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다성분계 합금분말을 이용한 AIP 코팅용 타겟 제조방법으로서, (a) 내부에 밀링 공간이 형성되고, 회전 가능하며 회전축과 수평한 방향으로 진동이 가능한 밀링 용기 및 상기 밀링 공간에 상기 밀링 용기 내에 회전가능하게 설치되어 원료 분말과 볼을 교반시키는 회전 임펠러를 구비하는 분말 밀링 장치 내부로 적어도 2 종의 금속분말이 혼합된 혼합분말을 투입하는 단계;(b) 상기 밀링 용기를 진동시키면서, 상기 밀링 용기 및 상기 회전 임펠러를 서로 반대 방향으로 회전시켜 상기 혼합분말의 분쇄 및 기계적 합금화를 수행하는 단계;(c) 상기 기계적 합금화된 혼합분말을 소결(sintering)하여 소결체를 제조하는 단계를 포함하는, 진동/회전 볼 밀링 장치로 제조된 다성분계 합금분말을 이용한 AIP 코팅용 타겟 제조방법
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제 1 항에 있어서, 상기 분말 밀링 장치는, 상기 밀링 용기가 원통 형상의 중심축과 동일하게 형성되는 제 1 회전축을 기준으로 회전할 수 있도록, 상기 밀링 용기의 양측의 중심부를 회전 가능하게 지지하여 상기 밀링 용기를 회전시키는 지지대를 포함하는, 진동/회전 볼 밀링 장치로 제조된 다성분계 합금분말을 이용한 AIP 코팅용 타겟 제조방법
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제 2 항에 있어서, 상기 분말 밀링 장치는 상기 지지대에 설치되어 상기 밀링 용기를 진동시키는 진동부를 포함하는, 진동/회전 볼 밀링 장치로 제조된 다성분계 합금분말을 이용한 AIP 코팅용 타겟 제조방법
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제 1 항에 있어서, 상기 회전 임펠러는,상기 밀링 용기의 일측면으로부터 상기 밀링 공간 내부로 봉 형상으로 길게 연장되게 형성되는 회전 봉; 및상기 회전 봉의 외주면으로부터 상기 회전 봉에 수직한 방향으로 길게 연장되게 형성되는 복수개의 교반 봉;을 포함하는, 진동/회전 볼 밀링 장치로 제조된 다성분계 합금분말을 이용한 AIP 코팅용 타겟 제조방법
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제 1 항에 있어서, 상기 (a) 단계에서 상기 밀링 공간 내부가 비활성 가스 혹은 액체 질소 분위기를 유지하는, 진동/회전 볼 밀링 장치로 제조된 다성분계 합금분말을 이용한 AIP 코팅용 타겟 제조방법
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제 1 항에 있어서, 상기 (c) 단계는 방전 플라즈마 소결(spark plasma sintering)에 의해 수행되는, 진동/회전 볼 밀링 장치로 제조된 다성분계 합금분말을 이용한 AIP 코팅용 타겟 제조방법
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제 1 항에 있어서,상기 (b) 단계는 상기 밀링 용기 및 상기 회전 임펠러를 서로 다른 회전 속도로 회전하는, 진동/회전 볼 밀링 장치로 제조된 다성분계 합금분말을 이용한 AIP 코팅용 타겟 제조방법
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제 5 항에 있어서, 상기 (c) 단계에 있어서, 방전 플라즈마 소결(spark plasma sintering)은,(c-1) 몰드 세트 내에 상기 기계적 합금화된 혼합분말을 충진하는 충진단계;(c-2) 상기 충진된 몰드 세트를 방전 플라즈마 소결 장비에 장입한 후 흑연 스페이서를 이용하여 상부는 역피라미드, 하부는 피라미드 형태로 적층하여 장착하는 장착단계;(c-3) 장착이 완료된 후 흑연 몰드에 30 내지 100 MPa의 소결압력을 인가하는 프레스 단계; (c-4) 장비 챔버를 닫고 방전플라즈마 장치 내부를 6 Pa 이하로 형성하는 진공화 단계; 및 (c-5) 진공화 단계가 완료된 후 상기 흑연 몰드를 통전하면 1000℃ 내지 1100℃까지 승온 후 냉각하는 단계;를 포함하는, 진동/회전 볼 밀링 장치로 제조된 다성분계 합금분말을 이용한 AIP 코팅용 타겟 제조방법
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제 8 항에 있어서, 상기 혼합분말을 충진하는 충진단계 후 상기 장착단계 이전에 상기 흑연 몰드 내에서 상기 혼합분말을 가압하는 예비 가압 단계가 더 수행되는, 진동/회전 볼 밀링 장치로 제조된 다성분계 합금분말을 이용한 AIP 코팅용 타겟 제조방법
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제 8 항에 있어서, (c-5) 단계는, 300 내지 350℃까지 승온속도 55 내지 60℃/min으로 승온 후 3 내지 5분간 등온하는 1차 승온단계;400내지 430℃까지 승온속도 30℃/min 내지 35℃/min으로 승온 후 3 내지 5분간 등온하여 열팽창에 대한 안정화를 시켜주는 2차 승온단계, 750 내지 780℃까지 20 내지 25℃/min으로 승온 후 3분간 등온하여 합금상을 형성할 수 있도록 만들어 주는 3차 승온단계, 1000 내지 1100℃까지 30 내지 35℃/min으로 승온 후 10 내지 15분간 등온하여 고밀도화가 될 수 있도록 형성하는 4차 승온단계; 및 냉각시 670 내지 700℃까지 7 내지 10℃/min으로 감온한 후 20분간 등온하여 내외부 온도편차를 최소가 될 수 있도록 형성하는 냉각단계;를 포함하는, 진동/회전 볼 밀링 장치로 제조된 다성분계 합금분말을 이용한 AIP 코팅용 타겟 제조방법
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제 1 항에 있어서, 상기 혼합분말은 Ti, Al 및 Si의 혼합분말 혹은 Cr, Al 및 Si의 혼합분말인, 진동/회전 볼 밀링 장치로 제조된 다성분계 합금분말을 이용한 AIP 코팅용 타겟 제조방법
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