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판 부재 정렬 장치 및 이를 구비하는 판 부재 적층 시스템

  • 기술번호 : KST2022009379
  • 담당센터 : 경기기술혁신센터
  • 전화번호 : 031-8006-1570
요약, Int. CL, CPC, 출원번호/일자, 출원인, 등록번호/일자, 공개번호/일자, 공고번호/일자, 국제출원번호/일자, 국제공개번호/일자, 우선권정보, 법적상태, 심사진행상태, 심판사항, 구분, 원출원번호/일자, 관련 출원번호, 기술이전 희망, 심사청구여부/일자, 심사청구항수의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 서지정보 표입니다.
요약 판 부재 정렬 장치가 제공된다. 본 발명의 일 실시예에 따른 판 부재 정렬 장치는 제 1 판 부재를 정렬시키기 위한 판 부재 정렬 장치로서, 상기 제 1 판 부재의 일면이 상향하여 안착되는 제 1 안착면을 구비하는 제 1 지지부; 상기 제 1 안착면과 대향하는 일면을 구비하고 상하 방향으로 이동가능한 제 2 지지부; 상기 제 1 지지부의 둘레를 따라 이격 배치되는 복수의 제 1 자석; 상기 제 2 지지부의 둘레를 따라 이격 배치되는 복수의 제 2 자석; 을 포함하고, 상기 복수의 제 2 자석은 상기 제 2 지지부가 상기 제 1 지지부 측으로 이동함에 따라 상기 복수의 제 1 자석들 사이사이에 배치되고, 상기 제 1 판 부재는 상기 제 2 지지부가 상기 제 1 지지부 측으로 이동함에 따라 상기 복수의 제 1 자석과 상기 복수의 제 2 자석 사이에 발생하는 척력에 의하여 상기 제 2 지지부의 상기 일면과 평행하도록 정렬될 수 있다.
Int. CL H01L 21/68 (2006.01.01) H01L 21/67 (2006.01.01) B23K 20/00 (2006.01.01)
CPC H01L 21/68(2013.01) H01L 21/67092(2013.01) B23K 20/00(2013.01)
출원번호/일자 1020210025509 (2021.02.25)
출원인 아주대학교산학협력단
등록번호/일자 10-2415588-0000 (2022.06.28)
공개번호/일자
공고번호/일자 (20220630) 문서열기
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보
법적상태 등록
심사진행상태 수리
심판사항
구분 국내출원/신규
원출원번호/일자
관련 출원번호
심사청구여부/일자 Y (2021.02.25)
심사청구항수 12

출원인

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번호 이름 국적 주소
1 아주대학교산학협력단 대한민국 경기도 수원시 영통구

발명자

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번호 이름 국적 주소
1 이문구 경기도 성남시 분당구
2 서창훈 경기도 수원시 영통구
3 손병언 경기도 오산시 문시로 ***-**,
4 양재영 경기도 수원시 영통구

대리인

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번호 이름 국적 주소
1 특허법인이룸리온 대한민국 서울특별시 서초구 사평대로 ***, *층 (반포동)

