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공정데이터를 획득하는 단계;공정데이터와 시뮬레이션 데이터를 비교하여 시뮬레이션에 필요한 파라미터들을 조정함으로써 시뮬레이션을 최적화 하는 단계;실험조건이 변화하는 경우, 상기 획득된 공정데이터를 변화하여 변화 데이터를 구축하는 단계;상기 공정데이터, 변화된 공정데이터를 취합하여 공정 수행을 위한 기계학습을 수행한 후, 기계학습이 완료된 공정상황을 입력되는 공정데이터를 사용하여 시뮬레이션하기 위한 시뮬레이터를 구축하는 단계;시뮬레이터를 기반으로 공정을 수행하는 단계; 및시뮬레이터 기반 공정을 원격지에서 화상으로 모니터링 하는 단계;를 포함하는 것을 특징으로 하는 기계학습기반 고속시뮬레이션을 활용한 원격실험방법
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제1항에 있어서,상기 시뮬레이터 기반 공정을 원격지에서 화상으로 모니터링 하는 단계; 이후에, 원격 제어 기능 추가를 통하여 원격실험을 수행하는 단계;를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 기계학습기반 고속시뮬레이션을 활용한 원격실험방법
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제1항에 있어서,시뮬레이터 기반 공정을 원격지에서 화상으로 모니터링 하는 단계;는 시뮬레이터에 의하여 공정장비의 내부 상태를 가상의 화면으로 나타내고, 사용되는 공정 데이터에 따라서 실시간으로 변화되는 공정상황을 화상으로 나타냄으로써 수행되는 것을 특징으로 하는 기계학습기반 고속시뮬레이션을 활용한 원격실험방법
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제1항에 있어서,상기 공정은 열유체를 활용하는 공정인 것을 특징으로 하는 기계학습기반 고속시뮬레이션을 활용한 원격실험방법
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제4항에 있어서,상기 열유체를 활용하는 공정은 결정성장공정, 화학적 기상 증착 공정 또는 원자층 증착 공정을 포함하는 것을 특징으로 하는 기계학습기반 고속시뮬레이션을 활용한 원격실험방법
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제1항에 있어서,상기 공정데이터, 변화된 공정데이터를 취합하여 공정 수행을 위한 기계학습을 수행한 후, 기계학습이 완료된 공정상황을 입력되는 공정데이터를 사용하여 시뮬레이션하기 위한 시뮬레이터를 구축하는 단계;는공정장비의 검교정을 통하여 입력 파라미터와 공정 시그널을 확보하는 단계;상기 확보된 입력 파라미터와 공정 시그널을 이용하여 시뮬레이션을 최적화하는 단계;를 포함하는 것을 특징으로 하는 기계학습기반 고속시뮬레이션을 활용한 원격실험방법
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제6항에 있어서,상기 확보된 입력 파라미터와 공정 시그널을 이용하여 시뮬레이션을 최적화하는 단계;는 열유체 기반 공정시 열유체 해석모델이 생성되면, 이를 이용하여 복수의 입력 파라미터에 대한 해석을 시행하고, 해석된 입력 파라미터를 상기 확보된 입력 파라미터와 공정 시그널과 비교하여 재검증함으로써 수행되는 것을 특징으로 하는 기계학습기반 고속시뮬레이션을 활용한 원격실험방법
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제7항에 있어서,상기 확보된 입력 파라미터와 공정 시그널을 이용하여 시뮬레이션을 최적화하는 단계; 이후에, 복수의 공정을 수행하기 위한 복수의 입력 파라미터를 계속하여 해석하고, 이로써 빅데이터를 구축함으로써 기계학습기반의 시뮬레이터를 구축하는 것을 특징으로 하는 기계학습기반 고속시뮬레이션을 활용한 원격실험방법
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제3항에 있어서,상기 시뮬레이터에 의하여 공정장비의 내부 상태를 가상의 화면으로 나타내는 것은, 공정장비의 입력 파라미터와 공정 시그널을 실시간으로 컴퓨터에 로깅(logging) 하는 단계;상기 입력 파라미터와 공정 시그널을 시뮬레이터의 계산속도 또는 데이터 갱신주기에 매칭되도록 시뮬레이터 전송용 공정데이터를 가공하는 단계; 및상기 전송용 공정데이터를 시뮬레이터로 전송하는 단계;를 포함하는 것을 특징으로 하는 기계학습기반 고속시뮬레이션을 활용한 원격실험방법
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제9항에 있어서,상기 전송용 공정데이터는 데이터 갱신 주기별로 취합하며, 각 공정데이터의 평균값으로 구성되고, 이 중 오류로 판단되는 데이터는 필터링되는 것을 특징으로 하는 기계학습기반 고속시뮬레이션을 활용한 원격실험방법
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제9항에 있어서,상기 시뮬레이터는 열유체기반 공정에 사용되는 경우, 공정장비 내부의 온도분포, 압력분포, 유체흐름 또는 결정성장 양상을 포함하는 공정상황을 화상으로 표시하는 것을 특징으로 하는 기계학습기반 고속시뮬레이션을 활용한 원격실험방법
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제9항에 있어서,상기 시뮬레이터 기반 공정을 원격지에서 화상으로 모니터링 하는 단계;는 공정데이터를 가공한 시뮬레이터 입력 데이터를 네트워크를 통하여 원격지의 시뮬레이터 서버에 전송하여 모니터링하도록 하는 것을 특징으로 하는 기계학습기반 고속시뮬레이션을 활용한 원격실험방법
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