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피사체의 위상 계측 영상을 획득하는 장치로서;광원을 포함하는 회전 구조체;상기 광원으로부터 조사된 다음에 상기 피사체에 의해 반사되는 빛을 집광하는 대물 렌즈;상기 대물 렌즈를 통해 집광되는 빛을 전달하는 중간 광학계; 및상기 중간 광학계에 의해 전달되는 빛을 촬상하여 대응하는 위상 계측 영상을 획득하는 촬상 소자를 포함하며, 상기 회전 구조체는 상기 대물 렌즈의 외주연을 따라 회전 가능하게 구성되며, 상기 회전 구조체의 상기 피사체를 향하는 전면 상의 적어도 하나의 위치에 상기 광원이 형성되어 있는, 위상 계측 영상 획득 장치
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제1항에 있어서,상기 광원은 상기 광원으로부터의 빛을 집속하는 렌즈를 더 포함하는, 위상 계측 영상 획득 장치
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제1항에 있어서,상기 광원은 하나의 LED(light emitting diode)를 포함하는, 위상 계측 영상 획득 장치
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제1항에 있어서,상기 광원은 제1 LED와 제2 LED를 포함하며, 상기 제1 LED와 상기 제2 LED는 상기 회전 구조체의 전면 상에 서로 대칭되는 위치에 배치되어 있는, 위상 계측 영상 획득 장치
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제1항에 있어서,상기 광원은 상기 회전 구조체의 전면 상에 배치된 LED부를 포함하며, 상기 LED부는 일렬로 배열되어 있는 2개 이상의 LED를 포함하는, 위상 계측 영상 획득 장치
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제5항에 있어서,상기 2개 이상의 LED는 상기 회전 구조체의 반지름 선상에 일렬로 배열되어 있는, 위상 계측 영상 획득 장치
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제1항에 있어서,상기 광원은 상기 회전 구조체의 전면 상에 배치된 적어도 하나의 LED부를 포함하며, 상기 LED부는 방사형 배열 구조로 배열된 다수의 LED를 포함하는, 위상 계측 영상 획득 장치
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제7항에 있어서,상기 방사형 배열 구조는 상기 회전 구조체의 중심부 쪽보다 상기 중심부에서 먼 쪽으로 갈수로 배치되는 LED 수가 증가되는 구조인, 위상 계측 영상 획득 장치
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제7항에 있어서,상기 LED부는 상기 회전 구조체의 전면 상의 제1 위치에 배치된 방사형 배열 구조의 제1 LED부와 제2 위치에 배치된 방사형 배열 구조의 제2 LED부를 포함하며, 상기 제1 위치와 상기 제2 위치는 서로 대칭되는 위치인, 위상 계측 영상 획득 장치
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제9항에 있어서,상기 LED부는 상기 회전 구조체의 전면 상의 제3 위치에 배치된 방사형 배열 구조의 제3 LED부를 더 포함하며, 상기 제3 위치는 상기 제1 위치와 상기 제2 위치 사이인, 위상 계측 영상 획득 장치
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11
제3항 내지 제10항 중 어느 한 항에 있어서,각 LED의 상기 피사체를 향하는 전면에 빛을 집속하는 렌즈가 부착되어 있는, 위상 계측 영상 획득 장치
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제1항에 있어서,상기 회전 구조체의 회전량에 따라 상기 광원으로부터 상기 피사체로 빛이 조사되는 영역이 달라지는 것을 통해, 상기 피사체의 특정 영역에 대응하는 위상 계측 영상을 획득하는, 위상 계측 영상 획득 장치
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