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열 특성 개선을 위한 마이크로공진기 소수성 표면 처리 방법

  • 기술번호 : KST2022008009
  • 담당센터 : 대전기술혁신센터
  • 전화번호 : 042-610-2279
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요약, Int. CL, CPC, 출원번호/일자, 출원인, 등록번호/일자, 공개번호/일자, 공고번호/일자, 국제출원번호/일자, 국제공개번호/일자, 우선권정보, 법적상태, 심사진행상태, 심판사항, 구분, 원출원번호/일자, 관련 출원번호, 기술이전 희망, 심사청구여부/일자, 심사청구항수의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 서지정보 표입니다.
요약 열 특성 개선을 위한 마이크로공진기 소수성 표면 처리 방법을 제안한다. 구체적으로, HMDS(hexamethyldisilazane)를 이용한 소수성 표면처리로 수분 흡착을 방지하여 기존의 소자 제작 방식과 솔리톤 모드(Soliton mode) 잠금 기술을 유지하면서도 Q-factor의 저하 없이 대기 노출에 오랜 시간동안 솔리톤 모드 잠금 동작이 가능하도록 한다.
Int. CL H01P 11/00 (2006.01.01) H01P 7/10 (2006.01.01)
CPC H01P 11/008(2013.01) H01P 7/10(2013.01)
출원번호/일자 1020200166192 (2020.12.02)
출원인 한국과학기술원
등록번호/일자
공개번호/일자 10-2022-0077349 (2022.06.09) 문서열기
공고번호/일자
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보
법적상태 공개
심사진행상태 수리
심판사항
구분 국내출원/신규
원출원번호/일자
관련 출원번호
심사청구여부/일자 N
심사청구항수 2

출원인

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번호 이름 국적 주소
1 한국과학기술원 대한민국 대전광역시 유성구

발명자

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번호 이름 국적 주소
1 이한석 대전광역시 유성구
2 정동인 대전광역시 유성구

대리인

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번호 이름 국적 주소
1 유미특허법인 대한민국 서울특별시 강남구 테헤란로 ***, 서림빌딩 **층 (역삼동)

최종권리자

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번호 서류명 접수/발송일자 처리상태 접수/발송번호
1 [특허출원]특허출원서
[Patent Application] Patent Application		 2020.12.02 수리 (Accepted) 1-1-2020-1301759-68
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번호 청구항
1 1
열 특성 개선을 위한 마이크로공진기 소수성 표면 처리 방법
2 2
고온에서 열처리한 실리카 마이크로공진기를 HMDS 증기에 노출시켜 표면에 소수성의 단일 박막층을 형성하는 방법
지정국 정보가 없습니다
패밀리정보가 없습니다
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순번 연구부처 주관기관 연구사업 연구과제
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