최종권리자

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번호 이름 국적 주소
1 아주대학교산학협력단 경기도 수원시 영통구
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번호 서류명 접수/발송일자 처리상태 접수/발송번호
1 [특허출원]특허출원서
[Patent Application] Patent Application
2021.02.25 수리 (Accepted) 1-1-2021-0229429-49
2 선행기술조사의뢰서
Request for Prior Art Search
2021.10.18 수리 (Accepted) 9-1-9999-9999999-89
3 선행기술조사보고서
Report of Prior Art Search
2021.12.13 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-6-2022-0110637-32
4 등록결정서
Decision to grant
2022.06.24 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2022-0464024-44
번호, 청구항의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 청구항 표입니다.
번호 청구항
1 1
제 1 판 부재를 정렬시키기 위한 판 부재 정렬 장치로서, 상기 제 1 판 부재의 일면이 상향하여 안착되는 제 1 안착면을 구비하는 제 1 지지부; 상기 제 1 안착면과 대향하는 일면을 구비하고 상하 방향으로 이동가능한 제 2 지지부; 상기 제 1 지지부의 둘레를 따라 이격 배치되는 복수의 제 1 자석; 상기 제 2 지지부의 둘레를 따라 이격 배치되는 복수의 제 2 자석; 을 포함하고, 상기 복수의 제 2 자석은 상기 제 2 지지부가 상기 제 1 지지부 측으로 이동함에 따라 상기 복수의 제 1 자석들 사이사이에 배치되고, 상기 제 1 판 부재는 상기 제 2 지지부가 상기 제 1 지지부 측으로 이동함에 따라 상기 복수의 제 1 자석과 상기 복수의 제 2 자석 사이에 발생하는 척력에 의하여 상기 제 2 지지부의 상기 일면과 평행하도록 정렬되는, 판 부재 정렬 장치
2 2
제 1 항에 있어서, 상기 복수의 제 1 자석은 상기 제 1 지지부의 상기 제 1 안착면보다 상기 제 2 지지부 측으로 돌출되도록 형성되며, 상기 복수의 제 2 자석은 상기 제 2 지지부의 상기 일면보다 상기 제 1 지지부 측으로 돌출되도록 형성되는, 판 부재 정렬 장치
3 3
제 1 항에 있어서, 상기 복수의 제 1 자석은 N극으로부터 S극을 향하여 연장되는 축이 상기 제 1 지지부의 일 둘레 방향을 향하도록 배치되고, 상기 복수의 제 2 자석은 N극으로부터 S극을 향하여 연장되는 축이 상기 제 1 지지부의 타 둘레 방향을 향하도록 배치되는, 판 부재 정렬 장치
4 4
제 1 항에 있어서, 상기 복수의 제 1 자석은 상기 제 2 지지부 측으로 갈수록 단면적이 좁아지도록 형성되고, 상기 복수의 제 2 자석은 상기 제 1 지지부 측으로 갈수록 단면적이 좁아지도록 형성되는, 판 부재 정렬 장치
5 5
제 1 항에 있어서, 상기 복수의 제 1 자석은 방사 방향으로 갈수록 단면적이 좁아지도록 형성되고, 상기 복수의 제 2 자석은 방사 방향으로 갈수록 단면적이 넓어지도록 형성되는, 판 부재 정렬 장치
6 6
제 1 항에 있어서, 상기 제 1 지지부의 상기 제 1 안착면의 반대 측은 반구 형상으로 형성되고, 상기 제 1 지지부의 타측이 수용되는 마운트를 더 포함하는, 판 부재 정렬 장치
7 7
제 6 항에 있어서, 일측이 상기 제 1 지지부의 상기 제 1 안착면의 반대 측 외주면을 지지하도록 둘레를 따라 소정의 간격으로 배치되는 적어도 세 개의 구형 지지 부재; 를 더 포함하고, 상기 지지 부재는 타측부가 상기 마운트의 마운트 내주면에 형성되는 안착홈에 안착되는, 판 부재 정렬 장치
8 8
제 6 항에 있어서, 상기 제 1 지지부가 정렬 시 회전 각도를 제한하는 스토퍼; 를 더 포함하는, 판 부재 정렬 장치
9 9
제 8 항에 있어서, 상기 스토퍼는 상기 제 1 지지부의 외주면으로부터 방사 방향으로 돌출되고 지지 부재의 일측을 감싸도록 형성되는 홈부를 구비하는, 판 부재 정렬 장치
10 10
제 6 항에 있어서, 상기 마운트의 병진 운동에 따라 탄성적으로 변형 가능하도록 상기 마운트의 외주면을 감싸도록 배치되는 탄성 부재; 및 상기 탄성 부재가 수용되는 하우징; 를 더 포함하는, 판 부재 정렬 장치
11 11
제 1 항 내지 제 10 항 중 어느 한 항에 있어서, 상기 제 2 지지부의 상기 일면에는 상기 제 1 판 부재에 대응되는 제 2 판 부재의 일면이 하향하여 안착되는 제 2 안착면이 형성되고, 상기 제 1 판 부재는 상기 제 2 지지부가 상기 제 1 지지부 측으로 이동함에 따라 상기 복수의 제 1 자석과 상기 복수의 제 2 자석 사이에 발생하는 척력에 의하여 상기 제 2 판 부재와 평행하도록 정렬되는, 판 부재 정렬 장치
12 12
제 11 항에 따른 판 부재 정렬 장치를 구비하는 판 부재 적층 시스템으로서, 상기 제 2 지지부는 상기 제 1 판 부재가 상기 제 2 판 부재와 평행하도록 정렬된 상태에서 상기 제 2 판 부재가 상기 제 1 판 부재에 적층되도록 상기 제 1 지지부 측으로 상기 제 2 판 부재를 가압하는, 판 부재 적층 시스템
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1 산업통상자원부 한국생산기술연구원 기계장비산업기술개발(R&D) 웨이퍼 레벨 본딩 장비용 이중서보 웨이퍼 이송 시스템 실증