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1
제1 기판의 일면에 형성되는 제1 전극; 및 상기 제1 기판의 타면 방향으로 이격되도록 배치되는 제2 기판에서 상기 제1 기판을 향하는 일면에 형성되는 제2 전극을 포함하고,상기 제2 전극은 백금흑을 포함하는, DBD 플라즈마 발생기
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청구항 1에 있어서, 상기 제1 전극은 AC 전원을 공급받고,상기 제2 전극은 그라운드에 연결되어, 상기 제2 전극과 상기 제1 기판 사이에 플라즈마가 생성되는, DBD 플라즈마 발생기
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청구항 1에 있어서, 상기 제2 전극은 상기 제2 기판의 일면에 형성된 메탈층; 및 상기 메탈층에 형성된 백금흑층을 포함하는, DBD 플라즈마 발생기
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4
청구항 3에 있어서, 상기 제2 기판의 타면에 형성되는 연결패드; 및 상기 제2 기판을 일면과 타면을 관통하여 상기 연결패드와 상기 메탈층을 연결하는 연결부를 더 포함하는, DBD 플라즈마 발생기
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5
청구항 1에 있어서, 상기 제2 기판의 타면 방향으로 이격되도록 배치되는 제3 기판;상기 제3 기판에서 상기 제2 기판을 향하는 일면에 반대되는 타면에 형성되는 제3 전극; 및 상기 제2 기판에서 상기 제3 기판을 향하는 타면에 형성되는 제4 전극을 더 포함하며,상기 제4 전극은 백금흑을 포함하는, DBD 플라즈마 발생기
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6
청구항 5에 있어서, 상기 제2 전극은 상기 제2 기판의 일면에 형성된 제1 메탈층; 및 상기 제1 메탈층에 형성된 제1 백금흑층을 포함하고,상기 제4 전극은 상기 제2 기판의 타면에 형성된 제2 메탈층; 및 상기 제2 메탈층에 형성된 제2 백금흑층을 포함하는, DBD 플라즈마 발생기
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7
청구항 5에 있어서, 상기 제2 기판은 일단이 상기 제1 기판과 제3 기판의 가장자리로부터 바깥으로 돌출되도록 형성되며, 상기 제2 기판의 상기 일단에 형성되는 연결패드; 및 상기 제2 기판의 내부를 관통하도록 형성되며, 상기 연결패드와 상기 제1 메탈층 또는 제2 메탈층 중의 적어도 하나를 연결하는 연결부를 더 포함하는, DBD 플라즈마 발생기
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8
청구항 1에 있어서, 상기 제2 전극에서 상기 제1 전극으로 직접 방전이 발생하지 않도록, 상기 제2 전극은 상기 제1 기판의 가장자리로부터 내측으로 일정간격 이격되게 배치되고 제1 기판보다 작은 면적으로 형성되는, DBD 플라즈마 발생기
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9
청구항 1에 있어서, 상기 제2 전극은 상기 제1 기판의 타면 방향으로 이격되도록 배치되는 금속 재질의 원통형 바의 외면에 형성되는, DBD 플라즈마 발생기
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10
청구항 2에 있어서, 상기 제1 전극과 제2 전극에 상기 AC 전원 또는 그라운드를 전환하여 연결할 수 있는 스위칭회로를 더 포함하는, DBD 플라즈마 발생기
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11
세라믹 재질의 제1 기판을 준비하는 제1 기판 준비단계;상기 제1 기판의 일면에 금속을 도금하여 제1 전극을 형성하는 제1 전극 형성단계;제2 기판을 준비하는 제2 기판 준비단계;상기 제2 기판의 일면에 백금흑을 포함하는 제2 전극을 형성하는 제2 전극 형성단계; 및 상기 제1 기판의 일면에 반대되는 타면이 상기 제2 기판의 제2 전극이 형성된 일면과 마주보도록 배치하고, 상기 제1 기판과 제2 기판이 정해진 간격만큼 이격되도록 배치하는 조립단계를 포함하는, DBD 플라즈마 발생기 제조방법
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12
청구항 11에 있어서, 상기 제2 전극 형성단계는 상기 제2 기판의 일면에 금속을 도금하여 메탈층을 형성하는 메탈층 형성단계; 및 상기 메탈층에 전기도금을 이용하여 나노스케일의 백금흑층을 형성하는 백금흑층 형성단계를 포함하는, DBD 플라즈마 발생기 제조방법
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13
청구항 12에 있어서, 상기 메탈층 형성단계는 상기 제2 기판의 타면에 외부 회로와 연결되기 위한 연결패드와, 상기 메탈층과 상기 연결패드를 연결하기 위하여 상기 제2 기판의 일면과 타면을 관통하여 형성되는 연결부를 더 형성하는, DBD 플라즈마 발생기 제조방법
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