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신축기판의 특성측정장치 및 특성측정방법

  • 기술번호 : KST2022008438
  • 담당센터 : 경기기술혁신센터
  • 전화번호 : 031-8006-1570
요약, Int. CL, CPC, 출원번호/일자, 출원인, 등록번호/일자, 공개번호/일자, 공고번호/일자, 국제출원번호/일자, 국제공개번호/일자, 우선권정보, 법적상태, 심사진행상태, 심판사항, 구분, 원출원번호/일자, 관련 출원번호, 기술이전 희망, 심사청구여부/일자, 심사청구항수의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 서지정보 표입니다.
요약 기판특성측정방법을 신축연신이 가능한 기판에 적용할 수 있어서 신축기판의 정확한 특성평가가 가능하여 신축기판의 신뢰성을 향상시킬 수 있는 신축기판의 특성측정장치 및 특성측정방법가 제안된다. 본 발명에 따른 신축기판의 특성측정장치는 기준가스가 공급되는 제1챔버부 및 센싱가스가 공급되고, 신축기판을 통한 기준가스의 영향에 따라 센싱가스의 변화가 센싱되는 제2챔버부를 포함하는 챔버; 및 제1챔버부 및 제2챔버부를 분리하는 신축기판을 지지하는 신축기판 지지부;를 포함한다.
Int. CL G01N 15/08 (2006.01.01) H01L 51/00 (2006.01.01)
CPC G01N 15/082(2013.01) G01N 15/0806(2013.01) H01L 51/0031(2013.01) H01L 51/0097(2013.01) G01N 2015/086(2013.01)
출원번호/일자 1020200172124 (2020.12.10)
출원인 한국전자기술연구원
등록번호/일자
공개번호/일자 10-2022-0082329 (2022.06.17) 문서열기
공고번호/일자
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보
법적상태 공개
심사진행상태 수리
심판사항
구분 국내출원/신규
원출원번호/일자
관련 출원번호
심사청구여부/일자 N
심사청구항수 8

출원인

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번호 이름 국적 주소
1 한국전자기술연구원 대한민국 경기도 성남시 분당구

발명자

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번호 이름 국적 주소
1 김영석 경기도 성남시 분당구

대리인

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번호 이름 국적 주소
1 남충우 대한민국 서울 강남구 언주로 ***, *층(역삼동, 광진빌딩)(알렉스국제특허법률사무소)

최종권리자

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번호 이름 국적 주소
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번호 서류명 접수/발송일자 처리상태 접수/발송번호
1 [특허출원]특허출원서
[Patent Application] Patent Application
2020.12.10 수리 (Accepted) 1-1-2020-1340371-16
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번호 청구항
1 1
기준가스가 공급되는 제1챔버부 및 센싱가스가 공급되고, 신축기판을 통한 기준가스의 영향에 따라 센싱가스의 변화가 센싱되는 제2챔버부를 포함하는 챔버; 및 제1챔버부 및 제2챔버부를 분리하는 신축기판을 지지하는 신축기판 지지부;를 포함하는 신축기판의 특성측정장치
2 2
청구항 1에 있어서,신축기판의 투습율 및 투산소율을 측정하는 것을 특징으로 하는 신축기판의 특성측정장치
3 3
청구항 1에 있어서,센싱가스는 질소가스인 것을 특징으로 하는 신축기판의 특성측정장치
4 4
청구항 3에 있어서,챔버 외부에 신축기판 지지부와 연결된 롤러를 더 포함하고, 신축기판은 롤러의 구동에 의해 신축율이 변화하여 신축율에 따른 센싱가스의 변화가 측정되는 것을 특징으로 하는 신축기판의 특성측정장치
5 5
청구항 4에 있어서,롤러는 신축기판의 양측면에 위치하여, 신축기판은 롤러의 구동에 따라 1축연신하는 것을 특징으로 하는 신축기판의 특성측정장치
6 6
청구항 4에 있어서,롤러는 신축기판의 4면에 위치하여, 신축기판은 롤러의 구동에 따라 2축연신하는 것을 특징으로 하는 신축기판의 특성측정장치
7 7
청구항 6에 있어서,롤러는 롤 간격이 조절되는 것을 특징으로 하는 신축기판의 특성측정장치
8 8
기준가스가 공급되는 제1챔버부 및 센싱가스가 공급되고, 신축기판을 통한 기준가스의 영향에 따라 센싱가스의 변화가 센싱되는 제2챔버부 사이에 신축기판을 위치시키는 단계;신축기판을 연신시키는 단계; 및센싱가스의 변화를 센싱하는 단계;를 포함하는 신축기판의 특성측정방법
지정국 정보가 없습니다
패밀리정보가 없습니다
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순번 연구부처 주관기관 연구사업 연구과제
1 과학기술정보통신부 전자부품연구원 미래소재디스커버리지원(R&D) 유무기복합 고성능 봉지소재를 포함하는 OLED 소자 제작 및 성능 평가