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통합 센서 모듈에 내장되는 가속도계로써, 상기 통합 센서 모듈에 내장되는 PCB; 상기 PCB에 x축, y축, z축 중 하나의 축방향으로 일단부가 고정되고 공진 주파수를 갖는 외팔보부; 및 상기 외팔보부 상에 설치되고 주파수를 감지하는 가속도 센서를 포함하는 외팔보부를 이용한 가속도계
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제1 항에 있어서, 상기 외팔보부는 복수개로 마련되고, 상기 외팔보부들은 각각 서로 다른 공진 주파수를 갖는 외팔보부를 이용한 가속도계
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제2 항에 있어서, 상기 외팔보부는, 상기 PCB에 일단부가 고정되는 제1외팔보; 및 상기 제1외팔보의 타단부로부터 수직한 방향으로 연결되는 제2외팔보를 포함하고, 상기 가속도 센서는 상기 제2외팔보 상에 설치되는 외팔보부를 이용한 가속도계
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제2 항에 있어서, 상기 외팔보부는, 상기 PCB에 일단부가 고정되는 제1외팔보; 상기 제1외팔보의 타단부에 일단부가 수직한 방향으로 연결되는 제2외팔보; 및 상기 제2외팔보의 타단부로부터 수직한 방향으로 연결되고 상기 제1외팔보와 수평을 이루는 제3외팔보를 포함하고, 상기 가속도 센서는 상기 제3외팔보 상에 설치되는 외팔보부를 이용한 가속도계
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제2 항에 있어서, 상기 외팔보부는, 상기 PCB에 일단부가 고정되는 제1외팔보; 상기 제1외팔보의 타단부에 일단부가 수직한 방향으로 연결되는 제2외팔보; 상기 제2외팔보의 타단부에 일단부가 수직한 방향으로 연결되고 상기 제1외팔보와 수평을 이루는 제3외팔보; 및 상기 제3외팔보의 타단부로부터 수직한 방향으로 연결되고 상기 제2외팔보와 수평을 이루는 제4외팔보를 포함하고, 상기 가속도 센서는 상기 제4외팔보 상에 설치되는 외팔보부를 이용한 가속도계
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제2 항에 있어서, 상기 외팔보부는, 상기 PCB에 일단부가 고정되는 제1외팔보; 상기 제1외팔보의 타단부에 일단부가 수직한 방향으로 연결되는 제2외팔보; 상기 제2외팔보의 타단부에 일단부가 수직한 방향으로 연결되고 상기 제1외팔보와 수평을 이루는 제3외팔보; 상기 제3외팔보의 타단부에 일단부가 수직한 방향으로 연결되고 상기 제2외팔보와 수평을 이루는 제4외팔보; 및 상기 제4외팔보의 타단부로부터 수직한 방향으로 연결되고 상기 제3외팔보와 수평을 이루는 제5외팔보를 포함하고, 상기 가속도 센서는 상기 제5외팔보 상에 설치되는 외팔보부를 이용한 가속도계
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제1 항에 있어서, 상기 외팔보부의 일단부측에는 상기 가속도 센서가 설치되고, 상기 외팔보부의 타단부측에는 질량체가 설치되는 외팔보부를 이용한 가속도계
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제7 항에 있어서, 상기 외팔보부는 복수개로 마련되고, 상기 외팔보부들은 각각 서로 다른 공진 주파수를 갖는 외팔보부를 이용한 가속도계
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제8 항에 있어서, 상기 외팔보부는, 상기 PCB에 일단부가 고정되는 제1외팔보; 및 상기 제1외팔보의 타단부로부터 수직한 방향으로 연결되는 제2외팔보를 포함하고, 상기 가속도 센서는 제1외팔보 상의 일단부 측에 설치되며, 상기 질량체는 상기 제2외팔보 상에 설치되는 외팔보부를 이용한 가속도계
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제8 항에 있어서, 상기 외팔보부는, 상기 PCB에 일단부가 고정되는 제1외팔보; 상기 제1외팔보의 타단부에 일단부가 수직한 방향으로 연결되는 제2외팔보; 및 상기 제2외팔보의 타단부로부터 수직한 방향으로 연결되고 상기 제1외팔보와 수평을 이루는 제3외팔보를 포함하고, 상기 가속도 센서는 제1외팔보 상의 일단부 측에 설치되며, 상기 질량체는 상기 제3외팔보 상에 설치되는 외팔보부를 이용한 가속도계
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11
제8 항에 있어서, 상기 외팔보부는, 상기 PCB에 일단부가 고정되는 제1외팔보; 상기 제1외팔보의 타단부에 일단부가 수직한 방향으로 연결되는 제2외팔보; 상기 제2외팔보의 타단부에 일단부가 수직한 방향으로 연결되고 상기 제1외팔보와 수평을 이루는 제3외팔보; 및 상기 제3외팔보의 타단부로부터 수직한 방향으로 연결되고 상기 제2외팔보와 수평을 이루는 제4외팔보를 포함하고, 상기 가속도 센서는 제1외팔보 상의 일단부 측에 설치되며, 상기 질량체는 상기 제4외팔보 상에 설치되는 외팔보부를 이용한 가속도계
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제8 항에 있어서, 상기 외팔보부는, 상기 PCB에 일단부가 고정되는 제1외팔보; 상기 제1외팔보의 타단부에 일단부가 수직한 방향으로 연결되는 제2외팔보; 상기 제2외팔보의 타단부에 일단부가 수직한 방향으로 연결되고 상기 제1외팔보와 수평을 이루는 제3외팔보; 상기 제3외팔보의 타단부에 일단부가 수직한 방향으로 연결되고 상기 제2외팔보와 수평을 이루는 제4외팔보; 및 상기 제4외팔보의 타단부로부터 수직한 방향으로 연결되고 상기 제3외팔보와 수평을 이루는 제5외팔보를 포함하고, 상기 가속도 센서는 제1외팔보 상의 일단부 측에 설치되며, 상기 질량체는 상기 제5외팔보 상에 설치되는 외팔보부를 이용한 가속도계
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