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레이저 유도 분광 분석(LIBS, Laser-induced breakdown spectroscopy)를 이용하여 샘플(S)에 레이저를 조사하고 분광 분석하는 시스템에서,레이저를 조사하는 광원부(100);상기 광원부(100)에서 조사된 레이저가 이동되는 경로에 위치되고, 레이저의 입사경로를 변경하는 제1 미러(210); 상기 변경된 입사경로 상에 위치되는 제2 미러(220)와 반사형 대물렌즈(250)를 포함하는, 광학부(200); 및분광부(300);를 포함하고, 상기 광원부(100)로부터의 조사된 레이저가 상기 광학부(200)를 지나 샘플(S)에 조사되면, 상기 샘플(S)이 식각되어 플라즈마가 발생되고, 상기 발생된 플라즈마는 상기 반사형 대물렌즈(250)를 통과하여 상기 제2 미러(220)에서 반사되고 상기 분광부(300)로 이동되며, 상기 분광부(300)는 상기 광학부(200)에서 반사된 플라즈마를 분석하여 LIBS 정보를 수집하는,시스템
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제1항에 있어서,광검출 센서(photodetector sensor)를 포함하여, 상기 발생된 플라즈마의 광량과 광의 세기를 포함하는 광 정보를 수집하는 포커싱부(400); 및기설정된 방법으로 상기 반사형 대물렌즈(250)의 위치를 제어하고, 샘플(S)과 상기 반사형 대물렌즈(250)사이의 거리 정보를 수집하는 제어부(500);를 더 포함하는,시스템
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제2항에 있어서,상기 제어부(500)는 상기 광 정보에서 광량과 광의 세기가 기설정된 값 이상인 경우 초점이 맞는 것으로 판단하고, 상기 제어부(500)는 광 정보 중 광량과 광의 세기가 기설정된 값 미만인 광 정보와 이 때의 거리 정보를 초점이 안맞는 것으로 판단하는,시스템
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제3항에 있어서,상기 제어부(500)는, 상기 초점이 안맞는 것으로 판단된 경우, 상기 반사형 대물렌즈(250)의 위치를 실시간으로 제어하는,시스템
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제2항에 있어서,상기 제어부(500)는 상기 광 정보, 상기 거리 정보, 상기 LIBS 정보를 학습하는,시스템
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제1항에 있어서,상기 제2 미러(220)는 레이저는 투과하고 플라즈마를 반사하는 다이크로닉 미러(dichronic mirror)인,시스템
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제3항에 있어서,상기 광학부(200)는,상기 제2 미러(220)에서 반사된 플라즈마의 변경된 입사 경로 상에 위치되며, 기설정된 영역의 플라즈마를 투과시켜 상기 분광부(300)로 입사시키는 제3 미러(230); 및상기 제3 미러(230)와 동일 경로 상에 위치되되, 상기 제3 미러(230)에서 반사된 플라즈마를 투과시켜 상기 포커싱부(400)로 입사시키는 제4 미러(240); 를 더 포함하는,시스템
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제4항에 따른 상기 시스템을 이용하여, 반사형 대물렌즈의 위치를 제어하는 방법
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