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기판 및 상기 기판 상에 적어도 2 이상의 면을 포함하는 3차원 모놀리식 구조체로 이루어진 어레이를 포함하는 고분자 메타표면을 준비하는 단계; 및간섭 레이저(interference laser) 조사에 의해 고분자의 광유체화(photofluidization)를 유도하여 상기 3차원 모놀리식 구조체의 적어도 2 이상의 면을 각각 패턴화하는 단계;를 포함하는 것을 특징으로 하는, 패턴화된 3차원 메타표면 구조체의 제조방법
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제1항에 있어서,상기 고분자 메타표면을 이루는 고분자는 아조벤젠분자가 함유된 선형 구조를 갖는 고분자인 것을 특징으로 하는, 패턴화된 3차원 메타표면 구조체의 제조방법
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제1항에 있어서,상기 어레이는 복수의 3차원 모놀리식 구조체가 이격되어 배치된 구조인 것을 특징으로 하는, 패턴화된 3차원 메타표면 구조체의 제조방법
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제1항에 있어서, 상기 3차원 모놀리식 구조체는 상기 고분자 메타표면 외측 방향으로 돌출된 양각 형상인 것을 특징으로 하는, 패턴화된 3차원 메타표면 구조체의 제조방법
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제1항에 있어서, 상기 3차원 모놀리식 구조체는 상기 고분자 메타표면 내측 방향으로 삽입된 음각 형상인 것을 특징으로 하는, 패턴화된 3차원 메타표면 구조체의 제조방법
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제1항에 있어서, 상기 3차원 모놀리식 구조체는 밑면이 다각형인 기둥, 밑면이 다각형인 각뿔, 또는 원기둥 형상인 것을 특징으로 하는, 패턴화된 3차원 메타표면 구조체의 제조방법
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제1항에 있어서, 상기 간섭 레이저(interference laser) 조사는 450 내지 550 nm의 파장인 레이저를 이용한 것을 특징으로 하는, 패턴화된 3차원 메타표면 구조체의 제조방법
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제1항에 있어서, 상기 간섭 레이저(interference laser) 조사는 3분 내지 60분의 시간동안 이루어지는 것을 특징으로 하는, 패턴화된 3차원 메타표면 구조체의 제조방법
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기판 상에 배치된 고분자 메타표면에 이루어지는 패턴화된 3차원 메타표면 구조체에 관한 것으로서,상기 3차원 메타표면 구조체는 적어도 2 이상의 면을 포함하는 3차원 모놀리식 구조체이고,상기 3차원 모놀리식 구조체의 적어도 2 이상의 면은 간섭 레이저 조사에 의한 고분자의 광유체화에 의해 패턴화된 것이고, 상기 3차원 모놀리식 구조체는 적어도 2 이상의 상이한 형상으로 패턴화된 면을 포함하는 것을 특징으로 하는, 패턴화된 3차원 메타표면 구조체
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제9항에 있어서,상기 고분자 메타표면을 이루는 고분자는 아조벤젠분자가 함유된 선형 구조를 갖는 고분자인 것을 특징으로 하는, 패턴화된 3차원 메타표면 구조체
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제9항에 있어서,상기 패턴화된 3차원 메타표면 구조체는, 복수의 구조체가 이격되어 배치된 어레이 구조를 이루고 있는 것을 특징으로 하는, 패턴화된 3차원 메타표면 구조체
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제11항에 있어서,상기 복수의 패턴화된 3차원 메타표면 구조체는 50 내지 200㎛의 간격을 두고 이격되어 있는 것을 특징으로 하는, 패턴화된 3차원 메타표면 구조체
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제9항에 있어서, 상기 패턴화된 3차원 메타표면 구조체는 상기 고분자 메타표면 외측 방향으로 돌출된 양각 형상인 것을 특징으로 하는, 패턴화된 3차원 메타표면 구조체
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제9항에 있어서, 상기 패턴화된 3차원 메타표면 구조체는 상기 고분자 메타표면 내측 방향으로 삽입된 음각 형상인 것을 특징으로 하는, 패턴화된 3차원 메타표면 구조체
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제9항에 있어서, 상기 패턴화된 3차원 메타표면 구조체는 밑면이 다각형인 기둥, 밑면이 다각형인 각뿔, 또는 원기둥 형상인 것을 특징으로 하는, 패턴화된 3차원 메타표면 구조체
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제9항에 있어서,상기 패턴화된 3차원 메타표면 구조체는 20 내지 60㎛의 높이를 가지는 것을 특징으로 하는, 패턴화된 3차원 메타표면 구조체
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제9항에 있어서,상기 패턴화된 3차원 메타표면 구조체는 (높이)/(너비 또는 지름)의 비가 0
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제9항의 패턴화된 3차원 메타표면 구조체를 포함하는 제1 고분자 메타표면을 준비하는 단계;상기 제1 고분자 메타표면을 엘라스토머 몰드를 사용하여 제2 고분자 메타표면으로 복제하는 단계; 및상기 제2 고분자 메타표면 상에 금속층을 증착시키는 단계를 포함하는 컬러필터의 제조방법
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제18항에 있어서,상기 제1 고분자 메타표면을 이루는 고분자는 아조벤젠분자가 함유된 선형 구조를 갖는 고분자이고,상기 제2 고분자 메타표면을 이루는 고분자는 자외선(UV) 경화성 수지인 것을 특징으로 하는, 컬러필터의 제조방법
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제18항에 있어서,상기 금속층은 구리 또는 은으로 이루어지고, 금속층의 두께는 5 내지 15nm로 증착되는 것을 특징으로 하는, 컬러필터의 제조방법
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