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기판 상에, 순서대로 제1 금속층; 유전체층; 시드금속층; 에어브릿지 금속층; 및 패시베이션층이 적층되어 있는 통합 수동 소자(IPD) 센서를 포함하되, 상기 통합 수동 소자 센서 상에 감지 물질로서 Co3O4으로 합성된 탄소점 (CDs-Co3O4)을 포함한 감지층;을 포함하는 것을 특징으로 하는 마이크로파 기반 습도 센서
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제1항에 있어서, 상기 탄소점은 키토산과 아크릴아미드 전구체로부터 합성되고, N-도핑된 것을 특징으로 하는 마이크로파 기반 습도 센서
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제2항에 있어서, 키토산 및 아크릴아미드의 질량비는 1:20인 것을 특징으로 하는 마이크로파 기반 습도 센서
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제1항에 있어서, 상기 Co3O4으로 장식된 탄소점(CDs-Co3O4)은 Co3O4의 표면에서 탄소점이 교차 결합되고, 탄소점(CD)과 Co3O4의 질량비가 1: 10인 것을 특징으로 하는 마이크로파 기반 습도 센서
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제1항에 있어서, 상기 센서는 응답 또는 회복 시간이 5초 미만인 것을 특징으로 하는 마이크로파 기반 습도 센서
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제1항에 있어서, 상기 센서의 습도 감도는 5%RH 내지 99%RH 습도 수준에서 주파수 이동(frequency shift) (△f = f99% － f5%)이 3
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제1항에 있어서, 상기 센서는 호흡 패턴을 모니터링 하는 것을 특징으로 하는 마이크로파 기반 습도 센서
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제1항에 있어서, 상기 센서는 손가락 끝의 습도를 모니터링 하는 것을 특징으로 하는 마이크로파 기반 습도 센서
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키토산 및 아크릴아미드를 전구체로 하여 열수 탄화 반응을 통해 N-도핑된 탄소점을 합성하는 단계; 제올라이트 이미다졸 골격체(ZIF-67)을 400°C에서 1시간 동안 소성하여 Co3O4를 합성하는 단계;상기 탄소점 및 상기 Co3O4를 용매에 혼합하여 초음파로 분산시켜 감지 물질을 제조하는 단계; 및기판 상에, 순서대로 제1 금속층; 유전체층; 시드금속층; 에어브릿지 금속층; 및 패시베이션층이 적층되어 있는 통합 수동 소자(IPD) 센서 상에 상기 감지 물질을 코팅하는 단계;를 포함하는 것을 특징으로 하는 마이크로파 기반 습도 센서 제조방법
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제9항에 있어서, 키토산 및 아크릴아미드의 질량비는 1:20인 것을 특징으로 하는, 마이크로파 기반 습도 센서 제조방법
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제9항에 있어서, 감지 물질은 상기 Co3O4의 표면에서 탄소점이 교차 결합된 CDs-Co3O4를 포함하고, 탄소점(CD)과 Co3O4의 질량비가 1: 10인 것을 특징으로 하는 마이크로파 기반 습도 센서 제조방법
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제9항에 있어서, 상기 센서는 응답 또는 회복 시간이 5초 미만인 것을 특징으로 하는 마이크로파 기반 습도 센서 제조방법
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제9항에 있어서, 상기 센서의 습도 감도는 5%RH 내지 99%RH 습도 수준에서 주파수 이동(frequency shift) (△f = f99% － f5%)이 3
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제9항에 있어서, 상기 센서는 호흡 패턴을 모니터링 하는 것을 특징으로 하는 마이크로파 기반 습도 센서 제조방법
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제9항에 있어서, 상기 센서는 손가락 끝의 습도를 모니터링 하는 것을 특징으로 하는 마이크로파 기반 습도 센서 제조방법
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