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X-Y 스테이지 요(yaw) 보정 방법으로서,구동기를 이용하여 XY 이동 본체(moving body)를 X축 또는 Y축 방향으로 이동시키는 단계;센서를 이용하여, 상기 이동된 XY 이동 본체의 회전 변위인 요(yaw)를 측정하는 단계;제어기(controller)가 상기 측정된 요 데이터를 이용하여 보정될 회전 강성 값을 연산하는 단계; 및상기 보정될 회전 강성 값에 대응하는 강성을 가진 요 보정 플렉셔(yaw correction flexures)를 상기 X-Y 스테이지에 부가하는 단계를 포함하는,X-Y 스테이지 요 보정 방법
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제 1 항에 있어서,상기 요 보정 플렉셔를 부가하여 상기 XY 이동 본체를 X축 또는 Y축 방향으로 다시 이동시켜 요 억제 정도를 시뮬레이션하는 단계를 더 포함하는,X-Y 스테이지 요 보정 방법
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제 1 항에 있어서,상기 구동기는,PZT(piezo-electric) 구동기인,X-Y 스테이지 요 보정 방법
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제 1 항에 있어서,상기 센서는,정전용량 변위 센서(capacitance displacement sensor)인,X-Y 스테이지 요 보정 방법
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제 1 항에 있어서,상기 요 보정 플렉셔는,리프 스프링(leaf-spring) 또는 힌지(hinge) 구조이고,상기 리프 스프링 또는 힌지 구조는 상기 보정될 회전 강성 값에 대응하는 강성을 갖도록 특정 길이, 너비, 두께를 갖는,X-Y 스테이지 요 보정 방법
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제 1 항 내지 제 5 항 중 어느 한 항의 단계들을 수행하도록 구성된 컴퓨터 판독가능 명령어를 포함하는 매체에 저장된 컴퓨터 프로그램
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