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양자점 다층 박막의 적층 전사 인쇄 방법 및 이를 통해 제조된 양자점 다층 박막

  • 기술번호 : KST2022010723
  • 담당센터 : 대구기술혁신센터
  • 전화번호 : 053-550-1450
요약, Int. CL, CPC, 출원번호/일자, 출원인, 등록번호/일자, 공개번호/일자, 공고번호/일자, 국제출원번호/일자, 국제공개번호/일자, 우선권정보, 법적상태, 심사진행상태, 심판사항, 구분, 원출원번호/일자, 관련 출원번호, 기술이전 희망, 심사청구여부/일자, 심사청구항수의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 서지정보 표입니다.
요약 본 발명은 양자점 다층 박막의 적층 전사 인쇄 방법 및 이를 통해 제조된 양자점 다층 박막을 개시한다. 본 발명은 제1 기판 상에 자가조립 단분자막을 형성하는 단계; 상기 자가조립 단분자막 상에 제1 스탬프를 사용하여 제1 전하를 갖도록 표면처리된 양자점 박막 및 제2 전하를 갖도록 표면처리된 양자점 박막을 적어도 1회 이상 교차 적층 전사하여 양자점 다층 박막을 형성하는 단계; 및 상기 양자점 다층 박막을 제2 스탬프를 사용하여 픽업하여 제2 기판 상에 전사하는 단계; 를 포함하는 것을 특징를 포함하는 것을 특징으로 한다.
Int. CL H01L 33/00 (2010.01.01) H01L 33/04 (2010.01.01)
CPC H01L 33/005(2013.01) H01L 33/04(2013.01)
출원번호/일자 1020200166804 (2020.12.02)
출원인 재단법인대구경북과학기술원, 울산과학기술원
등록번호/일자
공개번호/일자 10-2022-0077656 (2022.06.09) 문서열기
공고번호/일자
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보
법적상태 공개
심사진행상태 수리
심판사항
구분 국내출원/신규
원출원번호/일자
관련 출원번호
심사청구여부/일자 Y (2021.11.23)
심사청구항수 18

출원인

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번호 이름 국적 주소
1 재단법인대구경북과학기술원 대한민국 대구 달성군 현
2 울산과학기술원 대한민국 울산광역시 울주군

발명자

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번호 이름 국적 주소
1 양지웅 대구광역시 달성군 현풍읍 테크노중앙
2 최문기 울산광역시 울주군
3 박수익 부산광역시 금정구
4 이승민 울산광역시 울주군

대리인

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번호 이름 국적 주소
1 김연권 대한민국 서울특별시 송파구 법원로 ***, ****/****호(문정동, 문정대명벨리온)(시안특허법률사무소)

