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마이크로파 유도가열 장치를 이용한 적층 세라믹 커패시터 고속 동시소결 방법에 있어서,상기 마이크로파 유도가열 장치의 투명관에 하나 이상의 적층 세라믹 커패시터(MLCC)를 투입하는 단계;상기 마이크로파 유도가열 장치의 투명관 내부를 저진공 상태 또는 비활성 가스 상태로 조성하는 단계;상기 마이크로파 유도가열 장치를 이용하여 미리 결정된 가열 속도로 상온에서부터 상기 적층 세라믹 커패시터(MLCC)의 유전체 소결 온도까지 고속 승온시키는 단계; 및상기 유전체 소결 온도를 일정시간 동안 유지한 후, 상기 적층 세라믹 커패시터(MLCC)를 자연 냉각시키는 단계를 포함하는 적층 세라믹 커패시터 고속 동시소결 방법
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제1항에 있어서,상기 저진공 상태의 압력은 0
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제1항에 있어서,상기 가열 속도는 5℃/s 내지 200℃/s의 범위 내에서 결정되는 것을 특징으로 하는 적층 세라믹 커패시터 고속 동시소결 방법
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제1항에 있어서,상기 일정시간은, 1초에서부터 10분까지의 범위 중에서 선택되는 것을 특징으로 하는 적층 세라믹 커패시터 고속 동시소결 방법
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제1항에 있어서,상기 적층 세라믹 커패시터(MLCC)의 내부 전극층 산화가 진행되는 온도 이상에서 머무르는 시간을 10분 이내로 하는 것을 특징으로 하는 적층 세라믹 커패시터 고속 동시소결 방법
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제1항에 있어서, 상기 자연 냉각 단계는, 상기 유전체 소결 온도를 일정 시간 동안 유지한 후 미리 결정된 가열 속도로 최고 소결 온도까지 승온시키는 단계; 및상기 최고 소결 온도에서 일정 시간 동안 유지한 후 상기 적층 세라믹 커패시터(MLCC)를 자연 냉각시키는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 적층 세라믹 커패시터 고속 동시소결 방법
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제1항에 있어서, 상기 투입 단계는, 상기 투명관을 이용하여 상기 적층 세라믹 커패시터(MLCC)를 이동시켜서 그 가열 부위가 상기 마이크로파 유도가열 장치의 유전체 공진기로부터 소정의 거리를 두고 위치하도록 로딩하는 것을 특징으로 하는 적층 세라믹 커패시터 고속 동시소결 방법
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제1항에 있어서, 상기 적층 세라믹 커패시터(MLCC)를 상기 투명관에 일렬로 연속 투입하고, 상기 투입된 적층 세라믹 커패시터(MLCC)를 이동시키면서 소결하는 단계를 더 포함하는 적층 세라믹 커패시터 고속 동시소결 방법
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마이크로파를 입력받는 마이크로파 입력부;상기 마이크로파 입력부에 결합되어, 상기 마이크로파를 전달하는 마이크로파 커플러;하나 이상의 전도성 소재를 삽입하기 위한 관통 홀을 마련하고, 상기 마이크로파 커플러로부터 전달받은 마이크로파를 기반으로 공진 모드의 전자기장 패턴을 생성하여 상기 전도성 소재를 유도가열하는 유전체 공진기;상기 유전체 공진기를 감싸도록 배치되어, 상기 마이크로파의 외부 누설을 차단하는 마이크로파 차단 용기; 및상기 유전체 공진기의 관통 홀에 배치된 전도성 소재의 온도를 측정하는 온도 센서를 포함하는 마이크로파 유도가열 장치
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제9항에 있어서,상기 마이크로파 차단용기의 일 영역에 배치되어, 상기 온도 센서에서 조사되는 적외선을 상기 전도성 소재 방향으로 가이드하는 온도 측정 포트를 더 포함하는 마이크로파 유도가열 장치
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제9항에 있어서,상기 유전체 공진기의 관통 홀에 삽입되도록 형성되며, 상기 전도성 소재를 수용하기 위한 공간을 구비하는 투명관을 더 포함하는 마이크로파 유도가열 장치
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제11항에 있어서,상기 투명관은, MLCC 소결 대기 환경을 조성하는 것을 특징으로 하는 마이크로파 유도가열 장치
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제11항에 있어서,상기 투명관은, 내열성이 우수한 쿼츠(quartz) 재질로 형성되는 것을 특징으로 하는 마이크로파 유도가열 장치
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제9항에 있어서,상기 마이크로파 커플러와 상기 유전체 공진기 간의 결합 상수(coupling coefficient)에 기초하여, 상기 마이크로파 커플러와 상기 유전체 공진기 간의 이격 거리를 조절하여 상기 마이크로파 커플러에서 상기 유전체 공진기로 전달되는 마이크로파의 양을 조절하는 제어장치를 더 포함하는 마이크로파 유도가열 장치
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제14항에 있어서,상기 제어장치는, 상기 마이크로파 차단장치와 상기 유전체 공진기 간의 이격 거리를 조절하여 상기 유전체 공진기의 공진 모드 시 마이크로파의 공진 주파수를 조정하는 것을 특징으로 하는 마이크로파 유도가열 장치
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