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반도체 장비 또는 호스트 컴퓨터 중 어느 하나의 목적지가 수행해야 하는 절차를 규정한 GEM(Generic Equipment Model) 메시지를 생성하는 GEM 계층; 상기 GEM 메시지를 스트림과 펑션(Function)의 형태로 정의하는 SECS-II(Semiconductor Equipment Communications Standard- II) 계층;정의된 메시지에 통신 상태를 나타내는 HSMS(High-Speed SECS Message Services) 메시지를 생성하는 HSMS 계층; 상기 HSMS 메시지를 사물인터넷 서비스를 나타내는 헤더를 추가하여 IOT(Internet of Things) 메시지로 변환하는 IOT 서비스 계층; 및 상기 IOT 메시지를 목적지에 전달하는 TCP(Transmission Control Protocol)와 IP(Internet Protocol) 계층을 포함하는 반도체 장비 통신 프로토콜 계층 구조
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제1항에 있어서, 상기 GEM 메시지는 모니터링 대상이 되는 반도체 장비 식별자, 호스트의 장비 상태 요청, 모니터링 대상이 되는 반도체 장비의 응답, 데이터 메시지를 포함하는 것을 특징으로 하는 반도체 장비 통신 프로토콜 계층 구조
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제1항에 있어서, 상기 IOT 메시지의 헤더는 헤더의 길이를 나타내는 필드, HSMS 데이터를 전송하기 위해 사용하는 프로토콜을 지정하는 필드, HSMS 데이터를 전송하기 위해 사용하는 프로토콜의 버전을 표시하는 필드 및 제어 정보를 정의하는 필드를 포함하는 것을 특징으로 하는 반도체 장비 통신 프로토콜 계층 구조
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제1항에 있어서, 상기 TCP와 IP 계층은 발신지와 목적지 사이의 데이터 전송을 보장하기 위한 제어와 에러를 관리하는 전송 계층; 및패킷이 정확한 목적지에 보내지도록 발신지와 목적지 사이의 경로를 제어하는 네트워크 계층;을 포함하는 반도체 장비 통신 프로토콜 계층 구조
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제4항에 있어서, 상기 반도체 장비 통신 프로토콜 계층 구조는 물리 계층에서 도착한 비트 스트림을 네트워크로 전달하고, 전송 확인과 관리를 담당하는 데이터 링크 계층; 및통신 회선을 통해 비트 스트림을 전달하는 물리 계층을 더 포함하는 반도체 장비 통신 프로토콜 계층 구조
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사물인터넷 서비스에 기반한 반도체 장비 통신 게이트웨이의 데이터 전송방법에 있어서, 반도체 장비 또는 호스트 컴퓨터 중 어느 하나인 목적지들이 취해야 하는 절차를 규정한 GEM(Generic Equipment Model) 메시지를 생성하는 단계; 상기 GEM 메시지를 스트림과 펑션(Function)의 형태로 정의하는 단계;정의된 메시지에 통신 상태를 나타내는 필드를 포함시켜 HSMS(High-Speed SECS Message Services) 메시지를 생성하는 단계; 상기 HSMS 메시지를 사물인터넷 프로토콜에 따르는 IOT 메시지로 변환하는 단계; 및 상기 IOT 메시지를 목적지에 전달하는 단계를 포함하는 반도체 장비 통신 게이트웨이의 데이터 전송방법
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반도체 장비 또는 호스트 컴퓨터 중 어느 하나인 목적지들이 취해야 하는 절차를 규정한 GEM(Generic Equipment Model) 메시지를 생성하는 GEM 모듈; 상기 GEM 메시지를 스트림과 펑션(Function)의 형태로 정의하는 SECS-II(Semiconductor Equipment Communications Standard- II) 모듈;정의된 메시지에 통신 상태를 나타내는 필드를 포함시켜 HSMS(High-Speed SECS Message Services) 메시지를 생성하는 HSMS 모듈; 상기 HSMS 메시지를 사물인터넷 프로토콜에 따르는 IOT 메시지로 변환하는 IOT 모듈; 및 상기 IOT 메시지를 목적지에 전달하는 TCP(Transmission Control Protocol)와 IP(Internet Protocol) 모듈을 포함하는 반도체 장비 통신 게이트웨이
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제7항에 있어서, 상기 GEM 메시지는 모니터링 대상이 되는 반도체 장비 식별자, 호스트의 장비 상태 요청, 모니터링 대상이 되는 반도체 장비의 응답, 데이터 메시지를 포함하는 것을 특징으로 하는 반도체 장비 통신 게이트웨이
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제7항에 있어서, 상기 IOT 메시지의 헤더는 헤더의 길이를 나타내는 필드, HSMS 데이터를 전송하기 위해 사용하는 프로토콜을 지정하는 필드, HSMS 데이터를 전송하기 위해 사용하는 프로토콜의 버전을 표시하는 필드 및 제어 정보를 정의하는 필드를 포함하는 것을 특징으로 하는 반도체 장비 통신 게이트웨이
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제7항에 있어서, 상기 TCP와 IP 모듈은 발신지와 목적지 사이의 데이터 전송을 보장하기 위한 제어와 에러를 관리하고, 패킷이 정확한 목적지에 보내지도록 발신지와 목적지 사이의 경로를 제어하는 것을 특징으로 하는 반도체 장비 통신 게이트웨이
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