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순차적 기상 공정을 이용한 유무기 혼합 페로브스카이트 박막 제조방법 및 이를 이용한 태양전지

기술번호 : KST2022009768
담당센터 : 대전기술혁신센터
전화번호 : 042-610-2279

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요약, Int. CL, CPC, 출원번호/일자, 출원인, 등록번호/일자, 공개번호/일자, 공고번호/일자, 국제출원번호/일자, 국제공개번호/일자, 우선권정보, 법적상태, 심사진행상태, 심판사항, 구분, 원출원번호/일자, 관련 출원번호, 기술이전 희망, 심사청구여부/일자, 심사청구항수의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 서지정보 표입니다.
요약	순차적 기상증착을 이용한 유무기 혼합 페로브스카이트 박막 제조방법 및 이를 이용한 태양전지가 제공된다. 본 발명의 유무기 혼합 페로브스카이트 박막 제조방법은, 기판상에 기상공정을 이용하여 SnI2 박막을 형성하는 제 1공정; 상기 형성된 SnI2 박막상에 기상공정을 이용하여 기화된 C8H9NH3I (PEAI)를 반응시켜 PEA2SnI4 페로브스카이트 박막을 형성하는 제 2공정; 및 상기 형성된 PEA2SnI4/SnI2 박막상에 기화된 CH3NH3I (MAI)를 반응시켜, 상기 제2공정에서 미반응 상태로 남아 있는 SnI2 박막을 MASnI3 페로브스카이트 박막으로 변환시키는 제 3공정;을 포함한다.
Int. CL	H01L 51/00 (2006.01.01) C07F 7/22 (2006.01.01) H01L 51/42 (2006.01.01)
CPC	H01L 51/0002(2013.01) C07F 7/22(2013.01) H01L 51/422(2013.01)
출원번호/일자	1020200182214 (2020.12.23)
출원인	단국대학교 천안캠퍼스 산학협력단
등록번호/일자
공개번호/일자	10-2022-0091071 (2022.06.30) 문서열기
공고번호/일자
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보
법적상태	공개
심사진행상태	수리
심판사항
구분	국내출원/신규
원출원번호/일자
관련 출원번호
심사청구여부/일자	Y (2020.12.23)
심사청구항수	6

출원인

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번호	이름	국적	주소
1	단국대학교 천안캠퍼스 산학협력단	대한민국	충청남도 천안시 동남구

발명자

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번호	이름	국적	주소
1	문태호		경기도 용인시 수지구
2	박찬규		경기도 부천시 상오정로 *
3	최원규		충청남도 천안시 서북구

대리인

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번호	이름	국적	주소
1	특허법인씨엔에스	대한민국	서울 강남구 언주로 길 , 대림아크로텔 *층(도곡동)

최종권리자

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번호	이름	국적	주소
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번호	서류명	접수/발송일자	처리상태	접수/발송번호
1	[특허출원]특허출원서 [Patent Application] Patent Application	2020.12.23	수리 (Accepted)	1-1-2020-1404336-07
2	선행기술조사의뢰서 Request for Prior Art Search	2021.07.16	수리 (Accepted)	9-1-9999-9999999-89
3	선행기술조사보고서 Report of Prior Art Search	2021.09.10	발송처리완료 (Completion of Transmission)	9-6-2022-0106983-75
4	의견제출통지서 Notification of reason for refusal	2022.06.21	발송처리완료 (Completion of Transmission)	9-5-2022-0452770-50

번호, 청구항의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 청구항 표입니다.
번호	청구항
1	1 기판상에 기상공정을 이용하여 SnI2 박막을 형성하는 제 1공정; 상기 형성된 SnI2 박막상에 기상공정을 이용하여 기화된 C8H9NH3I (PEAI)를 반응시켜 PEA2SnI4 페로브스카이트 박막을 형성하는 제 2공정; 및 상기 형성된 PEA2SnI4/SnI2 박막상에 기화된 CH3NH3I (MAI)를 반응시켜, 상기 제2공정에서 미반응 상태로 남아 있는 SnI2 박막을 MASnI3 페로브스카이트 박막으로 변환시키는 제 3공정;을 포함하는 유무기 혼합 페로브스카이트 박막의 제조방법
2	2 제 1항에 있어서, 상기 제 1공정 및 제 2공정은 PVD (PHYSICAL VAPOR DEPOSITION) 기상공정을 이용하여 박막을 형성하는 것을 특징으로 하는 유무기 혼합 페로브스카이트 박막의 제조방법
3	3 제 1항에 있어서, 상기 제 3공정은 CVD (CHEMICAL VAPOR DEPOSITION) 기상 공정을 이용하여 박막을 형성하는 것을 특징으로 하는 유무기 혼합 페로브스카이트 박막의 제조방법
4	4 제 1항에 있어서, 상기 제 3공정에서, 기판 반응 온도를 60~80℃의 온도로 제어함을 특징으로 하는 유무기 혼합 페로브스카이트 박막의 제조방법
5	5 제 1항에 있어서, 상기 제 1공정의 SnI2 박막의 두께는 100~200nm이고, 상기 제 2공정의 PEAI 증착두께는 8~32nm인 것을 특징으로 하는 유무기 혼합 페로브스카이트 박막의 제조방법
6	6 제 1항의 제조방법으로 제조된 유무기 혼합 페로브스카이트 박막을 포함하는 태양전지

순번, 연구부처, 주관기관, 연구사업, 연구과제의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 국가R&D 연구정보 정보 표입니다.
순번	연구부처	주관기관	연구사업	연구과제
1	과학기술정보통신부	단국대학교(천안캠퍼스)	기본연구(통합Ez)	기상 공정 Sn 기반 페로브스카이트 적용 고효율 태양전지 개발

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번호	서류명	접수/발송일자	처리상태	접수/발송번호
1	[특허출원]특허출원서	2020.12.23	수리 (Accepted)	1-1-2020-1404336-07
2	선행기술조사의뢰서	2021.07.16	수리 (Accepted)	9-1-9999-9999999-89
3	선행기술조사보고서	2021.09.10	발송처리완료 (Completion of Transmission)	9-6-2022-0106983-75
4	의견제출통지서	2022.06.21	발송처리완료 (Completion of Transmission)	9-5-2022-0452770-50


과제고유번호	1711117488
세부과제번호	2020R1F1A1048570
연구과제명	기상 공정 Sn 기반 페로브스카이트 적용 고효율 태양전지 개발
성과구분	출원
부처명	과학기술정보통신부
연구관리전문기관명	단국대학교(천안캠퍼스)
연구주관기관명	한국연구재단
성과제출연도	2020
연구기간	202006~202302
기여율	1
연구개발단계명	기초연구
6T분류명	ET(환경기술)

특허성과

[1020200182214]	순차적 기상 공정을 이용한 유무기 혼합 페로브스카이트 박막 제조방법 및 이를 이용한 태양전지	새창보기

중요키워드

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