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회로기판; 상기 회로기판의 중심부에 배치되는 질량체; 상기 회로기판과 상기 질량체를 연결하고 상기 질량체에 의해 유동되는 캔틸레버; 및 상기 캔틸레버 상에 설치되고 상기 캔틸레버의 응력에 따른 전기장의 변화를 측정하여 가속도를 측정하는 측정부를 포함하는 전계효과를 이용한 압저항형 MEMS 가속도계
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제1 항에 있어서, 상기 측정부는 복수개로 마련되고 상기 캔틸레버 상에서 상기 질량체 측 또는 상기 회로기판 측 또는 상기 질량체와 회로기판 사이에 배치되는 전계효과를 이용한 압저항형 MEMS 가속도계
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제2 항에 있어서, 상기 질량체 측에 배치된 측정부에서 측정하는 상기 캔틸레버의 응력 방향과 상기 회로기판 측에 배치된 측정부에서 측정하는 상기 캔틸레버의 응력 방향은 서로 반대되는 전계효과를 이용한 압저항형 MEMS 가속도계
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제1 항에 있어서, 상기 측정부는, 상기 캔틸레버에 고정되는 절연체; 상기 절연체의 상부 중 상기 질량체 측에 배치되는 소스부; 상기 절연체의 상부 중 상기 회로기판 측에 배치되는 드레인부; 및 상기 절연체의 상부 중 상기 소스부 및 드레인부 사이에 배치되는 게이트를 포함하는 전계효과를 이용한 압저항형 MEMS 가속도계
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제1 항에 있어서, 상기 캔틸레버는 복수개로 마련되는 전계효과를 이용한 압저항형 MEMS 가속도계
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제5 항에 있어서, 상기 캔틸레버는 바형상으로 마련되고 상기 질량체의 사방에 각각 연결되는 전계효과를 이용한 압저항형 MEMS 가속도계
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제5 항에 있어서, 상기 캔틸레버는 절곡된 형상으로 마련되고 상기 질량체의 모퉁이 측에 각각 연결되는 전계효과를 이용한 압저항형 MEMS 가속도계
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