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나노 패턴이 형성된 기판 표면에 액정 분자를 포함하는 액정층을 도포하는 도포 단계;편광현미경을 이용해 상기 기판을 스캐닝하는 스캐닝 단계; 및상기 스캐닝 단계에서 관찰된 이미지를 분석하여, 상기 기판의 결함을 분석하는 분석 단계; 를 포함하는 표면 분석 방법
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제 1항에 있어서,상기 스캐닝 단계에서,상기 편광현미경은,상기 기판으로 광을 조사하는 광원;상기 기판을 투과한 광을 편광시키는 편광자;상기 편광자에 의해 편광된 광을 관찰하는 현미경; 및상기 현미경을 통해 관찰된 이미지를 출력하는 디스플레이를 포함하는 표면 분석 방법
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제 2항에 있어서,상기 분석 단계에서는상기 스캐닝 단계에서 관찰된 이미지 중,블랙 영역을 정상으로 분석하고,화이트 영역을 비정상으로 분석하는 표면 분석 방법
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제 2항에 있어서,상기 스캐닝 단계는,상기 기판을 스캐닝하는 제1스캐닝 단계; 및회전시킨 상기 기판을 스캐닝하는 제2스캐닝 단계; 를 포함하는 표면 분석 방법
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제 4항에 있어서,상기 분석 단계에서는,상기 제1스캐닝 단계에서 관찰된 이미지 및 상기 제2스캐닝 단계에서 관찰된 이미지가 동일한 경우,상기 나노 패턴에 상기 액정 분자가 수직 배향한 것으로 분석하는 표면 분석 방법
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제 5항에 있어서,상기 분석 단계에서는,상기 나노 패턴에 상기 액정 분자가 수직 배향한 것으로 분석하면,상기 나노 패턴의 폭이 기설정된 임계폭보다 작은 것으로 분석하는 표면 분석 방법
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