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액화된 원료를 일측으로 공급하는 원료 공급부;상기 원료 공급부로부터 원료를 공급받아 1차적으로 나노 사이즈의 입자를 형성하는 나노 입자 형성부;상기 나노 입자 형성부에서 형성된 나노 입자를 제어해 일측으로 이동 및 집속시키는 제 1 마그네틱 코일부;이동 가능하게 구성되어 상기 제 1 마그네틱 코일부에서 제어된 나노 입자를 스테이지 상에 패터닝하는 마스크부; 및상기 원료 공급부, 상기 나노 입자 형성부, 상기 제 1 마그네틱 코일부 및 상기 마스크부를 제어하는 제어부;를 포함하는 것을 특징으로 하는 나노 구조체 제조를 위한 나노 3D 프린터 장치
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제 1 항에 있어서,상기 제 1 마그네틱 코일부는,통 형상으로 상기 나노 입자가 통과하는 제 1 코어; 및상기 제 1 코어의 외주면에 권선되는 제 1 코일;을 포함하는 것을 특징으로 하는 나노 구조체 제조를 위한 나노 3D 프린터 장치
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제 2 항에 있어서,상기 제 1 코어는, 소정 부분이 내측으로 경자지게 형성되는 구간을 포함해, 일단의 직경은 타단의 직경보다 작은 것을 특징으로 하는 나노 구조체 제조를 위한 나노 3D 프린터 장치
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제 3 항에 있어서,상기 제 1 마그네틱 코일부와 상기 마스크부 사이에 배치되어 상기 제 1 마그네틱 코일부를 통과한 나노 입자를 제어해 일측으로 이동 및 집속시키는 제 2 마그네틱 코일부;를 더 포함하고,상기 마스크부는, 상기 제 1 마그네틱 코일부와 상기 제 2 마그네틱 코일부를 통과한 나노 입자를 상기 스테이지상에 패터닝하는 것을 특징으로 하는 나노 구조체 제조를 위한 나노 3D 프린터 장치
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제 4 항에 있어서,상기 제 2 마그네틱 코일부는,통 형상으로 상기 나노 입자가 통과하는 제 2 코어; 및상기 제 2 코어의 외주면에 권선되는 제 2 코일;을 포함하는 것을 특징으로 하는 나노 구조체 제조를 위한 나노 3D 프린터 장치
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제 5 항에 있어서,상기 제 2 코어는, 소정 부분이 내측으로 경자지게 형성되는 구간을 포함해, 일단의 직경은 타단의 직경보다 작고,상기 제 2 코어의 타단의 직경은 상기 제 1 코어의 일단의 직경과 동일한 것을 특징으로 하는 나노 구조체 제조를 위한 나노 3D 프린터 장치
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제 1 항에 있어서,상기 마스크부를 상기 스테이지 표면상의 2차원 방향으로 이동시키는 이동부;를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 나노 구조체 제조를 위한 나노 3D 프린터 장치
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제 1 항에 있어서,상기 스테이지는 상기 마스크부의 일측에 위치하고,상기 스테이지의 일측에 위치해 인가되는 전압에 따라 상기 마스크부를 일측인 높이 방향으로 이동시키며, 상기 제어부에 의해 제어되는 제 3 마그네틱 코일부;를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 나노 구조체 제조를 위한 나노 3D 프린터 장치
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제 8 항에 있어서,상기 마스크부는,패턴이 형성되는 정전기 렌즈 마스크(Electrostatic Lens Mask);상기 정전기 렌즈 마스크와 연결되어 높이 방향으로 고정되고, 2차원 방향으로 이동하는 프레임; 및상기 정전기 렌즈 마스크와 상기 프레임을 연결하는 탄성체;를 포함하는 것을 특징으로 하는 나노 구조체 제조를 위한 나노 3D 프린터 장치
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제 9 항에 있어서,상기 정전기 렌즈 마스크는,관통 형성된 패턴을 포함하고, 높이 방향으로 적층되어 전압 인가에 따라 상기 나노 입자를 소형화시키는 다수개의 정전기 렌즈;를 포함하되,상기 정전기 렌즈들 중 어느 하나에 형성된 패턴은, 일측 또는 타측에 위치한 정전기 렌즈의 패턴과 이어져 상기 나노 입자가 통과하는 통로를 형성하는 것을 특징으로 하는 나노 구조체 제조를 위한 나노 3D 프린터 장치
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제 10 항에 있어서,상기 통로의 면적이 일측으로 갈수록 좁아지도록, 일측에 위치한 정전기 렌즈에 포함되는 패턴의 면적은 타측에 위치한 정전기 렌즈에 포함되는 패턴의 면적 이하인 것을 특징으로 하는 나노 구조체 제조를 위한 나노 3D 프린터 장치
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12
제 1 항에 있어서,상기 원료 공급부는, 액화된 원료를 대전시켜 분사시키는 것을 특징으로 하는 나노 구조체 제조를 위한 나노 3D 프린터 장치
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제 1 항에 있어서,상기 원료 공급부에서 공급받은 원료가 분사되도록 방전 유도하는 정전기 증착부; 및 상기 정전기 증착부에서 방전 유도된 원료를 가진해 기화시켜 나노 사이즈 입자로 형성하는 가진부;를 포함하는 것을 특징으로 하는 나노 구조체 제조를 위한 나노 3D 프린터 장치
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