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전계 방출 소자의 제조 방법

  • 기술번호 : KST2022008928
  • 담당센터 : 대전기술혁신센터
  • 전화번호 : 042-610-2279
요약, Int. CL, CPC, 출원번호/일자, 출원인, 등록번호/일자, 공개번호/일자, 공고번호/일자, 국제출원번호/일자, 국제공개번호/일자, 우선권정보, 법적상태, 심사진행상태, 심판사항, 구분, 원출원번호/일자, 관련 출원번호, 기술이전 희망, 심사청구여부/일자, 심사청구항수의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 서지정보 표입니다.
요약 본 발명의 개념에 따른 전계 방출 소자는 탄소 나노 튜브 얀을 제1 방향을 따라서 금속판의 외주면들을 감는 것, 상기 금속판의 양 측면을 한 쌍의 금속 구조체들을 통하여 압착시키는 것, 상기 금속판의 상면은 상기 금속 구조체들로부터 노출되고, 상기 금속판의 상면의 면적은 상기 금속판의 양 측면들의 각각의 면적보다 작고, 및 상기 제1 방향을 따라서, 상기 금속판의 상면의 엣지 부분에서, 상기 탄소 나노 튜브 얀을 절단하여 복수개의 에미터들을 형성하는 것을 포함한다.
Int. CL H01J 1/304 (2006.01.01) H01J 9/02 (2006.01.01) H01J 35/06 (2006.01.01)
CPC
출원번호/일자 1020210179102 (2021.12.14)
출원인 한국전자통신연구원
등록번호/일자
공개번호/일자 10-2022-0094141 (2022.07.05) 문서열기
공고번호/일자
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보 대한민국  |   1020200185029   |   2020.12.28
법적상태 공개
심사진행상태 수리
심판사항
구분 국내출원/신규
원출원번호/일자
관련 출원번호
심사청구여부/일자 Y (2022.01.25)
심사청구항수 10

출원인

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번호 이름 국적 주소
1 한국전자통신연구원 대한민국 대전광역시 유성구

발명자

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번호 이름 국적 주소
1 윤기남 대전광역시 유성구
2 송윤호 대전광역시 유성구
3 강준태 대전광역시 유성구
4 이정웅 대전광역시 유성구
5 정진우 대전광역시 유성구

대리인

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번호 이름 국적 주소
1 특허법인 고려 대한민국 서울특별시 강남구 테헤란로 *길 ** *층(역삼동)

최종권리자

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번호 이름 국적 주소
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번호 서류명 접수/발송일자 처리상태 접수/발송번호
1 [특허출원]특허출원서
[Patent Application] Patent Application
2021.12.14 수리 (Accepted) 1-1-2021-1450148-77
2 [심사청구]심사청구서·우선심사신청서
2022.01.25 수리 (Accepted) 1-1-2022-0092462-12
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번호 청구항
1 1
탄소 나노 튜브 얀을 제1 방향을 따라서 금속판의 외주면들을 감는 것;상기 금속판의 양 측면을 한 쌍의 금속 구조체들을 통하여 압착시키는 것, 상기 금속판의 상면은 상기 금속 구조체들로부터 노출되고, 상기 금속판의 상면의 면적은 상기 금속판의 양 측면들의 각각의 면적보다 작고; 및상기 제1 방향을 따라서, 상기 금속판의 상면의 엣지 부분에서, 상기 탄소 나노 튜브 얀을 절단하여 복수개의 에미터들을 형성하는 것을 포함하는 전계 방출 소자의 제조 방법
2 2
제1항에 있어서,상기 금속판을 압착시키기 전에, 상기 금속 구조체들의 각각의 일 면 상에 도전 필러들을 도포하는 것을 더 포함하고,상기 금속판을 압착시키는 것은 상기 도전 필러들이 상기 탄소 나노 튜브 얀과 접촉하는 것을 포함하는 전계 방출 소자의 제조 방법
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제2항에 있어서,상기 탄소 나노 튜브 얀을 절단한 후에,열처리를 통하여 상기 도전 필러들을 용융시키는 것을 더 포함하는 전계 방출 소자의 제조 방법
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제1항에 있어서,상기 복수개의 에미터들을 형성하는 것은:상기 탄소 나노 튜브 얀을 절단한 후에, 상기 탄소 나노 튜브 얀의 절단된 부분들을 수직 방향으로 끌어당겨 상기 금속판의 상면 상(above)으로 돌출시키는 것을 더 포함하는 전계 방출 소자의 제조 방법
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제4항에 있어서,상기 탄소 나노 튜브 얀의 절단된 부분들을 수직 방향으로 끌어당기는 것은:접착 테이프를 상기 금속판의 상면 및 상기 탄소 나노 튜브 얀의 절단된 부분들에 붙이는 것; 및상기 접착 테이프를 상기 금속판으로부터 분리하는 것을 포함하는 전계 방출 소자의 제조 방법
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제1항에 있어서,상기 금속판의 상면을 기준으로 상기 에미터들의 높이는 상기 제1 방향과 교차하고, 상기 금속판의 상면에 평행한 제2 방향에 따른 상기 금속판의 폭과 실질적으로 동일한 전계 방출 소자의 제조 방법
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제6항에 있어서,탄소 나노 튜브 번들(bundle)을 이용하여 탄소 나노 튜브 얀을 형성하는 것을 더 포함하고,상기 탄소 나노 튜브 번들의 각각의 길이는 상기 에미터의 높이보다 1
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제1항에 있어서,상기 탄소 나노 튜브 얀을 금속판의 외주면들을 따라서 감는 것은 상기 탄소 나노 튜브 얀을 나선형으로 감는 것을 포함하고,상기 제1 방향을 따라서, 상기 탄소 나노 튜브 얀의 인접한 부분들 사이의 간격은 일정한 전계 방출 소자의 제조 방법
9 9
제1항에 있어서,상기 복수개의 에미터들 사이의 상기 제1 방향에 따른 간격은 실질적으로 동일한 전계 방출 소자의 제조 방법
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제1항에 있어서, 상기 복수개의 에미터들을 형성하는 것은:상기 탄소 나노 튜브 얀을 절단한 후에, 상기 금속 구조체들 및 상기 금속판에 의해서 고정되지 않은 탄소 나노 튜브 얀을 제거하는 것을 포함하는 전계 방출 소자의 제조 방법
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패밀리정보가 없습니다
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순번 연구부처 주관기관 연구사업 연구과제
1 산업통상자원부 한국전자통신연구원(ETRI) 산업기술혁신사업(산업핵심기술개발사업) 고출력 고속 디지털 변조 가능 나노 냉음극 엑스선 튜브 혁신기술 개발
2 과학기술정보통신부 한국전자통신연구원(ETRI) 정보통신방송기술개발사업(ETRI지원사업) 초고밀도 ICT 제품 검사용 디지털 마이크로포커스 엑스선 튜브 개발과 이를 이용한 고생산성의 인라인 검사 장비 선도 개발