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제1 플레이트에 전극을 형성하는 단계와, 상기 전극이 형성된 상기 플레이트에 절연층을 형성하는 단계와, 상기 절연층 상에 필라를 형성하는 단계와,적어도 상기 필라에 친수성 물질층을 형성하는 단계 및 상기 필라에 친수성 물질층이 형성된 제1 플레이트에 스페이서를 형성하여 상기 필라에 친수성 물질층이 형성된 제2 플레이트를 결합하여 내부에 채널을 형성하는 단계를 포함하는 입자 계수기 제조 방법
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제1항에 있어서, 상기 절연층 상에 필라를 형성하는 단계는, 포토 레지스트를 패터닝하여 필라를 형성하여 수행하는 입자 계수기 제조 방법
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제1항에 있어서, 상기 절연층 상에 필라를 형성하는 단계는, 상기 절연층 상에 시드층을 형성하는 단계, 상기 시드 층 상에 필라가 형성될 부분을 개방하는 몰드 패턴을 형성하는 단계 및전기 도금을 수행하여 필라를 생성하는 단계를 포함하는 입자 계수기 제조 방법
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제1항에 있어서, 상기 친수성 물질층을 형성하는 단계는, 친수성 폴리머 단량체를 형성하여 수행하는 입자 계수기 제조 방법
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제1항에 있어서, 상기 친수성 물질층을 형성하는 단계는, 상기 필라를 산화하여 산화물을 형성하여 수행하는 입자 계수기 제조 방법
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제5항에 있어서, 상기 필라는 구리이고, 상기 친수성 물질은 산화구리인 입자 계수기 제조 방법
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