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다중 영미분 전달전도 특성을 갖는 반도체 소자 및 그 제조 방법

  • 기술번호 : KST2022009052
  • 담당센터 : 경기기술혁신센터
  • 전화번호 : 031-8006-1570
요약, Int. CL, CPC, 출원번호/일자, 출원인, 등록번호/일자, 공개번호/일자, 공고번호/일자, 국제출원번호/일자, 국제공개번호/일자, 우선권정보, 법적상태, 심사진행상태, 심판사항, 구분, 원출원번호/일자, 관련 출원번호, 기술이전 희망, 심사청구여부/일자, 심사청구항수의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 서지정보 표입니다.
요약 본 발명은 다중 영미분 전달전도 특성을 갖는 반도체 소자 및 그 제조 방법에 관한 것으로, 본 발명의 일 실시예에 따른 반도체 소자는 전도성 기판, 전도성 기판 상에 형성된, 제1 절연층 및 제2 절연층, 제1 절연층 및 제2 절연층 상부 영역의 일부에 각각 형성된, 제1 반도체 및 제2 반도체, 제1 반도체 및 제2 반도체의 각 전극 컨택 영역에 독립적으로 형성된, 버퍼층 및 제1 절연층 및 제2 절연층의 상부 영역 중 제1 반도체 및 제2 반도체가 형성되지 않은 부분과 버퍼층 외부 표면에 형성되는 애노드 전극 및 캐소드 전극을 포함할 수 있다.
Int. CL H01L 29/76 (2006.01.01) H01L 29/66 (2006.01.01)
CPC H01L 29/7606(2013.01) H01L 29/66931(2013.01)
출원번호/일자 1020210005577 (2021.01.14)
출원인 성균관대학교산학협력단
등록번호/일자 10-2418302-0000 (2022.07.04)
공개번호/일자
공고번호/일자 (20220706) 문서열기
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보
법적상태 등록
심사진행상태 수리
심판사항
구분 국내출원/신규
원출원번호/일자
관련 출원번호
심사청구여부/일자 Y (2021.01.14)
심사청구항수 8

출원인

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번호 이름 국적 주소
1 성균관대학교산학협력단 대한민국 경기도 수원시 장안구

발명자

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번호 이름 국적 주소
1 박진홍 경기도 화성
2 최재웅 경기도 수원시 장안구
3 이제준 경기도 수원시 장안구
4 이주희 경기도 안산시 상록구

대리인

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번호 이름 국적 주소
1 심경식 대한민국 서울시 강남구 역삼로 *** 동아빌딩 *층(에스와이피특허법률사무소)
2 홍성욱 대한민국 서울시 강남구 역삼로 *** 동아빌딩 *층(에스와이피특허법률사무소)

