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무전해도금 용액이 채워지는 챔버; 및상기 챔버 내 무전해도금 용액을 초음파 진동시키는 초음파 균질기;를 포함하는 무전해도금 장치
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제1항에 있어서,상기 초음파 균질기는 상기 챔버 내로 연장되며 진동하는 진동 팁을 구비하는 것을 특징으로 하는 무전해도금 장치
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제2항에 잇어서,상기 진동 팁은 Ti 재질로 이루어지는 것을 특징으로 하는 무전해도금 장치
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제2항에 있어서,상기 초음파 균질기에서 상기 진동 팁은 다수 개가 구비되는 것을 특징으로 하는 무전해도금 장치
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제2항에 있어서,상기 진동 팁은 상기 챔버 내에서 이동 가능하게 형성되는 것을 특징으로 하는 무전해도금 장치
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제1항에 있어서,상기 챔버 내에 열을 공급하는 히터를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 무전해도금 장치
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탄소지지체의 표면을 민감화 처리하는 민감화 처리단계;상기 탄소지지체의 표면을 활성화 처리하는 활성화 처리단계;무전해도금 용액이 채워진 챔버에 상기 탄소지지체를 넣고 초음파 균질기로 상기 무전해도금 용액을 초음파 진동시키면서 상기 탄소지지체의 표면에 금속촉매를 담지하는 금속촉매 담지단계; 및상기 탄소지지체 상에 탄소나노튜브를 성장시키는 탄소나노튜브 성장단계;를 포함하는 다차원 탄소나노구조체 제조방법
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제7항에 있어서,상기 금속촉매 담지단계에서는 상기 무전해도금 용액을 60 ~ 90℃로 가열하는 것을 특징으로 하는 다차원 탄소나노구조체 제조방법
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제7항에 있어서,상기 민감화 처리단계에서는 Sn염을 포함하는 민감화 용액에 상기 탄소지지체를 혼합하여 상기 탄소지지체의 표면을 민감화 처리하는 것을 특징으로 하는 다차원 탄소나노구조체 제조방법
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제9항에 있어서,상기 활성화 처리단계에서는 Pd염을 포함하는 활성화 용액에 상기 탄소지지체를 혼합하여 상기 탄소지지체의 표면을 활성화 처리하는 것을 특징으로 하는 다차원 탄소나노구조체 제조방법
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제7항에 있어서,상기 금속촉매 담지단계에서 상기 무전해도금 용액은 Fe염, Co염 및 환원제를 포함하는 것을 특징으로 하는 다차원 탄소나노구조체 제조방법
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