최종권리자

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번호 이름 국적 주소
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번호 서류명 접수/발송일자 처리상태 접수/발송번호
1 [특허출원]특허출원서
[Patent Application] Patent Application
2020.12.02 수리 (Accepted) 1-1-2020-1305644-10
2 [심사청구]심사청구서·우선심사신청서
2021.11.23 수리 (Accepted) 1-1-2021-1347382-50
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번호 청구항
1 1
제1 기판 상에 자가조립 단분자막(SAM)을 형성하는 단계;상기 자가조립 단분자막 상에 제1 스탬프를 사용하여 제1 전하를 갖도록 표면처리된 양자점 박막 및 제2 전하를 갖도록 표면처리된 양자점 박막을 적어도 1회 이상 교차 적층 전사하여 양자점 다층 박막을 형성하는 단계; 및상기 양자점 다층 박막을 제2 스탬프를 사용하여 픽업하여 제2 기판 상에 전사하는 단계;를 포함하는 것을 특징으로 하는 양자점 다층 박막의 적층 전사 인쇄 방법
2 2
제1항에 있어서, 상기 제1 전하를 갖도록 표면처리된 양자점 박막 및 제2 전하를 갖도록 표면처리된 양자점 박막은 쿨롱 인력에 의해 적층되는 것을 특징으로 하는 양자점 다층 박막의 적층 전사 인쇄 방법
3 3
제1항에 있어서, 상기 제1 전하를 갖도록 표면처리된 양자점 박막 및 상기 제2 전하를 갖도록 표면처리된 양자점 박막은 무기 리간드 및 두 기능기(bifunctional) 리간드 중 적어도 어느 하나로 표면 처리된 것을 특징으로 하는 양자점 다층 박막의 적층 전사 인쇄 방법
4 4
제3항에 있어서, 상기 무기 리간드는 금속-칼코게나이드(metal-chalcogenide) 화합물, 금속-할라이드(metal-halide) 화합물, 금속-옥사이드(metal-oxide) 화합물, 칼코게나이드(chalcogenide), 할라이드(halide) 및 슈도할라이드(pseudohalide), 하이드록시 이온 중 적어도 어느 하나를 포함하는 것을 특징으로 하는 양자점 다층 박막의 적층 전사 인쇄 방법
5 5
제3항에 있어서, 상기 두 기능기 리간드는 카르복시기, 아인산기, 하이드록시기, 사이올기, 아민기, 포스핀기 및 산화포스핀기 중 적어도 둘 이상의 작용기가 C1-C24 탄화수소에 결합된 리간드를 포함하는 것을 특징으로 하는 양자점 다층 박막의 적층 전사 인쇄 방법
6 6
제1항에 있어서, 상기 자가조립 단분자막은 상기 제1 기판과 상기 제1 전하를 갖도록 표면처리된 양자점 박막 사이의 쿨롱 인력을 감소시키는 것을 특징으로 하는 양자점 다층 박막의 적층 전사 인쇄 방법
7 7
제1항에 있어서, 상기 자가조립 단분자막은 PFS(Perfluorodecyltrichlorosilane), OTS (Trichloro(octyl)silane), ODTS(Octadecyltrichlorosilane), OTMS(Octadecyltrimethoxysilane), HDT(1-Hexadecanethiol), FDTS((Heptadecafluoro-1,1,2,2-tetrahydrodecyl)trichlorosilane), FOTS(1H,1H,2H,2H-perfluorodecyltrichlorosilneperfluorodecyltrichlorosilane), PFBT (Pentafluorobenzenethiol), APTES(3-Aminopropyltriethoxysilane), hydroxy terminated PDMS(polydimethylsiloxane) 및 vinyl terminated PDMS 및 DDMS(Dichlorodimethylsilane) 중 적어도 어느 하나를 포함하는 것을 특징으로 하는 양자점 다층 박막의 적층 전사 인쇄 방법
8 8
제1항에 있어서, 상기 제1 스탬프는 표면에 양각 패턴을 포함하는 것을 특징으로 하는 양자점 다층 박막의 적층 전사 인쇄 방법
9 9
제1항에 있어서, 상기 제2 기판이 음각 트랜치를 포함하는 것을 특징으로 하는 양자점 다층 박막의 적층 전사 인쇄 방법
10 10
제9항에 있어서, 상기 양자점 다층 박막을 제2 스탬프를 사용하여 픽업하여 제2 기판 상에 전사하는 단계를 진행한 다음,상기 제2 스탬프를 이용하여 상기 제2 기판으로부터 상기 양자점 다층 패턴을 픽업하는 단계; 및상기 제2 스탬프를 이용하여 상기 양자점 다층 패턴을 제3 기판에 전사하는 단계;를 포함하는 것을 특징으로 하는 양자점 다층 박막의 적층 전사 인쇄 방법
11 11
제9항에 있어서, 상기 제2 기판은 표면에서 내부로 들어간 리세스 영역을 갖는 것을 특징으로 하는 양자점 다층 박막의 적층 전사 인쇄 방법
12 12
제11항에 있어서, 상기 제2 스탬프가 상기 제2 기판으로부터 분리될 때 상기 양자점 다층 박막 중에서 상기 제2 기판과 접촉하는 부분은 상기 제2 기판에 남고, 상기 리세스 영역에 대응하는 부분은 상기 제2 스탬프에 의해 픽업되는 것을 특징으로 하는 양자점 다층 박막의 적층 전사 인쇄 방법
13 13
제1항에 있어서, 상기 양자점 다층 박막의 두께는 2 nm 내지 1000 μm 인 것을 특징으로 하는 양자점 다층 박막의 적층 전사 인쇄 방법
14 14
제1항 내지 제13항 중 적어도 어느 하나의 양자점 다층 박막의 적층 전사 인쇄 방법으로 제조된 양자점 다층 박막은,제1 전하를 갖도록 표면처리된 양자점 박막 및 제2 전하를 갖도록 표면처리된 양자점 박막이 적어도 1회 이상 교차하여 적층된 것을 특징으로 하는 양자점 다층 박막
15 15
제14항에 있어서, 상기 제1 전하를 갖도록 표면처리된 양자점 박막 및 제2 전하를 갖도록 표면처리된 양자점 박막은 쿨롱 인력에 의해 적층된 것을 특징으로 하는 양자점 다층 박막
16 16
제14항에 있어서, 상기 제1 전하를 갖도록 표면처리된 양자점 박막 및 상기 제2 전하를 갖도록 표면처리된 양자점 박막은 무기 리간드 및 두 기능기(bifunctional) 리간드 중 적어도 어느 하나로 표면 처리된 것을 특징으로 하는 양자점 다층 박막
17 17
제14항에 있어서, 상기 양자점 다층 박막은, 양각 패턴 또는 음각 패턴을 포함하는 것을 특징으로 하는 양자점 다층 박막
18 18
제14항에 있어서, 상기 양자점 다층 박막의 두께는 2 nm 내지 1000 μm 인 것을 특징으로 하는 양자점 다층 박막
지정국 정보가 없습니다
패밀리정보가 없습니다
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순번 연구부처 주관기관 연구사업 연구과제
1 과학기술정보통신부 대구경북과학기술원 미래소재디스커버리지원(R&D) 고해상도 양자점 음각전사 공정과 미세화소 양자점 자발광 소자 기술 개발