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(a) 일면에 소정의 형상 및 크기로 오목하게 함몰된 다수의 마이크로 웰(micro well)를 구비하는 다공성 마이크로 몰드를 감압하여 탈가스화하는 단계;(b) 상기 마이크로 웰이 형성된 상기 마이크로 몰드의 일면 상(on)에 미세입자 전구체 용액을 로딩(loading)하고, 상기 미세입자 전구체 용액 위에 커버 기판을 덮는 단계;(c) 상기 커버 기판을 측방으로 이동시키는 단계; 및(d) 상기 마이크로 웰의 내부에 충전된 상기 미세입자 전구체 용액을 경화시켜, 미세입자를 합성하는 단계;를 포함하는 미세입자 제조방법
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청구항 1에 있어서,상기 마이크로 몰드, 및 상기 커버 기판 중 적어도 어느 하나는,폴리디메틸실록산(polydimethylsiloxane, PDMS), PDMS 변성 우레탄 아크릴레이트(PDMS modified Urethane Acrylate, PUA), 퍼플루오로폴리에테르(Perfluoropolyether, PFPE), 및 폴리에틸렌(Polyethylene, PE)으로 구성된 군으로부터 선택되는 어느 하나 이상으로 이루어지는 미세입자 제조방법
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청구항 1에 있어서,상기 커버 기판은,유리, 실리콘, 금속, 및 기체 비 투과성 고분자로 구성된 군으로부터 선택되는 어느 하나 이상으로 이루어지는 미세입자 제조방법
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청구항 1에 있어서,상기 마이크로 몰드는,플라즈마 처리를 통해 친수성으로 표면 개질된 것인 미세입자 제조방법
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청구항 1에 있어서,상기 (a) 단계에서,상기 마이크로 몰드의 내부 압력이 0
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청구항 1에 있어서,상기 미세입자 전구체 용액은,고분자(polymer), 및 단량체(monomer) 중 적어도 어느 하나 이상을 포함하는 미세입자 제조방법
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청구항 6에 있어서,상기 미세입자 전구체 용액은,나노입자를 더 포함하는 미세입자 제조방법
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청구항 1에 있어서,상기 (c) 단계, 및 상기 (d) 단계는,상기 마이크로 몰드, 및 상기 커버 기판이, 오일(oil)에 침지된 상태에서 수행되는 미세입자 제조방법
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청구항 8에 있어서,상기 오일은,불소 계열인 미세입자 제조방법
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청구항 1에 있어서,(e) 합성된 상기 미세입자를 회수하는 단계;를 더 포함하는 미세입자 제조방법
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