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진공 상태의 내부에 플라즈마를 가두는 자기장이 형성되고, 재료 가스가 상기 자기장으로 인입되고, 생성된 이온 빔을 출력하게 하는 전극이 구비된 플라즈마 챔버;상기 플라즈마 챔버 내로 고주파를 전달하는 RF 포트; 및RF 공급기로부터 상기 RF 포트로 상기 고주파를 전송하는 케이블을 포함하는 RF 전송부를 포함하는, RF 플라즈마 이온원
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청구항 1에 있어서,상기 RF 전송부는 상기 RF 포트와 연결되는 부분에서의 상기 고주파의 반사를 제어하는 임피던스 매칭 회로를 구비한, RF 플라즈마 이온원
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청구항 1에 있어서,상기 케이블은 동축 케이블인, RF 플라즈마 이온원
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청구항 1에 있어서,상기 RF 포트는 상기 RF 전송부의 케이블과 직접 연결되는, RF 플라즈마 이온원
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청구항 1에 있어서,상기 RF 포트와 상기 RF 전송부의 케이블이 연결되는 부위는 자연 냉각되는, RF 플라즈마 이온원
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청구항 1에 있어서,상기 RF 포트와 상기 RF 전송부의 케이블이 연결되는 부위에 냉각 팬이 구비된, RF 플라즈마 이온원
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