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광학 시뮬레이션을 위한 방법에 있어서, 연산처리부가 나노박막의 물질 정보 및 나노박막의 구조가 입력되면, 입력된 물질 정보에 대응하여 물성데이터베이스를 참조로 상기 입력된 물질 정보에 포함된 복수의 원자에 대응하는 물성 정보를 검출하는 단계; 상기 연산처리부가 상기 물성 정보를 기초로 나노박막의 굴절률(RI: refractive index)을 산출하는 단계; 상기 연산처리부가 산출된 굴절률을 기초로 전달 매트릭스 기법(transfer matrix method)에 따라 상기 입력된 구조의 나노박막의 투과율(T: Transmittance) 및 반사율(R: Reflectance)을 산출하는 단계; 및 상기 연산처리부가 상기 산출된 상기 나노박막의 투과율 및 반사율을 출력하는 단계;를 포함하는 것을 특징으로 하는 광학 시뮬레이션을 위한 방법
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제1항에 있어서, 상기 나노박막의 굴절률을 산출하는 단계는 상기 연산처리부가 수학식 에 따라 상기 굴절률을 산출하며, 상기 RI는 굴절률이고, 상기 re는 전자 반경이고, 상기 i는 원자를 나타내는 인덱스이고, 상기 λ는 파장이며, 상기 ni는 단위 부피당 i 유형의 원자의 수이고, 상기 fi(0)는 i 유형의 원자의 원자산란인자(atomic scattering factor)인 것을 특징으로 하는 광학 시뮬레이션을 위한 방법
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제2항에 있어서, 상기 나노박막의 굴절률을 산출하는 단계는 상기 연산처리부가 상기 입력된 물질 정보에 포함된 복수의 원자 각각의 무게를 상기 물성데이터베이스에서 참고하여 화합물의 분자 무게를 산출하고, 산출된 화합물의 분자 무게에 입력된 각 원자의 밀도(gram density)를 통해 단위 부피당 i 유형의 원자의 수 ni를 산출하는 단계; 상기 연산처리부가 상기 물성데이터베이스에서 상기 입력된 물질 정보에 포함된 복수의 원자 각각의 전자분포의 실수부 f1과, 허수부 f2를 참조로, 실수부 f1과 허수부 f2를 합하여 복소수인 i 유형의 원자의 원자산란인자 fi(0)를 산출하는 단계; 및상기 연산처리부가 상기 산출된 단위 부피당 i 유형의 원자의 수 ni 및 상기 i 유형의 원자의 원자산란인자 fi(0)를 상기 수학식에 대입하여 상기 굴절률을 산출하는 단계;를 포함하는 것을 특징으로 하는 광학 시뮬레이션을 위한 방법
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제1항에 있어서, 상기 나노박막의 투과율 및 반사율을 산출하는 단계는 단층 구조, 다층 구조 및 다층반복 구조 중 어느 하나의 구조의 나노박막의 투과율 및 반사율을 산출하는 것을 특징으로 하는 광학 시뮬레이션을 위한 방법
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제4항에 있어서, 상기 나노박막의 투과율 및 반사율을 출력하는 단계는 상기 나노박막이 다층 구조인 경우, 선택된 어느 하나의 계층을 X축으로 하고, 선택된 다른 하나의 계층을 Y축으로 하여 투과율 및 반사율을 나타내는 그래프를 출력하는 것을 특징으로 하는 광학 시뮬레이션을 위한 방법
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제4항에 있어서, 상기 나노박막의 투과율 및 반사율을 출력하는 단계는 상기 나노박막이 다층반복 구조인 경우, 입력된 모든 계층의 두께가 합해진 한 세트의 반복 계층이 최대 두께까지 반복 적층되는 나노박막의 투과율 및 반사율을 나타내는 최대반복 그래프를 출력하는 것을 특징으로 하는 광학 시뮬레이션을 위한 방법
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광학 시뮬레이션을 위한 장치에 있어서, 원자 별 물성에 대한 정보를 저장하는 물성데이터베이스가 구축된 데이터베이스부; 및 나노박막의 물질 정보 및 나노박막의 구조가 입력되면, 입력된 물질 정보에 대응하여 상기 물성데이터베이스를 참조로 상기 입력된 물질 정보에 포함된 복수의 원자에 대응하는 물성 정보를 검출하고, 상기 물성 정보를 기초로 나노박막의 굴절률(RI: refractive index)을 산출하고, 산출된 굴절률을 기초로 전달 매트릭스 기법(transfer matrix method)에 따라 상기 입력된 구조의 나노박막의 투과율(T: Transmittance) 및 반사율(R: Reflectance)을 산출하고, 산출된 투과율 및 반사율을 출력하는 연산처리부;를 포함하는 것을 특징으로 하는 광학 시뮬레이션을 위한 장치
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제7항에 있어서, 상기 연산처리부는 수학식 에 따라 상기 굴절률을 산출하며, 상기 RI는 굴절률이고, 상기 re는 전자 반경이고, 상기 i는 원자를 나타내는 인덱스이고, 상기 λ는 파장이며, 상기 ni는 단위 부피당 i 유형의 원자의 수이고, 상기 fi(0)는 i 유형의 원자의 원자산란인자(atomic scattering factor)인 것을 특징으로 하는 광학 시뮬레이션을 위한 장치
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제8항에 있어서, 상기 연산처리부는 상기 입력된 물질 정보에 포함된 복수의 원자 각각의 무게를 상기 물성데이터베이스에서 참고하여 화합물의 분자 무게를 산출하고, 산출된 화합물의 분자 무게에 입력된 각 원자의 밀도(gram density)를 통해 단위 부피당 i 유형의 원자의 수 ni를 산출하고, 상기 물성데이터베이스에서 상기 입력된 물질 정보에 포함된 복수의 원자 각각의 전자분포의 실수부 f1과, 허수부 f2를 참조로, 실수부 f1과 허수부 f2를 합하여 복소수인 i 유형의 원자의 원자산란인자 fi(0)를 산출하고, 상기 산출된 단위 부피당 i 유형의 원자의 수 ni 및 상기 i 유형의 원자의 원자산란인자 fi(0)를 상기 수학식에 대입하여 상기 굴절률을 산출하는 것을 특징으로 하는 광학 시뮬레이션을 위한 장치
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제7항에 있어서, 상기 연산처리부는 단층 구조, 다층 구조 및 다층반복 구조 중 어느 하나의 구조의 나노박막의 투과율 및 반사율을 산출하는 것을 특징으로 하는 광학 시뮬레이션을 위한 장치
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제10항에 있어서, 상기 연산처리부는 상기 나노박막이 다층 구조인 경우, 선택된 어느 하나의 계층을 X축으로 하고, 선택된 다른 하나의 계층을 Y축으로 하여 투과율 및 반사율을 나타내는 그래프를 출력하는 것을 특징으로 하는 광학 시뮬레이션을 위한 장치
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제10항에 있어서, 상기 연산처리부는 상기 나노박막이 다층반복 구조인 경우, 입력된 모든 계층의 두께가 합해진 한 세트의 반복 계층이 최대 두께까지 반복 적층되는 나노박막의 투과율 및 반사율을 나타내는 최대반복 그래프를 출력하는 것을 특징으로 하는 광학 시뮬레이션을 위한 장치
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