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이차원 빔스캐너에 있어서, 광학 위상 어레이(optical phased array; OPA) 소자; 상기 광학 위상 어레이 소자의 일측에 배치되고, 상기 광학 위상 어레이 소자에 광을 입사시키는 다이오드 소자; 및상기 광학 위상 어레이 소자의 타측에 배치되고, 상기 광학 위상 어레이 소자의 상기 타측으로부터 출력되는 빔을 회절시키고, 이로써 상기 출력되는 빔의 출력 각도를 수직 방향으로 변화시키는 외부 격자를 포함하고, 상기 광학 위상 어레이 소자는,하나의 입력단과 복수의 출력단들 사이에서 스플리트되면서 연장되는 폴리머 광도파로;상기 폴리머 광도파로의 일부 상에서, 상기 다이오드 소자로부터 상기 입사되는 광을 반사시키고, 이로써 상기 입사되는 광의 파장이 변화되면서 상기 입사되는 광이 회절되도록 하는 브래그 반사기;상기 폴리머 광도파로의 상기 출력단들에 배치되고, 상기 출력단들에서 출력되는 빔들의 위상 분포를 조절하고, 이로써 상기 출력되는 빔들의 출력 각도를 수평 방향으로 변화시키는 위상변조기 어레이; 및상기 위상변조기 어레이와 상기 광학 위상 어레이 소자의 상기 타측 사이에 배치되고, 상기 위상변조기 어레이로부터 출력되는 빔들을 모아서 상기 광학 위상 어레이 소자의 상기 타측으로 출력시키는 빔 콘센트레이터 소자를 포함하는, 이차원 빔스캐너
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제 1 항에 있어서, 상기 광학 위상 어레이 소자의 상기 타측과 상기 외부 격자 사이에 배치되고, 상기 광학 위상 어레이 소자의 상기 타측으로부터 출력되는 빔을 수평 방향으로 분산시키면서 상기 외부 격자를 향해 수직 방향으로 콜리메이션하는 원통형 렌즈를 더 포함하는, 이차원 빔스캐너
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이차원 빔스캐너의 제조 방법에 있어서, 광학 위상 어레이(OPA) 소자를 제조하는 단계; 상기 광학 위상 어레이 소자의 일측에, 상기 광학 위상 어레이 소자에 광을 입사시키는 다이오드 소자를 부착하는 단계; 및상기 광학 위상 어레이 소자의 타측에 외부 격자를 부착하는 단계를 포함하고, 상기 외부 격자는,상기 광학 위상 어레이 소자의 상기 타측으로부터 출력되는 빔을 회절시키고, 이로써 상기 출력되는 빔의 출력 각도를 수직 방향으로 변화시키고,상기 광학 위상 어레이 소자는,하나의 입력단과 복수의 출력단들 사이에서 스플리트되면서 연장되는 폴리머 광도파로;상기 폴리머 광도파로의 일부 상에서, 상기 다이오드 소자로부터 상기 입사되는 광을 반사시키고, 이로써 상기 입사되는 광의 파장이 변화되면서 상기 입사되는 광이 회절되도록 하는 브래그 반사기; 상기 폴리머 광도파로의 상기 출력단들에 배치되고, 상기 출력단들에서 출력되는 빔들의 위상 분포를 조절하고, 이로써 상기 출력되는 빔들의 출력 각도를 수평 방향으로 변화시키는 위상변조기 어레이; 및상기 위상변조기 어레이와 상기 광학 위상 어레이 소자의 상기 타측 사이에 배치되고, 상기 위상변조기 어레이로부터 출력되는 빔들을 모아서 상기 광학 위상 어레이 소자의 상기 타측으로 출력시키는 빔 콘센트레이터 소자를 포함하는, 방법
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제 3 항에 있어서, 상기 광학 위상 어레이 소자를 제조하는 단계는,기판 위에 폴리머 재료로 이루어지는 하부 클래딩 층을 형성하는 단계;상기 하부 클래딩 층을 식각하여, 상기 하부 클래딩 층에 홈을 형성하는 단계; 상기 하부 클래딩 층 상에 폴리머 재료로 이루어지는 코어 클래딩층을 형성하는 단계;상기 코어 클래딩 층을 식각하여, 상기 홈에 대응하는 코어 패턴을 형성하는 단계;상기 코어 클래딩 층을 식각하여, 상기 코어 클래딩 층에 상기 브래그 반사기를 형성하는 단계; 상기 코어 클래딩 층 상에 폴리머 재료로 이루어지는 상부 클래딩 층을 형성하여, 상기 코어 패턴으로부터 상기 폴리머 광도파로를 형성하는 단계; 및상기 상부 클래딩 층을 패터닝하여, 상기 상부 클래딩 층에 상기 히터를 형성하는 단계를 포함하는, 방법
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제 3 항에 있어서, 상기 외부 격자를 부착하는 단계는, 상기 광학 위상 어레이 소자의 상기 타측에 원통형 렌즈를 부착하는 단계; 및상기 원통형 렌즈에 상기 외부 격자를 부착하는 단계를 포함하고, 상기 원통형 렌즈는, 상기 광학 위상 어레이 소자의 상기 타측으로부터 출력되는 빔을 수평 방향으로 분산시키면서 상기 외부 격자를 향해 수직 방향으로 콜리메이션하는,방법
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