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덕트 내부로 삽입되도록 바 형상으로 형성되며, 레이저를 송수신하여 가스농도를 측정하는 인시츄 방식의 프로브본체; 및상기 프로브본체에 설치되고, 상기 프로브본체에서 가스가 통과되는 가스측정영역에 대한 더스트의 유입을 차단하도록 상기 가스측정영역의 하측에 배치되며, 메쉬형태를 지니면서 마이크로-나노 계층적구조의 표면부가 형성된 더스트 프리벤터;를 포함하는 가스측정장치
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제1항에 있어서,상기 더스트 프리벤터는 메쉬형태로 이루어진 메쉬몸체를 구비하고,상기 표면부는,상기 메쉬몸체의 표면에 마이크로미터 크기로 융기 및 파여진 요철구조 이루어진 요철표면; 및상기 요철표면에 형성된 나노미터 크기의 지름으로 이루어진 나노필라멘트;를 구비하는 것을 특징으로 하는 가스측정장치
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제2항에 있어서,상기 더스트 프리벤터의 표면부는 겔 형태의 표면코팅이 이루어진 것을 특징으로 하는 가스측정장치
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제3항에 있어서,상기 표면코팅은 상기 표면부에 실리콘 오일(polydimethylsiloxane, PDMS)이 박막 형태로 코팅되어 이루어진 것을 특징으로 하는 가스측정장치
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제2항에 있어서,상기 메쉬몸체는 하측으로 굴곡된 형상을 지닌 것을 특징으로 하는 가스측정장치
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제1항에 있어서,상기 더스트 프리벤터에 필터링된 더스트를 제거하도록, 상기 더스트 프리벤터에 퍼지가스를 분사하는 크리닝유닛;을 더 포함하는 것을 특징으로 하는 가스측정장치
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제6항에 있어서,상기 크리닝유닛은,상기 프로브본체의 측면을 따라 설치되며 퍼지가스가 공급되는 공급라인; 및상기 공급라인의 단부에 형성되며, 상기 가스측정영역 양측의 상기 프로브본체에 고정되어 상기 더스트 프리벤터의 상측에서 퍼지가스를 분사하는 분사노즐;을 구비하는 것을 특징으로 하는 가스측정장치
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