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오염 방지 기능을 갖는 극자외선 노광 장치에 있어서, 극자외선 광원부, 상기 극자외선 광원부로부터 생성되는 광을 패터닝 디바이스로 유도하는 조명 광학부, 상기 극자외선 광원부와 상기 조명 광학부 사이에 설치되는 제 1 오염 입자 포집부, 상기 패터닝 디바이스로부터 반사되는 광을 광 감응 층이 적층된 기판으로 유도하는 투영 광학부를 포함하고, 제 1 오염 입자 포집부에 양(+)의 전압이 인가되는 것을 특징으로 하는 오염 방지 기능을 갖는 극자외선 노광 장치
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제 1 항에 있어서, 제 1 오염 입자 포집부에 인가되는 양(+)의 전압을 양(+)의 펄스 전압으로 인가하는 것을 특징으로 하는 오염 방지 기능을 갖는 극자외선 노광 장치
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제 1 항에 있어서, 상기 조명 광학부와 상기 패터닝 디바이스 사이에 설치되는 제 2 오염 입자 포집부를 더 포함하고, 제 2 오염 입자 포집부에 양(+)의 전압이 인가되는 것을 특징으로 하는 오염 방지 기능을 갖는 극자외선 노광 장치
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제 3 항에 있어서, 제 1 오염 입자 포집부에 인가되는 양(+)의 전압의 절대치가 제 2 오염 입자 포집부에 인가되는 양(+)의 전압의 절대치보다 큰 것을 특징으로 하는 오염 방지 기능을 갖는 극자외선 노광 장치
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제 3 항에 있어서, 제 1 오염 입자 포집부와 제 2 오염 입자 포집부에 인가되는 양(+)의 전압을 양(+)의 펄스 전압으로 인가하는 것을 특징으로 하는 오염 방지 기능을 갖는 극자외선 노광 장치
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6
제 3 항에 있어서,제 1 오염 입자 포집부와 제 2 오염 입자 포집부는 메시 부재로 형성되는 것을 특징으로 하는 오염 방지 기능을 갖는 극자외선 노광 장치
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7
제 1 항에 있어서, 상기 패터닝 디바이스 상부에 부착되는 펠리클을 더 포함하고,상기 펠리클에 음(-)의 전압이 인가되는 것을 특징으로 하는 오염 방지 기능을 갖는 극자외선 노광 장치
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제 7 항에 있어서, 상기 펠리클에 인가되는 음(-)의 전압을 음(-)의 펄스 전압으로 인가하는 것을 특징으로 하는 오염 방지 기능을 갖는 극자외선 노광 장치
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9
오염 방지 기능을 갖는 극자외선 노광 장치에 있어서, 극자외선 광원부, 상기 극자외선 광원부로부터 생성되는 광을 패터닝 디바이스로 유도하는 조명 광학부, 상기 극자외선 광원부와 상기 조명 광학부 사이에 설치되는 오염 입자 차단부, 상기 조명 광학부와 상기 패터닝 디바이스 사이에 설치되는 오염 입자 포집부를 포함하고, 상기 오염 입자 차단부에 음(-)의 전압이 인가되고, 상기 오염 입자 포집부에 양(+)의 전압이 인가되는 것을 특징으로 하는 오염 방지 기능을 갖는 극자외선 노광 장치
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10
제 9 항에 있어서, 상기 오염 입자 차단부에 인가되는 음(-)의 전압을 음(-)의 펄스 전압으로 인가하고, 상기 오염 입자 포집부에 인가되는 양(+)의 전압을 양(+)의 펄스 전압으로 인가하는 것을 특징으로 하는 오염 방지 기능을 갖는 극자외선 노광 장치
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11
극자외선 광원부와 조명 광학부 사이에 설치되는 오염 입자 포집부에 있어서, 극자외선 광원부로부터 발생되는 오염 입자가 조명 광학부로 유입되는 것을 차단하기 위한 메시 부재, 상기 메시 부재에 양(+)의 전압을 인가하는 전원 입력부를 포함하고, 상기 극자외선 광원부로부터 발생되는 오염 입자는 음(-)으로 대전되어 상기 메시 부재에 양(+)의 전압이 인가되는 경우 조명 광학부로 유입되는 것이 차단되어 포집되는 것을 특징으로 하는 극자외선 광원부와 조명 광학부 사이에 설치되는 오염 입자 포집부
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12
극자외선 광원부와 패터닝 디바이스 사이에 설치되는 오염 입자 포집부에 있어서, 극자외선 광원부로부터 발생되는 오염 입자가 패터닝 디바이스로 유입되는 것을 차단하기 위한 메시 부재, 상기 메시 부재에 양(+)의 전압을 인가하는 전원 입력부를 포함하고, 상기 극자외선 광원부로부터 발생되는 오염 입자는 음(-)으로 대전되어 상기 메시 부재에 양(+)의 전압이 인가되는 경우 패터닝 디바이스로 유입되는 것이 차단되어 포집되는 것을 특징으로 하는 극자외선 광원부와 패터닝 디바이스 사이에 설치되는 오염 입자 포집부
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13
제 9 항 또는 제 10 항에 있어서, 상기 메시 부재에 인가되는 양(+)의 전압을 양(+)의 펄스 전압으로 인가하는 것을 특징으로 하는 오염 방지 기능을 갖는 극자외선 노광 장치
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