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서로 이격하는 제 1 영역과 제 2 영역을 갖는 기판;상기 제 1 영역 상에 배치되는 압전 층을 포함하고, 상기 압전 층을 이용하여 진동을 감지하는 제 1 센싱 셀; 및상기 제 2 영역 상에 배치되어 상기 압전 층과 다른 저항 층을 포함하고, 상기 저항 층을 이용하여 압력을 감지하는 제 2 센싱 셀을 포함하는 유연 복합 촉각 센서
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제 1 항에 있어서, 상기 기판은 상기 제 1 및 제 2 영역들 사이의 제 3 영역들을 더 갖는 유연 복합 촉각 센서
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3
제 1 항에 있어서, 상기 제 1 센싱 셀은:상기 압전 층 아래에 배치된 제 1 전극; 및상기 압전 층 상부 또는 아래에 배치된 제 2 전극을 더 포함하는 유연 복합 촉각 센서
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4
제 3 항에 있어서, 상기 제 2 센싱 셀은:상기 제 1 전극 또는 상기 제 2 전극에 인접하여 배치되고, 상기 층 아래의 제 3 전극; 및상기 저항 층 상부 또는 아래에 제 4 전극을 더 포함하는 유연 복합 촉각 센서
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제 4 항에 있어서, 상기 저항 층은 상기 제 3 전극 및 상기 제 4 전극에 접촉되는 거친 표면을 갖는 유연 복합 촉각 센서
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6
제 4 항에 있어서, 상기 저항 층은:상기 제 3 전극 및 상기 제 4 전극 상에 배치되는 거친 표면 시트; 및상기 거친 표면 시트와 상기 제 3 및 제 4 전극들 사이에 배치되는 접촉 층을 포함하는 유연 복합 촉각 센서
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7
제 1 항에 있어서, 상기 압전 층은 PZT, PLZT, PZN-PT, PMN-PT, PIN-PT, PZN-PNN-PZT, BNT, AIN, ZnO, KNN, PVDF, 및 PVDF-TrFE 중 적어도 하나를 포함하는 유연 복합 촉각 센서
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8
제 1 항에 있어서,상기 저항 층은 폴리머를 포함하는 유연 복합 촉각 센서
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제 1 항에 있어서, 상기 제 1 및 제 2 영역들은 제 1 방향 및 상기 제 1 방향과 교차하는 제 2 방향으로 교번하여 배치되는 유연 복합 촉각 센서
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10
제 1 항에 있어서, 상기 기판은 상기 제 1 영역과 상기 제 2 영역 사이의 주름 영역을 더 갖는 유연 복합 촉각 센서
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11
제 1 항에 있어서, 상기 기판은:엘라스토머 기판; 및상기 엘라스토머 기판 상의 폴리 이미드 기판을 포함하는 유연 복합 촉각 센서
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12
제 11 항에 있어서, 상기 엘라스토머 기판은:상기 제 1 및 제 2 센싱 셀들에 정렬되는 고 영율 영역; 및상기 제 1 및 제 2 센싱 셀들 외곽의 저 영율 영역을 갖는 유연 복합 촉각 센서
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