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클리닝 기기에 있어서, 기판; 상기 기판 위에 배열된 제 1 전극들 및 상기 제 1 전극들을 덮는 제 1 절연막을 가지는 제 1 층; 상기 제 1 절연막 위에 배열된 제 2 전극들 및 상기 제 2 전극들을 덮는 제 2 절연막을 가지는 제 2층; 및상기 제 2 절연막 위에 배열된 제 3 전극들 및 상기 제 3 전극들을 덮는 제 3 절연막을 가지는 제 3층을 포함하며,상기 제 1 전극들로 제 1 전기 신호가 인가되고, 상기 제 2 전극들로 제 2 전기 신호가 인가되며, 상기 제 3 전극들로 제 3 전기 신호가 인가되되,상기 제 1 전기 신호 내지 상기 제 3 전기 신호의 위상, 진폭 또는 주파수 중 적어도 하나가 다르며, 상기 전기 신호들이 상기 전극들로 인가됨에 따라 상기 클리닝 기기의 표면에 형성된 액적이 진동하고 이동하여 제거되고,상기 제 1 전극들 사이에 상기 제 2 전극이 배열되되, 상기 제 2 전극와 상기 제 1 전극들이 일부 겹쳐져 배열되고, 상기 클리닝 기기의 표면과 상기 액적이 만나는 계면인 삼상접선의 하부에 상기 제 1 전극 또는 상기 제 2 전극이 배열되며, 상기 제 1 전극과 상기 제 2 전극은 평행하게 배열되거나 교차하여 배열되는 것을 특징으로 하는 클리닝 기기
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클리닝 기기에 있어서, 기판; 상기 기판 위에 배열된 제 1 전극들 및 상기 제 1 전극들을 덮는 제 1 절연막을 가지는 제 1 층; 상기 제 1 절연막 위에 배열된 제 2 전극들 및 상기 제 2 전극들을 덮는 제 2 절연막을 가지는 제 2층; 및상기 제 2 절연막 위에 배열된 제 3 전극들 및 상기 제 3 전극들을 덮는 제 3 절연막을 가지는 제 3층을 포함하며,상기 제 1 전극들로 제 1 전기 신호가 인가되고, 상기 제 2 전극들로 제 2 전기 신호가 인가되며, 상기 제 3 전극들로 제 3 전기 신호가 인가되되,상기 제 1 전기 신호 내지 상기 제 3 전기 신호의 위상, 진폭 또는 주파수 중 적어도 하나가 다르며, 상기 전기 신호들이 상기 전극들로 인가됨에 따라 상기 클리닝 기기의 표면에 형성된 액적이 진동하고 이동하여 제거되고,서로 다른 전기 신호들이 상기 전극들로 인가됨에 따라 상기 클리닝 기기의 영역들 중 전기장이 상대적으로 강한 영역들이 특정 방향으로 이동하는 또는 상기 상대적으로 전기장이 강한 영역들이 순차적으로 보여지는 전기장 분포가 형성되며, 상기 전기 신호들은 교류 전압인 것을 특징으로 하는 클리닝 기기
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클리닝 기기에 있어서, 기판; 상기 기판 위에 배열된 제 1 전극들 및 상기 제 1 전극들을 덮는 제 1 절연막을 가지는 제 1 층; 상기 제 1 절연막 위에 배열된 제 2 전극들 및 상기 제 2 전극들을 덮는 제 2 절연막을 가지는 제 2층; 및상기 제 2 절연막 위에 배열된 제 3 전극들 및 상기 제 3 전극들을 덮는 제 3 절연막을 가지는 제 3층을 포함하며,상기 제 1 전극들로 제 1 전기 신호가 인가되고, 상기 제 2 전극들로 제 2 전기 신호가 인가되며, 상기 제 3 전극들로 제 3 전기 신호가 인가되되,상기 제 1 전기 신호 내지 상기 제 3 전기 신호의 위상, 진폭 또는 주파수 중 적어도 하나가 다르며, 상기 전기 신호들이 상기 전극들로 인가됨에 따라 상기 클리닝 기기의 표면에 형성된 액적이 진동하고 이동하여 제거되고,상기 제 1 전극들 사이에 상기 제 2 전극이 배열되며 상기 제 2 전극들 사이에 상기 제 3 전극이 배열되되, 상기 제 2 전극와 상기 제 1 전극들이 겹치지 않으며, 상기 제 3 전극과 상기 제 2 전극들이 겹치지 않는 것을 특징으로 하는 클리닝 기기
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클리닝 기기에 있어서, 기판; 상기 기판 위에 배열된 제 1 전극들 및 상기 제 1 전극들을 덮는 제 1 절연막을 가지는 제 1 층; 및상기 제 1 절연막 위에 배열된 제 2 전극들 및 상기 제 2 전극들을 덮는 제 2 절연막을 가지는 제 2층을 포함하며,상기 제 1 전극들 중 일부로 제 1 전기 신호가 인가되고 다른 제 1 전극으로 제 2 전기 신호가 인가되며 상기 제 2 전극들로 제 3 전기 신호가 인가되거나, 상기 제 1 전극들로 상기 제 1 전기 신호가 인가되고 상기 제 2 전극들 중 일부로 제 2 전기 신호가 인가되며 다른 제 2 전극으로 제 3 전기 신호가 인가되되,상기 제 1 전기 신호 내지 상기 제 3 전기 신호의 위상, 진폭 또는 주파수 중 적어도 하나가 다르며, 상기 전기 신호들이 상기 전극들로 인가됨에 따라 상기 클리닝 기기의 표면에 형성된 액적이 진동하고 이동하여 제거되는 것을 특징으로 하는 클리닝 기기
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제5항에 있어서, 상기 제 1 전극들 사이에 상기 제 2 전극이 배열되되, 상기 제 2 전극와 상기 제 1 전극들이 일부 겹쳐져 배열되고, 상기 클리닝 기기의 표면과 상기 액적이 만나는 계면인 삼상접선의 하부에 상기 제 1 전극 또는 상기 제 2 전극이 배열되며, 상기 제 1 전극과 상기 제 2 전극은 평행하게 배열되거나 교차하여 배열되는 것을 특징으로 하는 클리닝 기기
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제5항에 있어서, 서로 다른 전기 신호들이 상기 전극들로 인가됨에 따라 상기 클리닝 기기의 영역들 중 전기장이 상대적으로 강한 영역들이 특정 방향으로 이동하는 또는 상기 상대적으로 전기장이 강한 영역들이 순차적으로 보여지는 전기장 분포가 형성되며, 상기 전기 신호들은 교류 전압인 것을 특징으로 하는 클리닝 기기
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