| 1 |
1
무연 압전물질 및 고유전 물질을 포함하는 무연압전체로서, 상기 무연 압전물질은 상기 고유전 물질층에 로드(rod) 또는 바(bar) 형태로 이격되어 내삽된 것을 특징으로 하는 무연압전체
|
| 2 |
2
제 1항에 있어서, 상기 무연 압전물질 로드 또는 바는 적어도 2개 이상인 것을 특징으로 하는 무연압전체
|
| 3 |
3
제 1항에 있어서, 상기 무연 압전물질은 Lithium Niobate(LN)을 포함하는 것을 특징으로 하는 무연압전체
|
| 4 |
4
제 1항에 있어서, 상기 무연압전체는, 상기 무연 압전물질 로드 또는 바와 상기 고유전 물질층 사이에 경화제가 침투되어 경화된 것을 특징으로 하는 무연압전체
|
| 5 |
5
제 1항에 있어서, 상기 무연압전체의 유전율 또는 밀도는 상기 무연 압전물질 로드 또는 바의 개수, 크기 및 무연 압전물질 대비 고유전 물질층의 부피비 중 적어도 어느 하나에 따라 결정되는 것을 특징으로 하는 무연압전체
|
| 6 |
6
제 1항 내지 제 5항 중 어느 한 항에 따른 무연압전체의 제조방법으로,고유전 물질층을 제 1 방향으로 식각하여 패터닝 하는 단계;상기 제 1 방향으로 식각된 고유전 물질층에 대응되도록 무연 압전물질층을 식각하여 패터닝 하는 단계;상기 식각된 고유전 물질층과 무연 압전물질층 사이에 경화제를 침투시킨 후 맞춰 끼워 제 1 구조물을 제조하는 단계;상기 제 1 구조물의 양면에 있는 일정 부분을 래핑을 통해 제거하는 단계;상기 제 1 방향과 수직되는 제 2 방향으로 상기 제 1 구조물을 식각하는 단계; 및상기 제 2 방향으로 식각된 상기 제 1 구조물에 대응되도록 식각된 또 다른 고유전 물질층을 맞춰 끼우는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 무연압전체의 제조방법
|
