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제1 유연성 기판 상의 제1 전극;제2 유연성 기판 상의 제2 전극;상기 제1 전극과 상기 제2 전극 사이에 배치된 가변 저항 복합체;를 포함하고,상기 가변 저항 복합체는 3차원적으로 네트워크를 형성하는 마이크로 섬유로 이루어진 섬유 구조체 및 상기 마이크로 섬유의 표면에 코팅된 맥신(MXene)을 포함하는 플렉서블 압력 센서
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제1항에 있어서,상기 마이크로 섬유는 실크 피브로인(silk fibroin)인 플렉서블 압력 센서
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제2항에 있어서,상기 맥신(MXene)은 Ti3C2Tx인 플렉서블 압력 센서
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제1항에 있어서,상기 섬유 구조체의 두께는 0
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제1항에 있어서,상기 제1 전극 및 상기 제2 전극은 Ni/Au 적층구조를 가지는 플렉서블 압력 센서
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제1항에 있어서,상기 제1 유연성 기판 및 상기 제2 유연성 기판은 폴리다이메틸실록세인(PDMS), 폴리에틸렌테레프탈레이트(PET), 폴리이미드(PI) 중 어느 하나인 플렉서블 압력 센서
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제1 유연성 기판 상에 제1 전극을 형성하는 단계;제2 유연성 기판 상에 제2 전극을 형성하는 단계;3차원적으로 네트워크를 형성하는 마이크로 섬유로 이루어진 섬유 구조체 및 상기 마이크로 섬유의 표면에 코팅된 맥신(MXene)을 포함하는 가변 저항 복합체를 제조하는 단계; 및상기 제1 전극과 상기 제2 전극 사이에 상기 가변 저항 복합체를 배치하는 단계;를 포함하는 플렉서블 압력 센서의 제조 방법
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제7항에 있어서,상기 가변 저항 복합체를 제조하는 단계는,분산된 맥신(MXene) 나노시트들을 포함하는 맥신(MXene) 수용액을 준비하는 단계;3차원적으로 네트워크를 형성하는 마이크로 섬유로 이루어진 섬유 구조체를 준비하는 단계;상기 마이크로 섬유의 표면에 맥신(MXene)을 코팅하기 위해 상기 맥신(MXene) 수용액을 상기 섬유 구조체에 적용하는 단계를 포함하는 플렉서블 압력 센서의 제조 방법
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제8항에 있어서,상기 마이크로 섬유는 실크 피브로인이고, 상기 맥신(MXene)은 Ti3C2Tx인 플렉서블 압력 센서의 제조 방법
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제9항에 있어서,상기 맥신(MXene) 수용액에서, 상기 Ti3C2Tx의 농도는 2 mg/ml인 플렉서블 압력 센서의 제조 방법
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제7항에 있어서,상기 섬유 구조체의 두께는 0
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제8항에 있어서,상기 맥신(MXene) 수용액을 상기 섬유 구조체에 적용하는 단계는 상기 맥신(MXene) 수용액을 상기 섬유 구조체에 드롭핑(dropping)하는 단계를 포함하는 플렉서블 압력 센서의 제조 방법
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