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a) 탄화규소 또는 흑연에 열경화성수지 화학용액을 도포하는 단계;b) 탄화규소와 흑연을 압착하는 단계; 및c) 압착된 탄화규소와 흑연을 열처리하는 단계;를 포함하는 것을 특징으로 하는 탄화규소와 흑연소재의 접합방법
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제1항에 있어서,a) 단계 이후에 탄화규소 또는 흑연상의 열경화성수지 화학용액을 평탄화하는 단계;를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 탄화규소와 흑연소재의 접합방법
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제2항에 있어서,도포 후 평탄화까지의 시간은 0분 초과 5분 미만인 것을 특징으로 하는 탄화규소와 흑연소재의 접합방법
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제1항에 있어서,a) 단계 이후에 열경화성수지 화학용액이 도포된 탄화규소 또는 흑연을 진공환경에 방치하는 것을 특징으로 하는 탄화규소와 흑연소재의 접합방법
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제4항에 있어서,상기 진공도는 0
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제5항에 있어서,상기 진공상태에서 5~7시간 방치하는 것을 특징으로 하는 탄화규소와 흑연소재의 접합방법
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제6항에 있어서,상기 진공상태에서 6시간 방치하며, 이 때, 0
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제1항에 있어서,상기 b)단계에서 압착은 1
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제1항에 있어서,상기 c)단계에서 열처리는 상온에서 45~55℃까지 승온한 후 그 온도에서 유지하고, 이후 승온하여 500~600℃에서 유지한 후 냉각하는 과정에 의하는 것을 특징으로 하는 탄화규소와 흑연소재의 접합방법
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제9항에 있어서,상기 45~55℃에서의 유지시간은 20분~1시간이며, 500~600℃에서의 유지시간은 1시간 30분~2시간 30분인 것을 특징으로 하는 탄화규소와 흑연소재의 접합방법
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제1항에 있어서,상기 c) 단계 이후에 냉각하는 단계를 포함하며, 상기 냉각시 진공환경에서 냉각하는 것을 특징으로 하는 탄화규소와 흑연소재의 접합방법
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제11항에 있어서,상기 냉각하는 단계는 5~7시간 동안 수행되는 것을 특징으로 하는 탄화규소와 흑연소재의 접합방법
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제1항에 있어서,상기 열경화성수지 화학용액은 포토레지스트(photoresist)인 것을 특징으로 하는 탄화규소와 흑연소재의 접합방법
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제1항에 있어서,상기 열경화성수지 화학용액은 페놀기를 포함하는 것을 특징으로 하는 탄화규소와 흑연소재의 접합방법
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제1항에 있어서,상기 열경화성수지 화학용액의 도포 두께는 45~55㎛인 것을 특징으로 하는 탄화규소와 흑연소재의 접합방법
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