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하기 화학식 1로 표시되는, CuS 박막 제조용 전구체 화합물:[화학식 1]상기 화학식 1에서,X는 황(S) 또는 산소(O)이고,R1 및 R2는 서로 동일하거나 상이하고, 탄소 원자수 1 내지 2인 알킬기이다
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하기 화학식 2로 표시되는, CuS 박막 제조용 전구체 화합물: [화학식 2] 상기 화학식 2에서,X는 황(S) 또는 산소(O)이고,R1, R2, R3, R4 및 R5 는 서로 동일하거나 상이하고, 수소 또는 탄소 원자수 1 내지 10인 알킬기이다
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카본 다이썰파이드(CS2), 수산화알킬 아민(HOR-NH2) 혹은 싸이올아민(RSH-NH2) 및 암모니아수(NH4OH)를 수용액에 녹여 유기 리간드 수용액을 제조하는 단계; 상기 유기 리간드 수용액과 구리 전구체를 혼합하여 구리 착화합물을 제조하는 단계; 및상기 구리 착화합물을 불순물과 분리하는 단계;를 포함하는, CuS 박막 제조용 전구체 화합물 제조 방법
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제3항에 있어서, 상기 유기 리간드는 하기 화학식 3 또는 4를 포함하는 것을 특징으로 하는, CuS 박막 제조용 전구체 화합물 제조 방법
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제3항에 있어서, 상기 유기 리간드는 모노에탄올다이싸이오카바메이트(C2H4NHCS2OH)를 포함하는 것을 특징으로 하는, CuS 박막 제조용 전구체 화합물 제조 방법
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제3항에 있어서, 상기 구리 전구체는 염화구리(CuCl2)를 포함하는 것을 특징으로 하는, CuS 박막 제조용 전구체 화합물 제조 방법
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제3항에 있어서, 구리착화합물을 형성하는 단계에서 구리전구체(CuCl2) 및 암모늄 모노에탄올다이싸이오카바메이트(NH4C2H4NHCS2OH)는 1:2의 몰비율로 반응하는 것을 특징으로 하는, CuS 박막 제조용 전구체 화합물 제조 방법
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제3항에 있어서, 상기 혼합하는 단계는 15 내지 25℃에서 30분 이상 1시간 이하로 수행하는 것을 특징으로 하는, CuS 박막 제조용 전구체 화합물 제조 방법
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제3항에 있어서, 혼합하는 단계 후에, 제조된 전구체 화합물을 유기용매에 10시간 이상 20시간 이하에서 용해시키는 단계를 더 포함하는 것을 특징으로 하는, CuS 박막 제조용 전구체 화합물 제조 방법
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제9항에 있어서, 상기 유기용매는 아세톤을 포함하는 것을 특징으로 하는, CuS 박막 제조용 전구체 화합물 제조 방법
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하기 화학식 1 또는 화학식 2로 표시되는 CuS 박막 제조용 전구체 화합물을 이용하여 CVD 방식으로 CuS 박막을 형성하는 방법:[화학식 1]상기 화학식 1에서,X는 황(S) 또는 산소(O)이고,R1 및 R2는 서로 동일하거나 상이하고, 탄소 원자수 1 내지 2인 알킬기이다
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카본 다이썰파이드(CS2), 수산화알킬 아민(HOR-NH2) 혹은 싸이올아민(RSH-NH2) 및 암모니아수(NH4OH)를 수용액에 녹여 유기 리간드 수용액을 제조하는 단계; 상기 유기 리간드 수용액과 구리 전구체를 혼합하여 구리 착화합물을 제조하는 단계; 및상기 구리 착화합물을 불순물과 분리하는 단계;방법으로 형성된 하기 화학식 1 또는 2 로 표시되는, CuS 박막 제조용 전구체 화합물 [화학식 1]상기 화학식 1에서,X는 황(S) 또는 산소(O)이고,R1 및 R2는 서로 동일하거나 상이하고, 탄소 원자수 1 내지 2인 알킬기이다
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