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벨트형의 삼산화 몰리브데넘(MoO3) 나노 물질을 습도 감지 물질로 포함하는 것을 특징으로 하는 마이크로파 이중 대역 공진기를 기반으로 한 습도 센서
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제1항에 있어서, 상기 삼산화 몰리브데넘(MoO3)은 평균 길이가 45 내지 55μm이고, 평균 폭이 3 내지 7 μm이고, 평균 두께가 450 내지 550 nm인 것을 특징으로 하는, 마이크로파 이중 대역 공진기를 기반으로 한 습도 센서
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제2항에 있어서, 상기 삼산화 몰리브데넘(MoO3)은 평균 길이가 50μm이고, 평균 폭이 5μm이고, 평균 두께가 500nm인 것을 특징으로 하는, 마이크로파 이중 대역 공진기를 기반으로 한 습도 센서
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제1항에 있어서, 상기 삼산화 몰리브데넘(MoO3)은 X선 회절 스펙트럼에서 (020), (110), (120), (021), (060) 면에서 12
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제1항에 있어서, 상기 이중 대역 공진기는 전송 라인 및 개방 영역을 가진 개방 루프를 포함하며, 상기 개방 루프는 전송 라인의 양쪽에 쌍으로 배치된 하나 이상의 이중 루프 구조를 포함하는 것을 특징으로 하는, 마이크로파 이중 대역 공진기를 기반으로 한 습도 센서
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제5항에 있어서, 상기 개방 루프는 날카로운 모서리를 가진 사각형 또는 직사각형 모양인 것인, 마이크로파 이중 대역 공진기를 기반으로 한 습도 센서
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제5항에 있어서, 상기 개방 루프의 개방 영역은 날카로운 구조인 것을 특징으로 하는, 마이크로파 이중 대역 공진기를 기반으로 한 습도 센서
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제5항에 있어서, 상기 개방 루프의 선폭은 0
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제5항에 있어서,상기 개방 루프는 전송 라인의 양쪽에 쌍으로 배치된 두 개의 이중 루프 구조를 포함하고, 상기 두 개의 이중 루프는 서로 길이가 상이하고, 서로 독립적으로 작동하는 것을 특징으로 하는, 마이크로파 이중 대역 공진기를 기반으로 한 습도 센서
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제1항에 있어서, 상기 마이크로파 이중 대역 공진기의 선택된 공진도는 7
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제1항에 있어서, 상기 습도 센서의 응답 및 회복 시간의 동적 변화량은 5초 미만인 것을 특징으로 하는, 마이크로파 이중 대역 공진기를 기반으로 한 습도 센서
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제1항에 있어서, 상기 습도 센서의 습도 히스테리시스(hysteresis)는 0
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기판 상에, 전송 라인 및 상기 전송 라인의 양쪽에 쌍으로 배치된 개방 영역을 가진 하나 이상의 이중 개방 루프를 포함한 이중 대역 공진기 구조를 설계하는 단계 (이 때, 상기 개방 루프는 날카로운 모서리를 가진 사각형 또는 직사각형 모양이다); 및상기 이중 개방 루프의 바깥쪽 날카로운 모서리 상에 벨트형의 삼산화 몰리브데넘(MoO3)을 증착시키는 단계; 를 포함하는,마이크로파 이중 대역 공진기를 기반으로 하는 습도 센서 제조방법
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제13항에 있어서, 상기 개방 루프의 개방 영역은 날카로운 구조인 것을 특징으로 하는, 마이크로파 이중 대역 공진기를 기반으로 하는 습도 센서 제조방법
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제13항에 있어서, 상기 개방 루프의 선폭은 0
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제13항에 있어서, 상기 개방 루프는 전송 라인의 양쪽에 쌍으로 배치된 두 개의 이중 루프 구조를 포함하고, 상기 두 개의 이중 루프는 서로 길이가 상이하고, 서로 독립적으로 작동하는 것을 특징으로 하는, 마이크로파 이중 대역 공진기를 기반으로 하는 습도 센서 제조방법
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