최종권리자

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번호 이름 국적 주소
1 성균관대학교산학협력단 경기도 수원시 장안구
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번호 서류명 접수/발송일자 처리상태 접수/발송번호
1 [특허출원]특허출원서
[Patent Application] Patent Application
2021.01.14 수리 (Accepted) 1-1-2021-0052419-97
2 의견제출통지서
Notification of reason for refusal
2022.03.29 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2022-0237147-93
3 [명세서등 보정]보정서
[Amendment to Description, etc.] Amendment
2022.05.30 보정승인간주 (Regarded as an acceptance of amendment) 1-1-2022-0566167-87
4 [거절이유 등 통지에 따른 의견]의견서·답변서·소명서
2022.05.30 수리 (Accepted) 1-1-2022-0566166-31
5 등록결정서
Decision to grant
2022.06.29 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2022-0478775-86
번호, 청구항의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 청구항 표입니다.
번호 청구항
1 1
전도성 기판;상기 전도성 기판 상에 형성된, 제1 절연층 및 제2 절연층;상기 제1 절연층 및 제2 절연층 상부 영역의 일부에 각각 형성된, 제1 반도체 및 제2 반도체;상기 제1 반도체 및 제2 반도체의 각 전극 컨택 영역에 독립적으로 형성된, 버퍼층; 및상기 제1 절연층 및 제2 절연층의 상부 영역 중 상기 제1 반도체 및 제2 반도체가 형성되지 않은 부분과 상기 버퍼층 외부 표면에 형성되는 애노드 전극 및 캐소드 전극 - 상기 제1 반도체와 상기 제2 반도체는 상기 애노드 전극 및 캐소드 전극으로 인해 병렬 연결됨 -;을 포함하고,상기 제1 절연층과 제2 절연층은 유전 상수 또는 기하 구조 중 적어도 하나가 서로 상이한 것인, 다중 영미분 전달전도 특성을 갖는 반도체 소자
2 2
삭제
3 3
제1항에 있어서,상기 제1 반도체 및 제2 반도체는 밴드 구조 또는 도핑 공정 중 적어도 하나가 서로 상이한 것인, 다중 영미분 전달전도 특성을 갖는 반도체 소자
4 4
제1항에 있어서,상기 버퍼층은 상기 제1 반도체 및 제2 반도체의 전극 컨택 영역을 변형시킴으로써 형성되거나 상기 제1 반도체 및 제2 반도체의 전극 컨택 영역 상부에 형성되는 것인, 다중 영미분 전달전도 특성을 갖는 반도체 소자
5 5
제1항에 있어서,상기 제1 절연층 및 상기 전도성 기판 사이에 형성된, 제3 절연층 및상기 제2 절연층 및 상기 전도성 기판 사이에 형성된, 제4 절연층을 더 포함하고,상기 제3 절연층 및 제4 절연층은 상기 제1 절연층 및 제2 절연층과 상기 전도성 기판 간 캐리어 이동을 차단할 수 있는 밴드 구조를 갖는 것인, 다중 영미분 전달전도 특성을 갖는 반도체 소자
6 6
전도성 기판 상에 제1 절연층 및 제2 절연층을 형성시키는 단계;상기 제1 절연층 및 제2 절연층 상부 영역의 일부에 각각 제1 반도체 및 제2 반도체를 형성시키는 단계;상기 제1 반도체 및 제2 반도체의 각 전극 컨택 영역에 버퍼층을 독립적으로 형성시키는 단계; 및상기 제1 절연층 및 제2 절연층의 상부 영역 중 상기 제1 반도체 및 제2 반도체가 형성되지 않은 부분과 상기 버퍼층 외부 표면에 애노드 전극 및 캐소드 전극을 형성시키는 단계 - 상기 제1 반도체와 상기 제2 반도체는 상기 애노드 전극 및 캐소드 전극으로 인해 병렬 연결됨 -;를 포함하고,상기 제1 절연층과 제2 절연층은 유전 상수 또는 기하 구조 중 적어도 하나가 서로 상이한 것인, 다중 영미분 전달전도 특성을 갖는 반도체 소자 제조 방법
7 7
삭제
8 8
제6항에 있어서,상기 제1 반도체 및 제2 반도체는 밴드 구조 또는 도핑 공정 중 적어도 하나가 서로 상이한 것인, 다중 영미분 전달전도 특성을 갖는 반도체 소자 제조 방법
9 9
제6항에 있어서,상기 버퍼층은 상기 제1 반도체 및 제2 반도체의 전극 컨택 영역을 변형시킴으로써 형성거나 상기 제1 반도체 및 제2 반도체의 전극 컨택 영역 상부에 형성되는 것인, 다중 영미분 전달전도 특성을 갖는 반도체 소자 제조 방법
10 10
제6항에 있어서,상기 제1 절연층을 형성시키기 이전에, 상기 제1 절연층 및 상기 전도성 기판 사이에 제3 절연층을 형성시키는 단계; 및상기 제2 절연층을 형성시키기 이전에, 상기 제2 절연층 및 상기 전도성 기판 사이에 제4 절연층을 형성시키는 단계를 더 포함하고,상기 제3 절연층 및 제4 절연층은 상기 제1 절연층 및 제2 절연층과 상기 전도성 기판 간 캐리어 이동을 차단할 수 있는 밴드 구조를 갖는 것인, 다중 영미분 전달전도 특성을 갖는 반도체 소자 제조 방법
지정국 정보가 없습니다
패밀리정보가 없습니다
국가 R&D 정보가 없습니다.