징으로 하는 반도체 양자점의 생성 시스템
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