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기판 상의 하부 클래드 층;상기 하부 클래드 층 상의 광 도파로;상기 광 도파로의 양측들에 배치되고, 상기 광 도파로에 대해 제 1 거리를 갖는 진행파 전극들; 및상기 진행파 전극들과 상기 하부 클래드 층 사이에 배치되고, 상기 광 도파로에 대해 상기 제 1 거리보다 작은 제 2 거리를 갖는 강유전체 블록들을 포함하는 전기 광 변조기
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제 1 항에 있어서, 상기 강유전체 블록들의 각각은 상기 진행파 전극들로부터 노출되는 상부면을 갖는 돌출부를 갖는 전기 광 변조기
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제 2 항에 있어서, 상기 돌출부는 상기 제 1 거리와 상기 제 2 거리의 차이에 대응되는 제 1 폭을 갖는 전기 광 변조기
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제 3 항에 있어서, 상기 제 1 폭은 0
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제 1 항에 있어서, 상기 제 1 거리는 1
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제 1 항에 있어서, 상기 광 도파로는 상기 제 2 거리보다 작은 제 2 폭을 갖는 전기 광 변조기
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제 6 항에 있어서, 상기 제 2 폭은 0
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제 1 항에 있어서, 상기 광 도파로 및 상기 강유전체 블록들은 LiNbO3을 포함하는 전기 광 변조기
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제 1 항에 있어서, 상기 광 도파로는:입력 도파로;상기 입력 도파로에 대향하는 출력 도파로; 및상기 입력 도파로에서 분기되어 상기 출력 도파로에 결합되는 브랜치 도파로들을 포함하되,상기 강유전체 블록들은 상기 브랜치 도파로들 사이 및 상기 브랜치 도파로들 양측들에 배치되는 전기 광 변조기
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10
제 9 항에 있어서,상기 진행파 전극들은:상기 브랜치 도파로들 사이의 신호 전극; 및상기 브랜치 도파로들 외곽 양측들의 접지 전극들을 포함하는 전기 광 변조기
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제 10 항에 있어서,상기 진행파 전극들, 상기 강유전체 블록들 및 상기 광 도파로 상의 상부 클래드 층을 더 포함하는 전기 광 변조기
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12
제 11 항에 있어서,상기 진행파 전극들에 인접하여 배치되고, 상기 브랜치 도파로들 중 하나의 양측들에 배치되는 직류 전극들을 더 포함하는 전기 광 변조기
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13
제 12 항에 있어서,상기 상부 클래드 층 상애 배치되는 배선 전극들을 더 포함하되,상기 배선 전극들은:상기 신호 전극 및 상기 접지 전극들에 연결되는 제 1 배선 전극들; 및상기 직류 전극들에 연결되는 제 2 배선 전극을 포함하는 전기 광 변조기
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제 13 항에 있어서, 상기 제 1 배선 전극들 상에 제공되고, 상기 신호 전극 및 상기 접지 전극들의 일측 상의 상기 제 1 배선 전극들을 연결하는 저항들을 더 포함하는 전기 광 변조기
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제 13 항에 있어서, 상기 진행파 전극들은 제 1 방향으로 연장하고, 상기 제 1 배선 전극들의 각각은 상기 제 1 방향으로 연장하는 직선 구조를 갖는 전기 광 변조기
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제 9 항에 있어서, 상기 입력 도파로는상기 광 도파로는:상기 입력 도파로와 상기 브랜치 도파로들 사이의 광 분배기; 및상기 브랜치 도파로들과 상기 출력 도파로 사이의 광 결합기를 더 포함하는 전기 광 변조기
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