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피검체의 부분 영역에 대한 형상 정보를 생성하는 부분 영역 형상 측정 장치에 있어서, 광원으로부터 출력되는 광을 상기 부분 영역 형상 측정 장치의 내부로 입사시키는 입사부;상기 입사되는 광을 참조광 및 측정광으로 분리하는 광분리부;상기 광분리부로 입사되는 참조광을 복수개로 분리하는 참조광 분리부;기정의된 표면 형상 정보에 따라 반사면이 형성되고, 상기 참조광 분리부로부터 입사되는 복수의 참조광을 상기 참조광 분리부를 향해 반사시키는 복수의 참조 미러;상기 복수의 참조 미러로부터 반사되는 복수의 참조광 및 상기 피검체의 부분 영역 표면으로부터 반사되는 기준광에 의하여 발생되는 간섭광을 수신하는 광수신부; 및상기 광수신부에 의해 수신되는 간섭광을 기초로 상기 피검체의 부분 영역에 대한 형상 정보를 생성하는 처리부를 포함하는 확장된 곡률반경 범위를 갖는 부분 영역 형상 측정 장치
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제1항에 있어서,상기 복수의 참조 미러는,서로 다른 곡률 반경을 갖는 것을 특징으로 하는 확장된 곡률반경 범위를 갖는 부분 영역 형상 측정 장치
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제1항에 있어서,상기 광원은,광대역 광원이며, 상기 복수의 참조 미러의 곡률 반경에 상응하여 간섭광의 간섭영역이 공간적으로 분리되는 것을 특징으로 하는 확장된 곡률반경 범위를 갖는 부분 영역 형상 측정 장치
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제1항에 있어서,상기 참조 미러는,상기 피검체의 부분 영역에 대한 기초 표면 형상 정보 및 참조 미러의 표면 형상 정보와의 유사도를 기초로 선택되어 구성되는 것을 특징으로 하는 확장된 곡률반경 범위를 갖는 부분 영역 형상 측정 장치
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제1항에 있어서,상기 입사부는,상기 부분 영역 형상 측정 장치의 내부로 입사되는 광의 초점을 가변시키는 초점 제어부를 포함하는 것을 특징으로 하는 확장된 곡률반경 범위를 갖는 부분 영역 형상 측정 장치
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제3항에 있어서,상기 초점 제어부는,상기 피검체의 기초 표면 형상 정보 및 상기 참조 미러의 표면 형상 정보 중 적어도 하나를 기초로 상기 입사되는 광의 초점을 제어하는 것을 특징으로 하는 확장된 곡률반경 범위를 갖는 부분 영역 형상 측정 장치
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제4항에 있어서,상기 초점 제어부는상기 참조 미러로부터 반사되는 참조광 및 상기 피검체의 부분 영역 표면으로부터 반사되는 기준광이 상기 광수신부를 향하여 평행광으로 출력되도록 상기 입사되는 광의 초점을 제어하는 것을 특징으로 하는 확장된 곡률반경 범위를 갖는 부분 영역 형상 측정 장치
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제1항에 있어서, 상기 부분 영역 형상 측정 장치는상기 간섭광의 광경로 상에 구성되어 동일한 FOV(field-of-view)를 가지는 형상 정보를 획득하도록 하는 텔레센트릭 광학부;를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 확장된 곡률반경 범위를 갖는 부분 영역 형상 측정 장치
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