맞춤기술찾기

홈으로 가기
맞춤기술찾기
이전대상기술
프린트하기

이전대상기술

박막 태양 전지 제조 장치 및 방법

  • 기술번호 : KST2022010560
  • 담당센터 :
  • 전화번호 :
상담신청 PDF 받기
요약, Int. CL, CPC, 출원번호/일자, 출원인, 등록번호/일자, 공개번호/일자, 공고번호/일자, 국제출원번호/일자, 국제공개번호/일자, 우선권정보, 법적상태, 심사진행상태, 심판사항, 구분, 원출원번호/일자, 관련 출원번호, 기술이전 희망, 심사청구여부/일자, 심사청구항수의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 서지정보 표입니다.
요약 박리된 웨이퍼(wafer)의 효율을 높일 수 있는 박막 태양 전지 제조 장치가 개시된다. 상기 박막 태양 전지 제조 장치는, 웨이퍼의 하부면을 고정하는 제 1 지그, 상기 제 1 지그가 내부에 안착되는 챔버, 및 확산 가스를 통해 상기 웨이퍼의 상부 표면이 도핑되도록 상기 챔버의 내부로 유입되는 상기 확산 가스의 양을 제어하는 가스 제어부를 포함하는 것을 특징으로 한다.
Int. CL H01L 31/18 (2006.01.01)
CPC
출원번호/일자 1020210149116 (2021.11.02)
출원인 한국전력공사
등록번호/일자 10-2384148-0000 (2022.04.04)
공개번호/일자 10-2021-0150324 (2021.12.10) 문서열기
공고번호/일자 (20220412) 문서열기
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보
법적상태 등록
심사진행상태 수리
심판사항
구분 국내출원/분할
원출원번호/일자 10-2020-0067222 (2020.06.03)
관련 출원번호 1020200067222
심사청구여부/일자 Y (2021.11.02)
심사청구항수 1

출원인

번호, 이름, 국적, 주소의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 인명정보 - 출원인 표입니다.
번호 이름 국적 주소
1 한국전력공사 대한민국 전라남도 나주시

발명자

번호, 이름, 국적, 주소의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 인명정보 - 발명자 표입니다.
번호 이름 국적 주소
1 문승필 전라남도 나주시
2 강성현 전라남도 나주시
3 유선호 전라남도 나주시

대리인

번호, 이름, 국적, 주소의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 인명정보 - 대리인 표입니다.
번호 이름 국적 주소
1 (유)한양특허법인 대한민국 서울특별시 강남구 논현로**길 **

최종권리자

번호, 이름, 국적, 주소의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 인명정보 - 최종권리자 표입니다.
번호 이름 국적 주소
1 한국전력공사 전라남도 나주시
번호, 서류명, 접수/발송일자, 처리상태, 접수/발송일자의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 행정처리 표입니다.
번호 서류명 접수/발송일자 처리상태 접수/발송번호
1 [분할출원]특허출원서
[Divisional Application] Patent Application		 2021.11.02 수리 (Accepted) 1-1-2021-1263627-04
2 의견제출통지서
Notification of reason for refusal		 2021.12.26 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2021-1009917-95
3 [명세서등 보정]보정서
[Amendment to Description, etc.] Amendment		 2022.02.22 보정승인간주 (Regarded as an acceptance of amendment) 1-1-2022-0198953-70
4 [거절이유 등 통지에 따른 의견]의견서·답변서·소명서
 2022.02.22 수리 (Accepted) 1-1-2022-0198952-24
5 등록결정서
Decision to grant		 2022.03.31 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2022-0244304-29
6 수수료 사후 감면 신청서
Request for Follow-up Reduction of Official Fee		 2022.04.25 수리 (Accepted) 1-1-2022-0442953-83
7 수수료 사후 감면안내서
Notification of Follow-up Reduction of Official Fee		 2022.05.08 발송처리완료 (Completion of Transmission) 1-5-2022-0069671-01
번호, 청구항의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 청구항 표입니다.
번호 청구항
1 1
(a) 제 1 지그(10)를 챔버(110) 내부에 안착하는 단계; (b) 제 1 지그(10)를 이용하여 웨이퍼(180)의 하부면을 고정하는 단계; 및(c) 가스 제어부(140)가 확산 가스를 통해 상기 웨이퍼(180)의 상부 표면이 도핑되도록 상기 챔버(110)의 내부로 유입되는 상기 확산 가스의 양을 제어하는 단계;를 포함하며,상기 웨이퍼(180)의 제 1 도금층(310)을 에칭하기 위해 상기 제 1 지그(10)의 표면에는 에칭액이 분출되기 위한 다수개의 제 1 관통홀(302)이 서로 일정 간격으로 형성되고,상기 에칭액을 유입시키기 위해 상기 제 1 지그(10)의 내부에는 하나의 중공(301)이 형성되고,상기 제 1 지그(10)는 내부에 하나의 상기 중공(301)이 형성되고 표면에 다수개의 상기 제 1 관통홀(302)이 형성되는 원통형상이고, 상기 제 1 지그(10)의 양단은 깔대기 형상이며,상기 제 1 지그(10)의 외주면에 상기 웨이퍼(180)의 하부면이 밀착 고정되게 상기 제 1 지그(10)내 지그 기압(Pa)을 제어하는 지그 기압 제어부(120)와 상기 챔버(110)내 챔버 기압(Pb)을 제어하는 챔버 기압 제어부(160)가 구비되어, 상기 밀착 고정을 유지하기 위해 상기 챔버 기압(Pb)은 상기 지그 기압(Pa)보다 큰 것을 특징으로 하는 박막 태양 전지 제조 방법
지정국 정보가 없습니다
순번, 패밀리번호, 국가코드, 국가명, 종류의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 패밀리정보 - 패밀리정보 표입니다.
순번 패밀리번호 국가코드 국가명 종류
패밀리 정보가 없습니다

DOCDB 패밀리 정보

순번, 패밀리번호, 국가코드, 국가명, 종류의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 패밀리정보 - DOCDB 패밀리 정보 표입니다.
순번 패밀리번호 국가코드 국가명 종류
1 KR102337183 KR 대한민국 DOCDBFAMILY
2 KR102350949 KR 대한민국 DOCDBFAMILY
3 KR20210150320 KR 대한민국 DOCDBFAMILY
4 KR20210150321 KR 대한민국 DOCDBFAMILY
5 KR20210150322 KR 대한민국 DOCDBFAMILY
6 KR20210150323 KR 대한민국 DOCDBFAMILY
7 KR20210150325 KR 대한민국 DOCDBFAMILY
국가 R&D 정보가 없습니다.