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압전 소재로 형성되는 압전층; 및상기 압전층에 형성되되, 상기 압전층의 내부에 형성되는 적어도 하나의 내부 전극층을 구비하는 전극층;을 포함하고,상기 내부 전극층은,길이 방향으로 분할되어 배열된 복수의 분할 전극;을 포함하는 것을 특징으로 하는 적층 압전 소자
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제1항에 있어서, 상기 내부 전극층은,상기 복수의 분할 전극을 일렬로 연결하는 연결 패턴;을 더 포함하는 것을 특징으로 적층 압전 소자
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제2항에 있어서, 상기 복수의 분할 전극은,양단에 위치하는 한 쌍의 외곽 분할 전극; 및상기 한 쌍의 외곽 분할 전극의 사이에 일렬로 배열되며, 상기 외곽 분할 전극 보다 크기가 작은 복수의 내부 분할 전극;을 포함하는 것을 특징으로 하는 적층 압전 소자
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제3항에 있어서,상기 외곽 분할 전극은 직사각형의 형태를 가지고, 상기 내부 분할 전극은 정사각형의 형태를 갖는 것을 특징으로 하는 적층 압전 소자
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제1항에 있어서, 상기 전극층은,상기 압전층의 하부면에 형성되는 제1 표면 전극층;상기 압전층의 상부면에 형성되는 제2 표면 전극층;상기 압전층의 내부에 다층으로 형성되는 복수의 내부 전극층;상기 압전층의 일측면에 형성되어, 상기 제1 표면 전극층과 복수의 내부 전극층 중 일부와 전기적으로 연결되는 제1 외부 전극층; 및상기 압전층의 타측면에 형성되어, 상기 제2 표면 전극층과 복수의 내부 전극층 중 일부와 전기적으로 연결되는 제2 외부 전극층;을 포함하는 것을 특징으로 하는 적층 압전 소자
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적층 압전 소자를 포함하는 압전 액추에이터로서,상기 적층 압전 소자는,압전 소재로 형성되는 압전층; 및상기 압전층에 형성되되, 상기 압전층의 내부에 형성되는 적어도 하나의 내부 전극층을 구비하는 전극층;을 포함하고,상기 내부 전극층은,길이 방향으로 분할되어 배열된 복수의 분할 전극;을 포함하는 압전 액추에이터
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