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1
오염 방지 기능을 갖는 극자외선 노광 장치에 있어서, 극자외선 광원부, 상기 극자외선 광원부로부터 생성되는 광을 패터닝 디바이스로 유도하는 조명 광학부, 상기 극자외선 광원부와 상기 조명 광학부 사이에 설치되는 제 1 오염 입자 차단부, 상기 패터닝 디바이스로부터 반사되는 광을 광 감응 층이 적층된 기판으로 유도하는 투영 광학부를 포함하고, 제 1 오염 입자 차단부에 음(-)의 전압이 인가되는 것을 특징으로 하는 오염 방지 기능을 갖는 극자외선 노광 장치
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2 |
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제 1 항에 있어서, 제 1 오염 입자 차단부에 인가되는 음(-)의 전압을 음(-)의 펄스 전압으로 인가하는 것을 특징으로 하는 오염 방지 기능을 갖는 극자외선 노광 장치
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3 |
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제 1 항에 있어서, 상기 조명 광학부와 상기 패터닝 디바이스 사이에 설치되는 제 2 오염 입자 차단부를 더 포함하고제 2 오염 입자 차단부에 음(-)의 전압이 인가되는 것을 특징으로 하는 오염 방지 기능을 갖는 극자외선 노광 장치
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4 |
4
제 3 항에 있어서, 제 1 오염 입자 차단부에 인가되는 음(-)의 전압의 절대치가 제 2 오염 입자 차단부에 인가되는 음(-)의 전압의 절대치보다 큰 것을 특징으로 하는 오염 방지 기능을 갖는 극자외선 노광 장치
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5 |
5
제 3 항에 있어서, 제 1 오염 입자 차단부와 제 2 오염 입자 차단부에 인가되는 음(-)의 전압을 음(-)의 펄스 전압으로 인가하는 것을 특징으로 하는 오염 방지 기능을 갖는 극자외선 노광 장치
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6 |
6
제 3 항에 있어서, 제 1 오염 입자 차단부와 제 2 오염 입자 차단부는 메시 부재로 형성되는 것을 특징으로 하는 오염 방지 기능을 갖는 극자외선 노광 장치
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7
오염 방지 기능을 갖는 극자외선 노광 장치에 있어서, 극자외선 광원부, 상기 극자외선 광원부로부터 생성되는 광을 패터닝 디바이스로 유도하는 조명 광학부, 상기 극자외선 광원부와 상기 조명 광학부 사이에 설치되는 제 1 오염 입자 차단부, 상기 패터닝 디바이스 상부에 부착되는 펠리클, 상기 패터닝 디바이스로부터 반사되는 광을 광 감응 층이 적층된 기판으로 유도하는 투영 광학부를 포함하고, 제 1 오염 입자 차단부와 상기 펠리클에 음(-)의 전압이 인가되는 것을 특징으로 하는 오염 방지 기능을 갖는 극자외선 노광 장치
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8 |
8
제 7 항에 있어서, 제 1 오염 입자 차단부와 펠리클에 인가되는 음(-)의 전압을 음(-)의 펄스 전압으로 인가하는 것을 특징으로 하는 오염 방지 기능을 갖는 극자외선 노광 장치
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9 |
9
오염 방지 기능을 갖는 극자외선 노광 장치에 있어서, 극자외선 광원부, 상기 극자외선 광원부로부터 생성되는 광을 패터닝 디바이스로 유도하는 조명 광학부, 상기 극자외선 광원부와 상기 조명 광학부 사이에 설치되는 제 1 오염 입자 차단부, 상기 조명 광학부와 상기 패터닝 디바이스 사이에 설치되는 제 2 오염 입자 차단부, 상기 패터닝 디바이스 상부에 부착되는 펠리클, 상기 패터닝 디바이스로부터 반사되는 광을 광 감응 층이 적층된 기판으로 유도하는 투영 광학부를 포함하고, 제 1 오염 입자 차단부, 제 2 오염 입자 차단부, 상기 펠리클에 음(-)의 전압이 인가되는 것을 특징으로 하는 오염 방지 기능을 갖는 극자외선 노광 장치
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10
제 9 항에 있어서, 제 1 오염 입자 차단부, 제 2 오염 입자 차단부, 상기 펠리클에 인가되는 음(-)의 전압을 음(-)의 펄스 전압으로 인가하는 것을 특징으로 하는 오염 방지 기능을 갖는 극자외선 노광 장치
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11 |
11
극자외선 광원부와 조명 광학부 사이에 설치되는 오염 입자 차단부에 있어서, 극자외선 광원부로부터 발생되는 오염 입자가 조명 광학부로 유입되는 것을 차단하기 위한 메시 부재, 상기 메시 부재에 음(-)의 전압을 인가하는 전원 입력부를 포함하고, 상기 극자외선 광원부로부터 발생되는 오염 입자는 음(-)으로 대전되어 상기 메시 부재에 음(-)의 전압이 인가되는 경우 조명 광학부로 유입되는 것이 차단되는 것을 특징으로 하는 극자외선 광원부와 조명 광학부 사이에 설치되는 오염 입자 차단부
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12 |
12
극자외선 광원부와 패터닝 디바이스 사이에 설치되는 오염 입자 차단부에 있어서, 극자외선 광원부로부터 발생되는 오염 입자가 패터닝 디바이스로 유입되는 것을 차단하기 위한 메시 부재, 상기 메시 부재에 음(-)의 전압을 인가하는 전원 입력부를 포함하고, 상기 극자외선 광원부로부터 발생되는 오염 입자는 음(-)으로 대전되어 상기 메시 부재에 음(-)의 전압이 인가되는 경우 패터닝 디바이스로 유입되는 것이 차단되는 것을 특징으로 하는 극자외선 광원부와 패터닝 디바이스 사이에 설치되는 오염 입자 차단부
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13
제 9 항 또는 제 10 항에 있어서, 상기 메시 부재에 인가되는 음(-)의 전압을 음(-)의 펄스 전압으로 인가하는 것을 특징으로 하는 오염 방지 기능을 갖는 극자외선 노광 장치
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14
패터닝 디바이스 상부에 부착되는 펠리클에 있어서, 적어도 하나의 캐핑층, 적어도 하나의 극자외선 투과층, 적어도 하나의 열방출층, 상기 적어도 하나의 캐핑층 또는 상기 적어도 하나의 열방출층에 음(-)의 전압을 인가하는 전원 입력부를 포함하고, 상기 극자외선 광원부로부터 발생되어 음(-)으로 대전된 오염 입자는 상기 적어도 하나의 캐핑층 또는 상기 적어도 하나의 열방출층에 음(-)의 전압이 인가되는 경우 패터닝 디바이스로 유입되는 것이 차단되는 것을 특징으로 하는 패터닝 디바이스 상부에 부착되는 펠리클
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