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구동 모터를 포함하는 구동부;볼스크류 및 상기 볼스크류를 상기 구동 모터의 회전 샤프트에 연결하는 커플링을 포함하는 연결부;상기 볼스크류에 나사결합되어 상기 볼스크류 상에서 직선 구동 가능한 볼스크류 너트 및 상기 볼스크류 너트에 고정된 외부 결합단을 포함하는 가변부; 및상기 구동 모터를 수용하는 모터 하우징, 상기 모터 하우징에 일단이 고정되고 상기 커플링을 수용하는 연결 하우징, 및 상기 연결 하우징의 다른 일단과 상기 외부 결합단의 사이에 결합되며 상기 외부 결합단이 직선 이동함에 따라 신축 가능하고 상기 볼스크류의 적어도 일부 및 볼스크류 너트를 수용하는 벨로우즈 하우징을 포함하는 하우징부를 포함하고,상기 하우징부는 진공인 외부로부터 밀폐되도록 구성된, 초고진공용 정밀 변위구동 액추에이터
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제 1 항에 있어서,상기 벨로우즈 하우징은 상기 연결 하우징 및 상기 외부 결합단과 용접으로 결합된, 초고진공용 정밀 변위구동 액추에이터
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제 1 항에 있어서,상기 모터 하우징의 측면에 내부가 서로 연통하도록 연결되고, 상기 구동 모터에 연결되는 전원 또는 신호 케이블이 수용되는 피드쓰루(feed through)를 더 포함하는 초고진공용 정밀 변위구동 액추에이터
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제 3 항에 있어서,상기 모터 하우징의 측면으로부터 분기관이 연장되고,상기 피드쓰루는 상기 분기관에 금속 개스킷을 개재하여 연결되는, 초고진공용 정밀 변위구동 액추에이터
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제 1 항에 있어서,상기 모터 하우징은 상기 구동 모터의 상단부를 수용하는 상부 케이싱과 상기 구동 모터의 하단부를 수용하는 하부 케이싱을 포함하고,상기 상부 케이싱과 상기 하부 케이싱은 용접으로 서로 결합하여 외부로부터 밀폐되도록 구성된, 초고진공용 정밀 변위구동 액추에이터
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제 5 항에 있어서,상기 상부 케이싱은 외주면의 적어도 일부에 평탄면으로 이루어진 장치 결합부를 포함하는, 초고진공용 정밀 변위구동 액추에이터
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제 5 항에 있어서,상기 상부 케이싱은 상기 연결 하우징의 내부에 삽입될 수 있는 돌출벽이 상단부에서 돌출되고, 상기 돌출벽은 상부 케이싱의 외주면과 단차지게 형성된, 초고진공용 정밀 변위구동 액추에이터
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제 1 항에 있어서,상기 구동 모터의 회전 샤프트와 결합된 상기 커플링의 외측에 장착되어 상기 커플링을 지지하는 크로스롤러베어링 또는 앵귤러 콘택트 베어링을 더 포함하는 초고진공용 정밀 변위구동 액추에이터
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제 8 항에 있어서,상기 커플링의 상기 볼스크류 쪽 외주에 나사결합 되어 상기 커플링과의 사이에서 상기 크로스롤러베어링 또는 앵귤러 콘택트 베어링의 내륜을 고정하는 커플링 너트를 더 포함하는 초고진공용 정밀 변위구동 액추에이터
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제 8 항에 있어서,상기 모터 하우징은 상단부에서 상기 모터 하우징의 외주면과 단차지게 내측으로 들어가 돌출되는 돌출벽을 포함하고, 상기 돌출벽은 상기 크로스롤러베어링 또는 앵귤러 콘택트 베어링을 둘러싸 감싸도록 조립되며,상기 크로스롤러베어링 또는 앵귤러 콘택트 베어링의 상단면 모서리와 상기 돌출벽의 외측면을 함께 덮도록 결합되어 상기 크로스롤러베어링 또는 앵귤러 콘택트 베어링의 외륜을 고정하는 베어링 너트를 더 포함하는 초고진공용 정밀 변위구동 액추에이터
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제 10 항에 있어서,상기 돌출벽의 외주면과 상기 베어링 너트의 내주면은 서로 나사결합 되어 체결된, 초고진공용 정밀 변위구동 액추에이터
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제 1 항에 있어서,상기 볼스크류의 단부에는 상기 볼스크류의 직경보다 더 큰 직경을 갖는 볼스크류 스토퍼를 포함하는 초고진공용 정밀 변위구동 액추에이터
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제 1 항에 있어서,상기 외부 결합단은 원통형으로 연장되어 상기 벨로우즈 하우징 내부로 삽입되는 원통부와 상기 원통부의 외측으로 방사상으로 확장되어 상기 벨로우즈 하우징의 상단에 고정되는 플랜지부를 포함하는, 초고진공용 정밀 변위구동 액추에이터
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제 13 항에 있어서,상기 볼스크류 너트는 내부에 나사산이 형성되어 상기 볼스크류에 나사결합되는 원통 형상의 결합부와 상기 결합부의 반경 방향으로 더 크게 확장된 지지부를 포함하고,상기 외부 결합단의 원통부는 상기 볼스크류 너트의 지지부에 안착되어 결합 및 고정되는, 초고진공용 정밀 변위구동 액추에이터
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제 13 항에 있어서,상기 외부 결합단의 원통부는 내부로 상기 볼스크류가 인입되도록 축방향으로 깊게 연장된 공간을 포함하는, 초고진공용 정밀 변위구동 액추에이터
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제 13 항에 있어서,상기 외부 결합단은 외부 장치와 결합하기 위하여 상기 볼스크류의 축방향으로 돌출되어 단차를 형성한 돌출부를 더 포함하는, 초고진공용 정밀 변위구동 액추에이터
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제 1 항에 있어서,상기 모터 하우징의 내부에는 온도 센서가 설치되고,상기 온도 센서는 상기 피드쓰루를 통해 연결된 케이블을 통해 외부로 온도 측정값을 전달할 수 있는, 초고진공용 정밀 변위구동 액추에이터
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